[發明專利]四龍門式檢測裝置

無效

• 申請號: 200910136217.4
• 申請日: 2009-04-29
• 公開（公告）號: CN101876757A
• 公開（公告）日: 2010-11-03
• 發明（設計）人: 葉君基;莊茂德
• 申請（專利權）人: 晶彩科技股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京泛誠知識產權代理有限公司 11298
• 代理人: 文琦;楊本良

1.一種四龍門式檢測裝置，包括：

一基座；以及

一第一測定機構，其置設于所述基座的一半側，包括一第一移動臂和一第二移動臂，所述第一移動臂、所述第二移動臂分別與一第一驅動單元連接，并且所述第一驅動單元與所述基座相連接；以及

一第二測定機構，其置設于所述基座的另一半側，包括一第三移動臂和一第四移動臂，所述第三移動臂、所述第四移動臂分別與一第二驅動單元連接，并且所述第二驅動單元與該基座相連接；其中

所述第一移動臂、所述第二移動臂、所述第三移動臂以及所述第四移動臂的相對內側各接設至少一個可移動的檢測單元，經由所述第一驅動單元、第二驅動單元以使所述第一移動臂、所述第二移動臂、所述第三移動臂以及所述第四移動臂及其檢測單元移動至一基板的一缺陷處，以使所述檢測單元擷取所述缺陷的影像。

2.如權利要求1所述的四龍門式檢測裝置，其中所述第一移動臂和所述第二移動臂的一側接設有一第一導軌，并且所述第一導軌置設于基座的一側邊，所述第一移動臂和所述第二移動臂的另一側接設有一第二導軌，并且所述第二導軌置設于所述基座的中段處。

3.如權利要求2所述的四龍門式檢測裝置，其中所述第二導軌上接設一排氣設備，用來排出所述第二導軌所產生的微塵。

4.如權利要求1所述的四龍門式檢測裝置，其中所述第三移動臂和所述第四移動臂的一側接設有一第三導軌，并且所述第三導軌置設于基座的一側邊，所述第三移動臂和所述第四移動臂的另一側接設有一第四導軌，并且所述第四導軌置設于所述基座的中段處。

5.如權利要求4所述的四龍門式檢測裝置，其中所述第四導軌上接設一排氣設備，用來排出所述第四導軌所產生的微塵。

6.如權利要求1所述的四龍門式檢測裝置，其中所述第一驅動單元、第二驅動單元可為一磁浮、一滾珠螺桿、一鏈條、一皮帶或一線性馬達。

7.如權利要求1所述的四龍門式檢測裝置，其中所述基座上設置一運輸設備，以傳送所述基板至待檢測位置。

8.如權利要求1或7所述的四龍門式檢測裝置，其中所述基板為一平面待測物。

9.如權利要求1所述的四龍門式檢測裝置，其中所述檢測單元移動至所述基板的該缺陷處，將所述缺陷的位置傳回至一計算機單元。