[發(fā)明專利]振蕩器裝置、光偏轉(zhuǎn)器以及使用光偏轉(zhuǎn)器的光學(xué)器械

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910132946.2
• 申請日: 2007-06-07
• 公開（公告）號: CN101598852A
• 公開（公告）日: 2009-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 加藤貴久;古川幸生;秋山貴弘
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 朱德強(qiáng)

本申請是基于申請日為2007年6月7日、申請?zhí)枮?00710109624.7、名稱為“振蕩器裝置、光偏轉(zhuǎn)器以及使用光偏轉(zhuǎn)器的光學(xué)器械”的申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及：一種振蕩器裝置，該振蕩器裝置具有用于振蕩運(yùn)動(dòng)的被支撐的可動(dòng)元件；一種具有該振蕩器裝置的光偏轉(zhuǎn)器；一種例如使用該光偏轉(zhuǎn)器的光學(xué)器械，例如成像裝置或顯示裝置；以及一種制造振蕩裝置的方法。本發(fā)明的光偏轉(zhuǎn)器適合用在基于光偏轉(zhuǎn)掃描而投射圖象的投影顯示裝置中和例如具有電子照相過程的激光束打印機(jī)或數(shù)字復(fù)印機(jī)的成像裝置中。

背景技術(shù)

對于這樣的光偏轉(zhuǎn)器，已經(jīng)提出了各種類型的光學(xué)掃描系統(tǒng)或光學(xué)掃描裝置，該光學(xué)掃描系統(tǒng)或光學(xué)掃描裝置中，具有反射表面的可動(dòng)元件正弦地振蕩以使光偏轉(zhuǎn)。與采用旋轉(zhuǎn)多邊形反射鏡(多角反射鏡)的掃描光學(xué)系統(tǒng)相比，具有基于諧振現(xiàn)象而正弦振蕩的光偏轉(zhuǎn)器的光學(xué)掃描系統(tǒng)具有如下有利的特征。即，可以將光偏轉(zhuǎn)器的尺寸制造地非常小；能量消耗非常低；特別是由單晶硅制成并且由半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)的這些光偏轉(zhuǎn)器在理論上不具有金屬疲勞性并且具有優(yōu)良的耐用性。

在基于諧振現(xiàn)象的這樣的光偏轉(zhuǎn)器中，對于期望的驅(qū)動(dòng)頻率來講，預(yù)先確定了期望達(dá)到的固有振蕩模式的頻率。存在一些用于制造光偏轉(zhuǎn)器的方法的較好提議。

日本未審公開(Laid-Open)專利申請No.2002-40355公開了一種方法，其中，采用了包括可動(dòng)板的平面電反射鏡，該可動(dòng)板具有反射表面和線圈，并且被彈性地支撐，以相對扭轉(zhuǎn)軸線進(jìn)行振蕩運(yùn)動(dòng)，并且其中，電反射鏡具有形成在所述可動(dòng)板的相對端部處的質(zhì)量負(fù)載部分。激光束投射在該質(zhì)量負(fù)載部分上，以去除其質(zhì)量，從而調(diào)整轉(zhuǎn)動(dòng)慣量(moment?of?inertia)。由此實(shí)現(xiàn)所需的頻率。

日本未審公開專利申請No.2004-219889公開了一種方法，其中，可動(dòng)板涂覆有例如典型的樹脂的質(zhì)量件，基于與上述類似的原理來調(diào)整頻率。

發(fā)明內(nèi)容

在上述的方法中，如果應(yīng)當(dāng)進(jìn)行大量的調(diào)整，則需要花費(fèi)大量的時(shí)間來進(jìn)行調(diào)整加工過程。此外，采用在這些方法中用到的調(diào)整原理，非常難以迅速和同時(shí)地調(diào)整頻率和重心位置。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，這些不便之處可以通過制造這樣的振蕩器裝置的方法來消除，該振蕩器裝置具有振蕩部件、彈性支撐部以及支撐部件，該振蕩部件由彈性支撐部彈性地支撐以繞振蕩軸線振蕩。該方法的特征在于：用可動(dòng)元件和用于調(diào)節(jié)該振蕩部件的質(zhì)量的質(zhì)量調(diào)節(jié)部件形成所述振蕩部件，同時(shí)在該可動(dòng)元件和該質(zhì)量調(diào)節(jié)部件的一部分之間形成空腔；然后采用激光束照射該質(zhì)量調(diào)節(jié)部件，以部分地去除該質(zhì)量調(diào)節(jié)部件的鄰近于該空腔的材料。所述這樣去除的材料包括質(zhì)量調(diào)節(jié)部件的未被激光束照射的部分。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，本發(fā)明提供了一種制造振蕩器裝置的方法，該振蕩器裝置包括振蕩部件、彈性支撐部和支撐部件，該振蕩部件由該彈性支撐部彈性地支撐以繞振蕩軸線振蕩，所述方法的特征在于：由可動(dòng)元件形成所述振蕩部件，該可動(dòng)元件具有用于調(diào)節(jié)該振蕩部件質(zhì)量的突出部，該突出部從該可動(dòng)元件沿平行于該振蕩軸線的方向延伸；以及將激光束投射到該突出部的切割位置處，從而部分地去除該可動(dòng)元件，去除的部分包括該突出部的范圍從該切割位置延伸到該突出部的末端處的未被激光束照射到的部分；其中，通過控制該切割位置來調(diào)整由激光束投射實(shí)現(xiàn)的去除的量。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，本發(fā)明提供了一種制造振蕩器裝置的方法，該振蕩器裝置具有振蕩部件、彈性支撐部和支撐部件，該振蕩部件由該彈性支撐部彈性地支撐以繞振蕩軸線振蕩，所述方法的特征在于：由可動(dòng)元件形成所述振蕩部件，該可動(dòng)元件具有多個(gè)用于調(diào)節(jié)該振蕩部件的質(zhì)量的突出部，所述突出部設(shè)置在該振蕩軸線的相對兩側(cè)；沿切割線切割至少一個(gè)所述突出部，從而部分地去除該可動(dòng)元件，去除包括該突出部的范圍從該切割線延伸到該突出部的末端的部分；其中，對該切割線的位置進(jìn)行控制，以調(diào)整該振蕩部件的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量和該振蕩部件的重心與該振蕩軸線的偏離距離。

根據(jù)本發(fā)明的又一個(gè)方面，本發(fā)明提供一種振蕩器裝置，其包括：振蕩部件；彈性支撐部；以及支撐部件，其中，所述振蕩部件由所述彈性支撐部彈性地支撐，以繞振蕩軸線振蕩；其中，所述振蕩部件具有可動(dòng)元件和用于調(diào)節(jié)所述振蕩部件質(zhì)量的質(zhì)量調(diào)節(jié)部件；并且其中，在所述可動(dòng)元件和所述質(zhì)量調(diào)節(jié)部件的一部分之間形成空腔。