[發明專利]具備噴嘴唇口清洗裝置的狹縫式涂敷裝置

有效

• 申請號: 200910129344.1
• 申請日: 2009-03-23
• 公開（公告）號: CN101614960A
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發明（設計）人: 李尚洙;吳相澤
• 申請（專利權）人: 顯示器生產服務株式會社
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃 威;張 彬

1.一種狹縫式涂敷裝置，其特征在于，包括：

工作臺；

狹縫噴嘴，其設置在所述工作臺上部，用于涂敷藥液；

移動單元，其用于移動所述狹縫噴嘴或基板；

噴嘴唇口清洗裝置，其包括

殼體；

固定臺，其與所述殼體相結合；

唇口清洗單元，其與所述固定臺相結合，將由清洗液和氣體 混合而成的混合流體噴射到所述狹縫噴嘴的唇口并對其進行清 洗；

唇口干燥單元，其與所述固定臺相結合，將干燥氣體噴射到 所述狹縫噴嘴的唇口；以及

驅動單元，其設置于所述工作臺的一側，并與所述殼體相結合， 用于移動所述唇口清洗單元及所述唇口干燥單元。

2.根據權利要求1所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于，所述 唇口清洗單元包括：

第一供給單元，用于供給清洗液；

第二供給單元，設置于所述第一供給單元的一側，用于供給氣體； 以及

噴射單元，將由所述第一供給單元及所述第二供給單元分別供給 的清洗液和氣體混合后，噴射該混合流體。

3.根據權利要求2所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于，所述 第一供給單元包括：

第一本體；

清洗液供給管道，設置在所述第一本體上，并從清洗液供給裝置 接收清洗液；

清洗液腔室，與所述清洗液供給管道連接；以及

第一連接管道，連接在所述清洗液腔室和所述噴射單元之間。

4.根據權利要求3所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于，所述 第二供給單元包括：

第二本體，與第一本體相結合；

氣體供給管道，設置在所述第二本體上，并從氣體供給裝置接收 氣體；

氣體腔室，與所述氣體供給管道相連接；以及

第二連接管道，連接在所述氣體腔室和所述噴射單元之間。

5.根據權利要求1所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：所述 唇口清洗單元及所述唇口干燥單元相對向配對設置。

6.根據權利要求1所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：所述 驅動單元沿所述狹縫噴嘴的長度方向移動所述噴嘴唇口清洗裝置。