[發(fā)明專利]切刀清掃方法、切刀清掃裝置及具有它的粘接帶粘貼裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910136223.X
• 申請日: 2009-04-29
• 公開（公告）號: CN101569886A
• 公開（公告）日: 2009-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 山本雅之;長谷幸敏
• 申請（專利權(quán)）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04;H01L21/00
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及沿著基板外形將粘貼在半導(dǎo)體晶圓等基板的 表面上的保護(hù)用粘接帶切斷的切刀的清掃方法、切刀的清掃裝 置以及具有該切刀的清掃裝置的粘接帶粘貼裝置。

背景技術(shù)

將表面保護(hù)用的粘接帶粘貼在半導(dǎo)體晶圓(以下，簡稱為 “晶圓”)的表面上后將粘接帶切斷的部件公知如下。將粘接帶 供給到被載置保持在保持臺上的晶圓的表面上，使粘貼輥滾動 而將粘接帶粘貼到晶圓表面上。之后，在切刀刺入粘接帶的狀 態(tài)下，使切刀沿著晶圓的外周移動，或者，使保持臺旋轉(zhuǎn)而使 給切刀沿著晶圓的外周進(jìn)行相對移動。由此，沿著晶圓外周切 斷保護(hù)帶(參照日本特開2006-15453號公報和日本特開2004 -25438號公報)。

在沿著晶圓外周切斷粘接帶的切刀上，有時候附著并殘留 有粘接帶的粘接劑。該附著物堆積時，切刀的切斷性能降低， 粘接帶的切斷面等加工質(zhì)量變差。因此，以往在認(rèn)為切斷加工 質(zhì)量有變差的傾向時或者定期以手工作業(yè)擦去切刀的附著物， 或者對切刀涂敷抑制粘接劑附著用的分型劑。

不過，通過手工作業(yè)來維護(hù)切刀的作業(yè)花費(fèi)精力和時間， 并且不得已中斷連續(xù)的粘接帶粘貼作業(yè)。其結(jié)果，成為工作效 率的降低的一個原因。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種不用花費(fèi)繁瑣的勞力就能高 精度地去除附著于切刀的粘接劑的切刀清掃方法、切刀清掃裝 置及具有它的粘接帶粘貼裝置。

本發(fā)明為了達(dá)到這樣的目的，采用如下技術(shù)方案。

一種切刀的清掃方法，該切刀沿著基板外形將粘貼在基板 表面上的粘接帶切斷，其特征在于：一邊自形成于清掃用構(gòu)件 的切縫側(cè)方插入切刀的刀刃，一邊使切刀的刀面沿著切縫面地 使清掃用構(gòu)件與切刀相對移動，自與切刀插入清掃用構(gòu)件的開 始位置不同的位置拔出切刀。

根據(jù)本發(fā)明的切刀的清掃方法，通過將切刀沿著清掃用構(gòu) 件的切縫插入，能用清掃用構(gòu)件擦去附著在切刀的刀面上的粘 接劑等附著物。特別是因為自與插入開始位置不同的位置拔出 切刀，所以被清掃用構(gòu)件所擦去的附著物不會再附著到切刀上。 因此，在以后的切斷處理中，切刀能夠高精度地切斷粘接帶。

在上述方法中，優(yōu)選清掃用構(gòu)件形成有自切刀的插入開始 位置朝向行進(jìn)方向前端變細(xì)的錐狀的缺口。

采用該方法，在將切刀開始插入切縫時，其刀面的附著物 被擦去，被擠到與切刀行進(jìn)方向的相反側(cè)。即，能夠使附著物 堆積并收集在缺口部分處。

因而，被擦去的附著物不會再附著到自與插入開始位置不 同的位置拔出的切刀上。

此外，優(yōu)選清掃用構(gòu)件以規(guī)定間距形成有多個與缺口相連 通的切縫，與該間距相對應(yīng)地使該清掃用構(gòu)件與切刀之間進(jìn)行 相對移動，從而對切刀進(jìn)行清掃。

另外，作為該清掃用構(gòu)件的形狀，例如設(shè)為圓柱狀，并且 沿著該清掃用構(gòu)件的圓周隔有規(guī)定間距地形成多個與缺口相連 通的切縫。

此外，優(yōu)選清掃用構(gòu)件浸滲有清洗液。

采用該方法，附著在切刀上的粘接劑等附著物能被清洗液 軟化或溶化而被快速擦去。

作為該清洗液，優(yōu)選具有防止附著物附著用的分離性的清 洗液。

采用該方法，在附著的粘接劑被擦去后的干凈的刀刃上涂 敷分型劑。由此，能夠?qū)⑶械对谡辰觿╇y以附著的狀態(tài)下轉(zhuǎn)移 到接下來的帶切斷過程中。

此外，在該方法中，優(yōu)選用監(jiān)視傳感器監(jiān)視是否有附著物 附著到切刀上。

采用該方法，通過在剛剛清掃處理之后進(jìn)行監(jiān)視，能夠確 認(rèn)附著物的殘留狀況，若清掃不充分再次進(jìn)行清掃處理。

因此，能用干凈的切刀最佳地進(jìn)行今后的帶切斷處理。

此外，通過對處于待機(jī)位置的切刀進(jìn)行監(jiān)視，能判斷是否 有必要進(jìn)行清掃處理。因此，能避免如下情況的清掃處理：沒 有附著物時、只發(fā)生了不妨礙進(jìn)行帶切斷那樣程度的附著時。 能夠以所需最少限度的頻率進(jìn)行清掃處理，并且能始終進(jìn)行良 好的帶切斷處理。

此外，本發(fā)明為了達(dá)成這樣的目的，采用如下技術(shù)方案。

一種切刀的清掃裝置，該切刀沿著基板外形將粘貼在基板 表面上的粘接帶切斷，其特征在于：

將上述切刀配置成能在上方的退避位置和下方的切斷作用 位置之間升降，將清掃用構(gòu)件配置成能在進(jìn)入切刀的升降移動 路線的清掃用位置和脫離了上述升降移動路線的后退位置之間 水平移動，