[發明專利]導線結構與其制作方法有效

申請號：	200910118904.3	申請日：	2009-03-06
公開（公告）號：	CN101825818A	公開（公告）日：	2010-09-08
發明（設計）人：	劉春福;鄒元昕	申請（專利權）人：	華映視訊(吳江)有限公司;中華映管股份有限公司
主分類號：	G02F1/1362	分類號：	G02F1/1362;H01L21/768;H01L23/522;H01L21/84
代理公司：	北京集佳知識產權代理有限公司 11227	代理人：	孫長龍
地址：	215217 江蘇省蘇州***	國省代碼：	江蘇;32
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	導線結構與其制作方法
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【說明書】：

技術領域

本發明是提供一種導線結構與其制作方法，特別是指一種低抗阻的導線結構與其制作方法。

背景技術

液晶顯示器(liquid?crystal?display，LCD)由于具有外型輕薄、耗電量少以及無輻射污染等優點，因此被廣泛應用于各種信息產品上，從小型的可攜式信息產品，如個人數字助理(PDA)、筆記型計算機(notebook)，到各種大尺寸的顯示屏幕，都可以見到液晶顯示器的蹤影。

一般的薄膜晶體管液晶顯示器(TFT?LCD)包含有一透明基板，其上具有許多排列成數組的薄膜晶體管、像素電極(pixel?electrode)、互相垂直交錯(orthogonal)的掃描線(scan?or?gate?line)與信號線(data?or?signal?line)、一濾光板(color?filter)、以及填充于透明基板與濾光板之間的液晶材料，并配合以適當的電容、接觸墊等電子組件，來驅動液晶像素，進而產生豐富亮麗的圖像。但隨著液晶顯示器技術的進步和市場對大尺寸顯示器的需求，不僅液晶顯示器的尺寸越來越大，顯示器的分辨率也越來越高，使得液晶顯示器數組中導線的抗阻也跟著提高。導線抗阻的提高會使得顯示器中信號延遲的問題越來越嚴重，也降低了顯示器的顯示質量。

公知降低顯示器中導線抗阻的方法，除了開發低抗阻材料外，還可采用增加導線線寬的方式。增加線寬可增加導線的截面，因此可降低導線的抗阻而增加其導電度。但增加導線的寬度卻會影響到整個像素顯示的面積，因而降低顯示器的開口率以及亮度。

因此，為了因應日益需求的大尺寸液晶屏幕，需要一種低抗阻導線的液晶顯示器結構，以提升信號傳遞效率。

發明內容

本發明是提供一種導線結構與其制作方法，特別是指一種低抗阻的導線結構與其制作方法。

本發明提供一種低抗阻導線的結構，包含有一基板、一導線層、一絕緣層、兩接觸孔、一重摻雜半導體層以及二透明電極。其中，摻雜半導體層設置在導線層相對應的上方，兩接觸孔貫穿絕緣層并暴露出部分的導線層，兩透明電極位于兩接觸孔中且電性連接導線層與重摻雜半導體層。

本發明還提供一種液晶顯示器的制作方式，包含提供一基板，并于該基板上定義出一開關組件區、一導線區以及一像素區。接著于基板上形成一圖案化的第一金屬層，以分別在開關組件區形成一柵極，以及在導線區形成一第一導線。接著在基板上依序形成一絕緣層與一半導體層。然后在基板上形成一圖案化的重摻雜半導體層，以在導線區形成一第二導線對應于第一導線之上。接著形成一圖案化的第二金屬層，以在開關組件區形成一源極與一漏極。于該基板上形成一保護層后，在于開關組件區的保護層中形成至少一第一接觸孔，以暴露出部分的漏極，以及于導線區的保護層中形成至少兩第二接觸孔，以暴露出部分的第一導線。最后形成一圖案化的透明電極于基板上，其包含一像素電極與至少兩連接電極，其中像素電極在開關組件區內填入第一接觸孔且與漏極電性連接并延伸至像素區，且各連接電極在導線區分別填入各第二接觸孔以電性連接第一導線與第二導線。

本發明中提供一并聯的導線結構，其抗阻值低于公知技術中單一導線的抗阻值，因此在液晶顯示器中能有效降低抗阻以增加顯示器的效能。

本發明還提供一種制作液晶顯示器的方法，除了能形成低抗阻的導線結構外，還成功整合了公知薄膜晶體管的制程，因此維持了五道光罩與蝕刻的步驟，毋需增加額外的光罩制程，因此可節省相當的時間與費用。

附圖說明

圖1為本發明中液晶顯示器布局的上視圖；

圖2為本發明中掃描線結構的剖面示意圖；

圖3至圖10為本發明的掃描線結構的制造方法示意圖。

【主要組件符號說明】

101????基板??????????309????重摻雜半導體層

103????薄膜晶體管????310????第二金屬層

1031???柵極??????????311????透明電極

1032???源極??????????312????第一光阻層

1033???漏極??????????313????接觸孔