[發明專利]切刀清掃方法、切刀清掃裝置及具有它的粘接帶粘貼裝置有效
| 申請號: | 200910136223.X | 申請日: | 2009-04-29 |
| 公開(公告)號: | CN101569886A | 公開(公告)日: | 2009-11-04 |
| 發明(設計)人: | 山本雅之;長谷幸敏 | 申請(專利權)人: | 日東電工株式會社 |
| 主分類號: | B08B3/04 | 分類號: | B08B3/04;H01L21/00 |
| 代理公司: | 北京林達劉知識產權代理事務所 | 代理人: | 劉新宇;張會華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 清掃 方法 裝置 具有 粘接帶 粘貼 | ||
1.一種切刀的清掃方法,該切刀沿著基板外形將粘貼在基 板表面上的粘接帶切斷,其特征在于,
上述方法包括以下過程:
一邊自形成于清掃用構件的切縫側方插入切刀的刀刃,一 邊使切刀的刀面沿著切縫面地使清掃用構件與切刀之間進行相 對移動,然后,以使清掃用構件與切刀沿著與插入方向不同的 方向相對移動的方式自與切刀插入清掃用構件的插入開始位置 不同的位置拔出切刀。
2.根據權利要求1所述的切刀的清掃方法,其中,
上述清掃用構件形成有自切刀的插入開始位置朝向行進方 向前端變細的錐狀的缺口。
3.根據權利要求2所述的切刀的清掃方法,其中,
上述清掃用構件以規定間距形成有多個與缺口相連通的切 縫,與該間距相對應地使該清掃用構件與切刀之間進行相對移 動,從而對切刀進行清掃。
4.根據權利要求3所述的切刀的清掃方法,其中,
將上述清掃用構件做成圓柱狀,并且沿著該清掃用構件的 圓周隔有規定間距地形成多個與缺口相連通的切縫。
5.根據權利要求1所述的切刀的清掃方法,其中,
上述清掃用構件浸滲有清洗液。
6.根據權利要求5所述的切刀的清掃方法,其中,
上述清洗液具有防止附著物附著用的分離性。
7.根據權利要求1所述的切刀的清掃方法,其中,
用監視傳感器監視附著物在上述切刀上的附著狀態。
8.一種切刀的清掃裝置,該切刀沿著基板外形將粘貼在基 板表面上的粘接帶切斷,其特征在于,
該切刀能在上方的退避位置和下方的切斷作用位置之間升 降,
上述裝置包括以下構成元件:
清掃用構件,其能在進入上述切刀的升降移動路線的清掃 用位置和脫離了上述升降移動路線的后退位置之間水平移動,
以使切刀相對于處于清掃用位置的清掃用構件沿帶切斷方 向水平移動的方式使清掃用構件和切刀之間進行相對移動,由 此,自形成于清掃用構件的切縫側方插入刀刃,并使該刀面沿 著切縫面,然后使切刀上升從而將切刀自清掃用構件向上方拔 出。
9.根據權利要求8所述的切刀的清掃裝置,其中,
上述清掃用構件形成有自切刀的插入開始位置朝向行進方 向前端變細的錐狀的缺口。
10.根據權利要求9所述的切刀的清掃裝置,其中,
上述裝置還包括以下構成元件:
上述清掃用構件以規定間距形成有多個與缺口相連通的切 縫,與該間距相對應地使該清掃用構件與切刀之間進行相對轉 動的轉動驅動機構。
11.一種粘接帶粘貼裝置,將粘接帶粘貼在基板上,其特 征在于,
上述裝置包括以下構成元件:
用于載置保持基板的保持臺;
帶供給部件,其以表面保護用的粘接帶的粘接面朝下的姿 勢將表面保護用的粘接帶供給到被載置保持在上述保持臺上的 基板的上方;
粘貼輥,一邊推壓被供給的上述粘接帶一邊滾動而將上述 粘接帶粘貼在基板的朝上表面上;
帶切斷裝置,其將能升降的切刀刺入被粘貼在基板上的粘 接帶,并使切刀沿著基板外周相對移動;
對因切斷帶而產生的不需要的帶進行剝離回收的剝離輥;
切刀清掃裝置,其將能在上方的退避位置和下方的切斷作 用位置之間升降的切刀插入清掃用構件中并進行清掃,
以使切刀相對于處于清掃用位置的上述清掃用構件沿帶切 斷方向水平移動的方式使清掃用構件和切刀之間進行相對移 動,從而自形成于清掃用構件的切縫側方插入刀刃,并使該刀 面沿著切縫面,然后使切刀上升從而將切刀自清掃用構件向上 方拔出。
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