[發(fā)明專利]外觀檢查系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910134040.4
• 申請(qǐng)日: 2009-04-08
• 公開（公告）號(hào): CN101858873A
• 公開（公告）日: 2010-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小田切章;戶田好實(shí);長(zhǎng)野勝一;增田良太
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日商鷹野株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01N21/956
• 分類號(hào): G01N21/956;B65G49/06
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 王永剛

1.一種外觀檢查系統(tǒng)，利用攝像部拍攝被檢查物的外觀，并通過圖像處理檢查有無缺陷部位，其特征在于，具備：編碼器圖案顯示部，具有在上述被檢查物上顯示、并且至少顯示與上述被檢查物的搬送方向(Y坐標(biāo)方向)上的Y坐標(biāo)位置對(duì)應(yīng)的編碼器圖案的Y坐標(biāo)圖案部；以及檢查裝置，具有從在檢測(cè)缺陷部位時(shí)利用上述攝像部拍攝該編碼器圖案顯示部而得到的圖案信號(hào)中檢測(cè)與上述缺陷部位的位置對(duì)應(yīng)的至少上述Y坐標(biāo)位置的檢測(cè)處理部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，在上述被檢查物中使用包括一個(gè)或兩個(gè)以上的顯示器用平板的面板基板，在該面板基板的空白部位顯示上述編碼器圖案顯示部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，在上述編碼器圖案顯示部中，除了上述Y坐標(biāo)圖案部以外，還具有顯示與相對(duì)上述Y坐標(biāo)方向成為垂直的X坐標(biāo)方向上的X坐標(biāo)位置對(duì)應(yīng)的編碼器圖案的X坐標(biāo)圖案部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述編碼器圖案顯示部使用能夠通過遞增方式依次檢測(cè)的多個(gè)圖案要素。

5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述編碼器圖案顯示部使用能夠通過絕對(duì)方式檢測(cè)、并且分別附加了絕對(duì)坐標(biāo)的多個(gè)圖案要素。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，在上述攝像部中，使用一個(gè)或兩個(gè)以上的線傳感器照相機(jī)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，通過在上述線傳感器照相機(jī)中使用線CCD而將上述攝像部的分辨率設(shè)定為5μm以上。