[發明專利]面板檢測裝置及檢測面板的方法有效
| 申請號: | 200910111099.1 | 申請日: | 2009-02-20 |
| 公開(公告)號: | CN101494183A | 公開(公告)日: | 2009-07-29 |
| 發明(設計)人: | 高憲章;簡青俊;李智強;滕國璋 | 申請(專利權)人: | 福建華映顯示科技有限公司;中華映管股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;H01L21/677 |
| 代理公司: | 廈門市新華專利商標代理有限公司 | 代理人: | 翁素華 |
| 地址: | 350015福建*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 面板 檢測 裝置 方法 | ||
1.一種面板檢測裝置,其用來檢測一面板,該面板具有兩第一側邊與兩第二側邊,該面 板由輸送機進行輸送,其特征在于:該面板檢測裝置包括:
一第一影像擷取組件,設于相鄰的一第一輸送機與一第二輸送機之間的間隙上方,其中 該第一輸送機將該面板以平行于該第一側邊的方向傳送給該第二輸送機;所述第一影像擷取 組件是一電荷耦合組件或一互補式金屬氧化物半導體感測組件;
至少一基準感應器,設于該間隙中或該第一輸送機上;
一第一線性傳送機構,以平行于該間隙的方向與該第一影像擷取組件設在該間隙的同一 方,該第一影像擷取組件可滑動的固定在該第一線性傳送機構上,且該第一影像擷取組件沿 著該第一線性傳送機構以平行于該第二側邊的方向作線性位移運動;以及
設置在該第一輸送機上將該面板定位在一預定區域內傳送的面板定位機構;
該面板檢測裝置還包括:
一第二影像擷取組件,設于該間隙的上方,該第二影像擷取組件與該第一影像擷取組件 分別定位于該面板的同一側,而位于該間隙的兩側,且該第一影像擷取組件、該第二影像擷 取組件與該第一線性傳送機構定義為一第一影像擷取部;
一第二線性傳送機構,以平行于該間隙的方向而設于該間隙的下方;
一第三影像擷取組件,該第三影像擷取組件可滑動的固定在該第二線性傳送機構上,且 該第三影像擷取組件沿著該第二線性傳送機構以平行于該第二側邊的方向作線性位移運動; 以及
一第四影像擷取組件,該第四影像擷取組件與該第三影像擷取組件分別定位于該面板的同 一側,而位于該間隙的兩側,且該第三影像擷取組件、該第四影像擷取組件以及該第二線性 傳送機構定義為一第二影像擷取部,該第二影像擷取部以及該第一影像擷取部分別位于該面 板的下方及上方。
2.如權利要求1所述的面板檢測裝置,其特征在于:所述第二影像擷取組件可滑動的固 定在該線性傳送機構上,且該第二影像擷取組件沿著該第一線性傳送機構以平行于該第二側 邊的方向作線性位移運動。
3.如權利要求1所述的面板檢測裝置,其特征在于:還包括一背光源,設于該間隙中。
4.如權利要求1所述的面板檢測裝置,其特征在于:還包括二基準感應器,分別設在該 第一輸送機上以及該間隙中。
5.如權利要求1所述的面板檢測裝置,其特征在于:還包括二基準感應器,分別設在該 第二輸送機上以及該間隙中。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





