[發(fā)明專利]透射電鏡微柵及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910109128.0
• 申請日: 2009-07-24
• 公開（公告）號: CN101964291A
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姜開利;張麗娜;張昊旭;范守善
• 申請（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/26;H01J9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種透射電鏡微柵，其包括一網(wǎng)格，其特征在于：進一步包括一石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)覆蓋該網(wǎng)格，并通過該網(wǎng)格部分懸空設(shè)置，該石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)包括至少一碳納米管膜結(jié)構(gòu)及多個石墨烯片，該碳納米管膜結(jié)構(gòu)包括多個微孔，其中，至少一微孔被一石墨烯片覆蓋。

2.如權(quán)利要求1所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該石墨烯片的尺寸為2納米～10微米。

3.如權(quán)利要求2所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該石墨烯片的尺寸為2納米～1微米。

4.如權(quán)利要求1所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該石墨烯片包括1層～3層石墨烯。

5.如權(quán)利要求1所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該碳納米管膜包括多個通過基本沿同一方向擇優(yōu)取向排列，且通過范德華力首尾相連的碳納米管。

6.如權(quán)利要求5所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該碳納米管膜結(jié)構(gòu)包括多層碳納米管膜交叉層疊設(shè)置。

7.如權(quán)利要求1所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該微孔的尺寸為1納米～1微米。

8.如權(quán)利要求7所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述尺寸小于100納米的微孔占總微孔數(shù)量的60％以上。

9.如權(quán)利要求1所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該石墨烯片中的碳原子與該碳納米管膜結(jié)構(gòu)中的碳原子通過sp3雜化鍵合。

10.如權(quán)利要求1所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)包括多個碳納米管膜結(jié)構(gòu)層疊設(shè)置及多個石墨烯片設(shè)置于相鄰兩碳納米管膜結(jié)構(gòu)之間，并通過該相鄰的兩碳納米管膜結(jié)構(gòu)夾持。

11.如權(quán)利要求1所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該網(wǎng)格具有至少一通孔，該通孔的孔徑為10微米～2毫米。

12.如權(quán)利要求1所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該網(wǎng)格的材料為金屬或陶瓷。

13.一種透射電鏡微柵，其包括一網(wǎng)格，其特征在于：進一步包括一石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)覆蓋該網(wǎng)格，并通過該網(wǎng)格部分懸空設(shè)置，該石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)包括至少一碳納米管膜結(jié)構(gòu)及多個石墨烯片，該碳納米管膜結(jié)構(gòu)包括多個碳納米管線交叉設(shè)置以及由該多個交叉設(shè)置的碳納米管線形成的多個微孔，其中，至少一微孔被一石墨烯片覆蓋。

14.如權(quán)利要求13所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該碳納米管線包括并排且通過范德華力聚攏的碳納米管。

15.如權(quán)利要求14所述的透射電鏡微柵，其特征在于，該碳納米管線包括通過范德華力首尾相連且基本沿同一方向擇優(yōu)取向排列的碳納米管。

16.一種透射電鏡微柵的制備方法，其包括以下步驟：

提供一自支撐的碳納米管膜結(jié)構(gòu)，以及一石墨烯片分散液，該碳納米管膜結(jié)構(gòu)包括多個微孔；

將該石墨烯片分散液浸潤該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面；

干燥該被石墨烯片浸潤的碳納米管膜結(jié)構(gòu)，從而使該石墨烯片與該碳納米管膜結(jié)構(gòu)復(fù)合，形成一石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)；以及

將所述石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)覆蓋一網(wǎng)格。

17.如權(quán)利要求16所述的透射電鏡微柵的制備方法，其特征在于，進一步包括使用有機溶劑處理所述至少一碳納米管膜結(jié)構(gòu)的步驟。

18.如權(quán)利要求16所述的透射電鏡微柵的制備方法，其特征在于，將該石墨烯片分散液浸潤該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面后，進一步包括將另一碳納米管膜結(jié)構(gòu)覆蓋于上述碳納米管膜結(jié)構(gòu)通過所述石墨烯片分散液浸潤的表面，形成一夾心結(jié)構(gòu)的步驟。

19.如權(quán)利要求16所述的透射電鏡微柵的制備方法，其特征在于，干燥該被石墨烯片浸潤的碳納米管膜結(jié)構(gòu)后，進一步包括以激光或紫外光照射該石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)；或以高能粒子轟擊該石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)，使該石墨烯片與該碳納米管鍵合連接的步驟。

20.如權(quán)利要求16所述的透射電鏡微柵的制備方法，其特征在于，將所述石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)覆蓋所述網(wǎng)格后，進一步包括使用有機溶劑處理使該石墨烯片-碳納米管膜復(fù)合結(jié)構(gòu)和網(wǎng)格結(jié)合緊密的步驟。