[發明專利]具備噴嘴唇口清洗裝置的狹縫式涂敷裝置

有效

• 申請號: 200910129344.1
• 申請日: 2009-03-23
• 公開（公告）號: CN101614960A
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發明（設計）人: 李尚洙;吳相澤
• 申請（專利權）人: 顯示器生產服務株式會社
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃 威;張 彬

技術領域：

本發明涉及一種具備噴嘴唇口清洗裝置的狹縫式涂敷裝置，尤其 涉及一種可應用于用于制造平板顯示元件用基板的狹縫涂敷工藝中 的狹縫式涂敷裝置，其具備可以有效去除狹縫噴嘴的噴嘴唇口(lip) 上粘附的藥液或者異物、并可減少清洗液使用量的噴嘴唇口清洗裝 置。

背景技術：

通常，在平板顯示元件用基板上邊進行照相平版印刷 (Photolithography)工藝邊形成電路圖案。照相平版印刷工藝是， 首先在基板上涂敷預定厚度的感光液，再對感光液(光刻膠)進行曝 光、顯影，然后再進行蝕刻工序，從而在基板上形成電路圖案的工程。

這種照相平版印刷工藝中尤其重要的是，涂敷感光液工序中在基 板的薄膜上形成預定厚度、分布均勻的感光層。若感光層的厚度比標 準厚度厚或者薄，蝕刻就會進行得不均勻。

如此，在基板上涂敷感光液的工序一般可以是使用旋涂裝置 (spin?coater)的旋轉涂敷方式、以及使用狹縫式涂敷機(Slit?coater) 的非旋轉涂敷方式。

如上所述的2種涂敷方式中，由于旋轉涂敷方式隨著作業環境(基 板的旋轉速度和溶劑的蒸發)的不同而形成不規則表面，因此感光液 涂敷工序中主要使用具備狹縫式涂敷裝置的非旋轉涂覆方式。非旋轉 涂敷方式邊通過狹縫式涂敷裝置的狹縫噴嘴涂敷感光液，邊在基板的 薄膜上形成具有預定厚度的照相平版印刷用感光層(光刻膠層)。

這種涂敷工序使狹縫噴嘴的噴嘴唇口(lip)部分容易粘附感光液 的殘留物，因此只有隨時去除所述殘留的物質才能夠保持均勻的涂覆 質量。例如，若狹縫噴嘴的噴嘴唇口部分的感光液殘留物質或者異物 在粘附狀態下凝固，感光液的噴出就會顯得不規則，從而會成為導致 涂敷質量下降的因素。

因此，需要利用清洗裝置對狹縫噴嘴的噴嘴唇口部分進行清洗。 所述狹縫噴嘴唇口的清洗裝置，首先通過清洗液噴射單元向噴嘴噴射 溶劑等清洗液進行清洗，然后再通過干燥氣體噴射單元向噴嘴噴射氣 體，以此來干燥噴嘴。

上述現有的狹縫噴嘴的清洗裝置將溶劑等清洗液直接噴射到狹 縫噴嘴上而對狹縫噴嘴進行清洗，因此導致清洗液使用量過多，成本 增加。而且，現有狹縫噴嘴的清洗裝置對狹縫噴嘴唇口(lip)的清洗 效果有必要實現最大化，然而現有的清洗裝置未能使清洗效果達到最 大化，從而會發生感光液涂敷不良的現象。

發明內容：

鑒于上述問題，本發明的目的在于提供一種具備可以使狹縫噴嘴 唇口的清洗效果達到最大化、并以減少清洗液使用量來降低生產成本 的噴嘴唇口清洗裝置的狹縫式涂敷裝置。

為了實現上述目的，本發明提供一種狹縫式涂敷裝置，其包括： 工作臺；狹縫噴嘴，其設置于所述工作臺上部，用于涂敷藥液；移動 單元，其用于移動所述狹縫噴嘴或基板；唇口清洗單元，其將由清洗 液和氣體混合而成的混合流體噴射到所述狹縫噴嘴的唇口上并對其 進行清洗；唇口干燥單元，其將干燥氣體噴射到所述狹縫噴嘴的唇口； 以及驅動單元，其設置于所述工作臺的一側，用于移動所述唇口清洗 單元及所述干燥單元。

另外，本發明還提供一種狹縫式涂敷裝置，其包括：工作臺，用 于放置基板；第一驅動單元，設置在所述工作臺上；移動單元，與所 述第一驅動單元相結合，并進行直線移動；噴嘴支撐單元，與所述移 動單元相結合并進行上下移動；狹縫噴嘴，與所述噴嘴支撐單元相結 合；第二驅動單元，設置于所述工作臺的一側；唇口清洗單元，設置 在所述第二驅動單元上，并向所述狹縫噴嘴的唇口噴射由清洗液和氣 體混合而成的混合流體，對唇口進行清洗；唇口干燥單元，設置在所 述第二驅動單元上，并向所述狹縫噴嘴的唇口噴射干燥氣體。

所述唇口清洗單元包括：第一供給單元，用于供給清洗液；第二 供給單元，設置于所述第一供給單元的一側而供給氣體；以及噴射單 元，將由所述第一供給單元及所述第二供給單元分別供給的清洗液和 氣體混合后，噴射該混合氣體。

所述第一供給單元最好包括：第一本體；清洗液供給管道，設置 在所述第一本體上，并從清洗液供給裝置接收清洗液；清洗液腔室， 與所述清洗液供給管道連接；以及第一連接管道，連接在所述清洗液 腔室和所述噴射單元之間。