[發明專利]用于X熒光光譜儀的光斑定位調整方法及裝置

有效

• 申請號: 200910129548.5
• 申請日: 2009-03-26
• 公開（公告）號: CN101551347A
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 劉召貴;應剛;李勝輝;李玉花
• 申請（專利權）人: 江蘇天瑞儀器股份有限公司
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 李 麗

技術領域

本發明涉及X熒光光譜儀的步進控制技術，尤其涉及一種可以精確定位光 譜儀光斑并進行初始化調整的方法以及裝置。

背景技術

X熒光光譜儀是一種不損傷影響產品材質情況下，用于檢測其物質成分的 探測分析裝置，利用了X熒光照射多組分物質表面時所激發的能量色散作用， 它的工作效率高，一般多元素樣品的分析時間僅為兩至三分鐘，所以被廣泛 應用于各種化工、冶金行業的產品檢測。

如圖1所示，為現有常見的X熒光光譜儀系統示意圖，主要包括：X射線 發射系統101和用于承載被測樣品的可移動的樣品臺102，以及在X光發射系統 101的一側設置的檢測分析系統103。一般還設有移動控制系統104控制電機 105驅動樣品臺。

X熒光光譜儀在使用時，需用X射線發射系統101所產生的X射線照射被 測樣品106的表面，激發樣品表面原子所產生的X熒光信息被探測分析系統 103獲取分析，圖中的光路僅表示意，基本上X射線照射的入射角與產生X熒 光的出射角相同；當樣品放入樣品臺之后，需移動樣品臺將樣品的測試點對 準X射線的光斑。由于X射線是肉眼無法分辨的，且每次使用后，X射線照射 的光斑初始位置相對于樣品臺在一定范圍內是隨機的，這是因為每次使用時， 樣品臺都會被移動使得樣品各處表面被X射線照射檢測，下一次使用的人員 可能并不清楚光斑照射的具體位置。所以在下一次照射分析前需要將光斑位 置，也即X射線相對于樣品臺的照射位置準確定位，并進行初始化調整。

目前，X熒光光譜儀的光斑定位主要采用兩種方法：

一、將熒光紙置于照射區范圍，當X射線照射在熒光紙上產生可見光斑， 再用肉眼進行目測。這種方法定位較為粗略，只適合大尺寸樣品測試等定位 要求不高的使用環境中，而無法滿足精密測試的需求。

二、激光對準定位，使用一些可見激光與X射線發射系統同軸照射，根據 可視激光的照射位置定位X射線照射的光斑。這種方法雖然定位較為準確，但 是初始化時仍然需用人為操作移動樣品臺進行調整修正，且高能的激光有可 能破壞被測樣品的表面結構。

所以針對當前的X熒光光譜儀的日益精準的測試需求，需要改進現有的光 斑定位方法，實現準確定位的同時還能快速有效地進行調整。

發明內容

本發明所解決的問題是提供一種用于X熒光光譜儀的光斑定位調整方法 及裝置，實現光斑的精確定位以及快速調整。

本發明提供的一種光斑定位調整方法，主要步驟包括：

提供狹縫板，設置于X熒光光譜儀樣品臺上，且覆蓋照射區；

所述狹縫板上設有位于照射區內，且互相垂直呈“L”字形的兩條狹縫， 并以兩條狹縫的中心線分別為x軸、y軸建立直角坐標系，兩軸的交點為原點；

設定光斑初始化位置的坐標；

沿平行于任意一坐標軸的方向移動所述樣品臺，測出光斑起始位置在該 軸的坐標，并回復至起始位置；

沿平行于另一坐標軸的方向移動所述樣品臺，測出光斑起始位置在該軸 的坐標，并回復至起始位置；

根據上述起始位置以及初始化位置的坐標，移動樣品臺將光斑定位于初 始化位置。

根據上述方法所提供的一種光斑定位調整裝置，主要包括：

狹縫板，設置于X熒光光譜儀樣品臺上，且覆蓋照射區；

所述狹縫板上設有位于照射區內，且互相垂直呈“L”字形的兩條狹縫；

兩個步進電機，分別使得樣品臺沿狹縫方向移動，并記錄樣品臺的位移；

樣品臺移動控制系統，用于控制步進電機移動樣品臺；

光斑感應裝置，設置于狹縫板，用于判定光斑與狹縫中心線重合。

作為優選方案，利用X熒光光譜儀的檢測分析系統作為光斑感應裝置， 接收X射線照射狹縫板后產生的X熒光或者透射的X射線并進行分析。

作為優選方案，光斑感應裝置感應X射線照射狹縫板產生的X熒光的強 度，當照射的光斑在狹縫板上移動至狹縫，產生的X熒光強度最小時，確定 光斑與狹縫中心線重合。

作為另一個優選方案，光斑感應裝置感應X射線照射狹縫板所透射的X 射線強度，當照射的光斑在狹縫板上移動至狹縫，透射的X射線強度最大時， 確定光斑與狹縫中心線重合。

作為優選方案，所述狹縫位于照射區內側邊緣，且寬度不大于光斑的斑 徑。