[發明專利]外觀檢查系統

無效

• 申請號: 200910134040.4
• 申請日: 2009-04-08
• 公開（公告）號: CN101858873A
• 公開（公告）日: 2010-10-13
• 發明（設計）人: 小田切章;戶田好實;長野勝一;增田良太
• 申請（專利權）人: 日商鷹野株式會社
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;B65G49/06
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 王永剛

技術領域

本發明涉及在利用攝像裝置對面板基板等被檢查物的外觀進行攝像，并通過圖像處理檢查有無缺陷部位時適用的外觀檢查系統。

背景技術

以往，作為利用攝像部對包括多個液晶顯示用面板的面板基板等被檢查物的外觀進行攝像，并通過圖像處理檢查有無缺陷部位(視覺性不良點)的外觀檢查系統，已經公知由本申請人提出的專利文獻1中公開的基板用自動檢查裝置。

該基板用自動檢查裝置(外觀檢查系統)具備：搬送被檢查基板的搬送部；檢測所搬送的被檢查基板的視覺性不良點的檢測部；以及根據來自該檢測部的檢測信息自動地標記到被檢測基板的視覺性不良點的標記部，其中，具備：支撐被檢測基板的下表面的左右兩側的一對支撐輥機構；與支撐在該支撐輥機構上的被檢測基板的左右的端邊抵接而進行被檢測基板的左右方向的位置限制的一對限制輥機構；卡合到被檢測基板的前后的端邊而移送被檢測基板的移送機構；以及具有向所移送的被檢測基板的下表面吹入壓力空氣而限制被檢測基板向下方彎曲的空氣吹入機構的搬送部，可以實現檢查的高速化并提高產品的生產性。

專利文獻1：日本特開2000-193604號

發明內容

(本發明要解決的問題)

但是，上述以往的外觀檢查系統(基板用自動檢查裝置)存在下述那樣的應解決的課題。

第一，在來自檢測被檢查基板的視覺性不良點的檢測部的檢測信息中，包括以視覺性不良點的大小、種類等為首的視覺性不良點的位置信息。從附加設置在搬送機構中的編碼器等得到該位置信息特別是搬送方向(Y坐標方向)的位置信息，但由于該位置信息成為所謂間接地檢測被檢查基板的位置而得到的位置信息，所以在得到高精度的位置信息時存在界限，對于液晶顯示用面板那樣的要求高度的位置精度的被檢查物來說，無法確保充分的精度。即，在檢查液晶顯示元件用濾色片中的微小著色圖案的缺陷的情況下，通常要求幾十(μm)左右的位置精度，所以無法對應于這樣的檢查用途。

第二，在要求高度的位置精度的被檢查物中，為了提高檢查精度，在搬送機構中，要求高精度(高精密)且剛性以及可靠性高的機械部件，搬送機構的成本比率變得相當大。特別，在如液晶顯示用面板那樣進行著產品的大型化的情況下，搬送機構的成本比率進一步變大，而無法忽視成本上升。

本發明的目的在于提供一種解決了這樣的背景技術中存在的課題的外觀檢查系統。

(用于解決問題的手段)

本發明為了解決上述課題，提供一種外觀檢查系統1，利用攝像部V拍攝被檢查物P的外觀，并通過圖像處理檢查有無缺陷部位，其特征在于，具備：編碼器圖案顯示部2，具有在被檢查物P上顯示、并且至少顯示與被檢查物P的搬送方向Fy(Y坐標方向)上的Y坐標位置對應的編碼器圖案的Y坐標圖案部2y；以及檢查裝置3，具有從在檢測缺陷部位時利用攝像部V拍攝該編碼器圖案顯示部2而得到的圖案信號Sp中檢測與缺陷部位的位置對應的至少Y坐標位置的檢測處理部4。

在該情況下，根據本發明的優選的方式，可以在被檢查物P中使用包括一個或兩個以上的平板顯示器Pd...的面板基板Po，并可以在該面板基板Po的空白部位Bp中顯示編碼器圖案顯示部2。另外，在編碼器圖案顯示部2中，除了Y坐標圖案部2y以外，還可以包括顯示與相對Y坐標方向成為垂直的X坐標方向上的X坐標位置對應的編碼器圖案的X坐標圖案部2x。另一方面，編碼器圖案顯示部2既可以使用能夠通過遞增方式依次檢測的多個圖案要素2e...，也可以使用能夠通過絕對方式檢測且分別附加了絕對坐標的多個圖案要素2s...。另外，在攝像部V中，可以使用一個或兩個以上的線傳感器照相機Vc...，特別，優選通過在線傳感器照相機Vc...中使用線CCD而將攝像部V的分辨率設定為5(μm)以上。

(發明效果)

根據具有這樣的結構的本發明的外觀檢查系統1，起到如下那樣的顯著的效果。

(1)由于具備：在被檢查物P上顯示的編碼器圖案顯示部2；以及具有從在檢測缺陷部位時利用攝像部V拍攝的編碼器圖案顯示部2的圖案信號Sp中檢測與缺陷部位的位置對應的至少Y坐標位置的檢測處理部4的檢查裝置3，所以可以從該被檢查物P自身直接檢測被檢查物P中的缺陷部位的坐標位置。因此，不會受到搬送機構的影響，而可以可靠且穩定地得到高精度的位置信息。

(2)在檢查被檢查物P中的缺陷部位的坐標位置時，不會受到搬送機構的影響，所以在搬送機構中不要求高精度(高精密)且剛性以及可靠性高的機械部件。因此，可以包括搬送機構的形式選定而實現大幅的成本降低，并且還可以有利于外觀檢查系統1的小型化、輕量化以及節能性提高。