[發明專利]一次離子束轟擊濺射發射極預掛液態金屬的方法無效
| 申請號： | 200910119547.2 | 申請日： | 2009-03-13 |
| 公開（公告）號： | CN101831620A | 公開（公告）日： | 2010-09-15 |
| 發明（設計）人： | 梁漢東;李文攀;盛守祥;劉俐媛 | 申請（專利權）人： | 中國礦業大學(北京) |
| 主分類號： | C23C14/46 | 分類號： | C23C14/46;C23C14/16 |
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| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一次 離子束 轟擊 濺射 發射極 液態 金屬 方法 | ||
1.一次離子束轟擊濺射發射極預掛液態金屬的方法，其特征在于，將作為發射極針尖的鎢絲放置在高真空度的二次離子質譜(SIMS)中，通過一次離子槍在高壓電場作用下獲得液態金屬離子轟擊濺射到鎢絲表面，徹底去除發射極鎢絲表面的氧化層和污染物，同時使發射極表面粘附一層均勻連續的金屬鍍層。
2.如權利要求1所述的發射極掛金屬預處理的方法，其特征在于，將作為發射極針尖的鎢絲放置真空度為2×10-9torr的二次離子質譜(SIMS)中。
3.如權利要求1所述的發射極掛金屬預處理的方法，其特征在于，通過一次離子槍在高壓電場作用下獲得液態金屬離子轟擊濺射到鎢絲表面，徹底去除發射極鎢絲表面的氧化層和污染物，有效防止了鎢針的二次氧化，同時使發射極表面粘附一層均勻連續的金屬鍍層。
4.權利要求1所述的發射極掛金屬預處理的方法，其特征在于，可通過調整樣品臺的方向，選擇轟擊濺射鎢針發射極的位置。
5.權利要求1所述的發射極掛金屬預處理的方法，其特征在于，一次離子槍所加高壓電場為0～25kv。
6.權利要求1所述的發射極掛金屬預處理的方法，其特征在于，一次離子束流調整為5～10nA，或更高數值。
7.權利要求1所述的發射極掛金屬預處理的方法，其特征在于，發射極表面所粘附的一層均勻連續的金屬鍍層的厚度為若干原子層厚度。
8.權利要求1所述的發射極掛金屬預處理的方法，其特征在于，徹底去除表面氧化層及污染物，同時使發射極表面粘附一層均勻連續的金屬鍍層的鎢絲發射極，可用于大氣環境或真空環境進一步制備鎵、鉍、銦、金、金/硅合金等各種液態金屬離子源。
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