[發明專利]用于X熒光光譜儀的光斑定位調整方法及裝置

有效

• 申請號: 200910129548.5
• 申請日: 2009-03-26
• 公開（公告）號: CN101551347A
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 劉召貴;應剛;李勝輝;李玉花
• 申請（專利權）人: 江蘇天瑞儀器股份有限公司
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 李 麗

1.一種用于X熒光光譜儀的光斑定位調整方法，其特征在于，包括：

提供狹縫板，設置于X熒光光譜儀樣品臺上，且覆蓋照射區；

所述狹縫板上設有位于照射區內，且互相垂直呈“L”字形的兩條狹縫， 并以兩條狹縫的中心線分別為x軸、y軸建立直角坐標系，兩軸的交點為原點；

設定光斑初始化位置的坐標；

沿平行于任意一坐標軸的方向移動所述樣品臺，測出光斑起始位置在該 軸的坐標，并回復至起始位置；

沿平行于另一坐標軸的方向移動所述樣品臺，測出光斑起始位置在該軸 的坐標，并回復至起始位置；

根據上述起始位置以及初始化位置的坐標，移動樣品臺將光斑定位于初 始化位置，

所述測出光斑起始位置在該軸的坐標，具體方法為：建立狹縫的直角坐 標系時，確保光斑起始位置在第一象限，利用X熒光光譜儀的檢測分析系統 作為光斑感應裝置；沿某一狹縫平行的方向移動樣品臺，使得光斑向另一狹 縫靠近，直至光斑感應裝置確定光斑與該狹縫的中心線重合；此時樣品臺的 行程即光斑起始位置在移動方向所在軸上的坐標，

根據所述起始位置以及初始化位置的坐標，移動樣品臺將光斑定位于初 始化位置，具體方法為：根據兩點在某一軸的坐標差值，設定樣品臺沿該軸 的移動距離，移動樣品臺。

2.如權利要求1所述的光斑定位調整方法，其特征在于，光斑感應裝置感應 X射線照射狹縫板產生的X熒光的強度，當照射的光斑在狹縫板上移動至狹縫， 產生的X熒光強度最小時，確定光斑與狹縫中心線重合。

3.如權利要求1所述的光斑定位調整方法，其特征在于，光斑感應裝置感應 X射線照射狹縫板所透射的X射線強度，當照射的光斑在狹縫板上移動至狹縫， 透射的X射線強度最大時，確定光斑與狹縫中心線重合。

4.如權利要求1所述的光斑定位調整方法，其特征在于，所述狹縫的寬度不 大于光斑的斑徑。

5.一種用于X熒光光譜儀的光斑定位調整裝置，其特征在于，包括：

狹縫板，設置于X熒光光譜儀樣品臺上，且覆蓋照射區；

所述狹縫板上設有位于照射區內，且互相垂直呈“L”字形的兩條狹縫；

兩個步進電機，分別使得樣品臺沿狹縫方向移動，并記錄樣品臺的位移；

樣品臺移動控制系統，用于控制步進電機移動樣品臺；

光斑感應裝置，設置于狹縫板的正面或者背面，用于判定光斑與狹縫中 心線重合。

6.如權利要求5所述的光斑定位調整裝置，其特征在于，利用X熒光光譜儀 的檢測分析系統作為光斑感應裝置，接收X射線照射狹縫板后產生的X熒光 或者透射的X射線并進行分析。

7.如權利要求5所述的光斑定位調整裝置，其特征在于，光斑感應裝置感應 X射線照射狹縫板產生的X熒光的強度，當照射的光斑在狹縫板上移動至狹縫， 產生的X熒光強度最小時，確定光斑與狹縫中心線重合。

8.如權利要求5所述的光斑定位調整裝置，其特征在于，光斑感應裝置感應 X射線照射狹縫板所透射的X射線強度，當照射的光斑在狹縫板上移動至狹縫， 透射的X射線強度最大時，確定光斑與狹縫中心線重合。

9.如權利要求5所述的光斑定位調整裝置，其特征在于，所述狹縫位于照射 區的內側邊緣，且寬度不大于光斑的斑徑。