[發(fā)明專利]四龍門式檢測(cè)裝置無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910136217.4 | 申請(qǐng)日: | 2009-04-29 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101876757A | 公開(公告)日: | 2010-11-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 葉君基;莊茂德 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 晶彩科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | G02F1/13 | 分類號(hào): | G02F1/13 |
| 代理公司: | 北京泛誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11298 | 代理人: | 文琦;楊本良 |
| 地址: | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼: | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 龍門 檢測(cè) 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種面板影像檢測(cè)技術(shù),特別是一種四龍門式檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)
由于全球大尺寸基板的需求量與日俱增,使得針對(duì)檢測(cè)8.5代以下的基板的影像所設(shè)計(jì)的雙龍門式檢測(cè)裝置,在檢測(cè)8.5代以上基板的影像時(shí),檢測(cè)的速度明顯變得緩慢。
在TFT?LCD的檢測(cè)過程中,在視覺檢測(cè)裝置后有雙龍門式檢測(cè)裝置,其在龍門機(jī)構(gòu)上置設(shè)檢測(cè)設(shè)備。請(qǐng)參閱圖1,其為現(xiàn)有技術(shù)的雙龍門式檢測(cè)裝置(10),如圖所示,其包括第一移動(dòng)臂(12)和第二移動(dòng)臂(14),該第一移動(dòng)臂(12)和第二移動(dòng)臂(14)上各設(shè)有檢測(cè)單元。經(jīng)由運(yùn)輸設(shè)備將基板(16)導(dǎo)進(jìn)檢測(cè)位置,在掃描缺陷(161、162、163、164)后再做影像擷取,故該基板(16)在工藝中所產(chǎn)生的缺陷(161、162、163、164),可由雙龍門式檢測(cè)裝置(10)得到再次確認(rèn)。
但是,雙龍門式檢測(cè)裝置(10)在針對(duì)已知坐標(biāo)位置的缺陷(161、162、163、164)進(jìn)行檢測(cè)時(shí),以第一移動(dòng)臂(12)、第二移動(dòng)臂(14)先分別滑動(dòng)至缺陷(161)、缺陷(163),并由其上所設(shè)置的檢測(cè)單元擷取影像,再分別滑動(dòng)至缺陷(164)、缺陷(162),然后由其上所設(shè)置的檢測(cè)單元擷取影像。簡(jiǎn)言之,在相同的時(shí)間下,該雙龍門式檢測(cè)裝置(10)僅將基板(16)分成左、右兩個(gè)區(qū)域進(jìn)行檢測(cè),使得單一移動(dòng)臂需要執(zhí)行的影像檢測(cè)范圍較大。此外,由于基板的代增加,使得其尺寸也隨之增大,雙龍門式檢測(cè)裝置在檢測(cè)基板(26)的速度方面,也漸漸無法符合客戶的要求。
鑒于上述缺點(diǎn),現(xiàn)有技術(shù)的雙龍門式檢測(cè)裝置(10)的實(shí)用性有限制,因此必須將其改良以縮短影像檢測(cè)所需的時(shí)間。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題,本發(fā)明目的之一為提供一種四龍門式檢測(cè)裝置,其將基座分成四個(gè)檢測(cè)區(qū),并以四個(gè)移動(dòng)臂執(zhí)行檢測(cè),以提升檢測(cè)速度。
本發(fā)明目的之一是提供一種四龍門式檢測(cè)裝置,其包括基座、第一測(cè)定機(jī)構(gòu)和第二測(cè)定機(jī)構(gòu),其中第一測(cè)定機(jī)構(gòu)包括第一移動(dòng)臂和第二移動(dòng)臂,該第一移動(dòng)臂、第二移動(dòng)臂的一側(cè)或兩側(cè)分別與第一驅(qū)動(dòng)單元相連接,并且第一驅(qū)動(dòng)單元接設(shè)于基座;該第二測(cè)定機(jī)構(gòu),包括第三移動(dòng)臂和第四移動(dòng)臂,該第三移動(dòng)臂、第四移動(dòng)臂的一側(cè)或兩側(cè)分別與第二驅(qū)動(dòng)單元相連接,并且第二驅(qū)動(dòng)單元接設(shè)于基座;在上述第一移動(dòng)臂、第二移動(dòng)臂、第三移動(dòng)臂以及第四移動(dòng)臂的相對(duì)內(nèi)側(cè)各接設(shè)至少一可移動(dòng)的檢測(cè)單元。
以下通過具體實(shí)施例,配合所附圖詳加說明,會(huì)更容易了解本發(fā)明的目的、技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)及其所達(dá)成的功效。
附圖說明
圖1為現(xiàn)有技術(shù)的雙龍門式檢測(cè)裝置的俯視示意圖。
圖2為本發(fā)明的四龍門式檢測(cè)裝置的俯視示意圖。
圖3為本發(fā)明的四龍門式檢測(cè)裝置的側(cè)視示意圖。
圖4為本發(fā)明的四龍門式檢測(cè)裝置的實(shí)施示意圖。
主要組件符號(hào)說明
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G02F1-00 控制來自獨(dú)立光源的光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置,例如,轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制;非線性光學(xué)
G02F1-01 .對(duì)強(qiáng)度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制,即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
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