[發明專利]自動送料夾持裝置有效
| 申請號: | 200910106005.1 | 申請日: | 2009-03-11 |
| 公開(公告)號: | CN101599448A | 公開(公告)日: | 2009-12-09 |
| 發明(設計)人: | 高云峰;蔣會軒;葉江濤 | 申請(專利權)人: | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族數控科技有限公司;深圳市大族光電設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司: | 廣東國暉律師事務所 | 代理人: | 陳 琳 |
| 地址: | 518020廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 自動 夾持 裝置 | ||
1.一種自動送料夾持裝置,包括送料系統(1)和夾持系統(2),其特征在于:
所述的送料系統(1)和夾持系統(2)上通過緊固件分別設置有傳感機構(3)、轉動軸、傳動裝置和動力裝置;該傳感機構(3)包括定位感應件(31)、到料感應件(32)和到位感應件(33),該定位感應件(31)通過緊固件固定于送料系統(1)上,該到料感應件(32)和到位感應件(33)通過緊固件設置于夾持系統(2)上;
所述的送料系統(1)包括物料轉運機構(11)和直線運動裝置,其分別通過緊固件結合在送料系統(1)上;該送料系統(1)上設置有一固定板(113),該固定板(113)上設置有窗口,所述的夾持系統(2)上的傳送帶與該窗口對應;
所述的夾持系統(2)包括夾持托板(21)和夾持氣缸(23),所述的夾持托板(21)和夾持氣缸(23)通過緊固件固定在一起。
2.根據權利要求1所述的自動送料夾持裝置,其特征在于:所述的直線運動裝置包括縱向直線運動裝置和橫向直線運動裝置,該縱向直線運動裝置是升降臺(12),該橫向直線運動裝置是推入臂(131)和推出臂(132)。
3.根據權利要求1或2所述的自動送料夾持裝置,其特征在于:所述的物料轉運機構(11)包括物料轉運倉(111)和料箱(112),通過一彈簧片將料箱(112)固定在物料轉運倉(111)內。
4.根據權利要求1所述的自動送料夾持裝置,其特征在于:所述的送料系統還包括導向輪(14),其通過緊固件固定于送料系統(1)上。
5.根據權利要求1或2所述的自動送料夾持裝置,其特征在于:所述的送料系統包括第一基座(161),所述的夾持系統包括第二基座(162)。
6.根據權利要求5所述的自動送料夾持裝置,其特征在于:所述的夾持系統(2)還包括夾持面板(22),該夾持面板(22)通過緊固件固定在第二基座(162)上。
7.根據權利要求6所述的自動送料夾持裝置,其特征在于:所述的轉動軸包括主轉動軸(153)、次轉動軸(152)和從轉動軸(151),所述的主轉動軸(153)通過緊固件固定在送料系統(1)的第一基座(161)的中部;所述的次轉動軸(152)與從轉動軸(151)通過緊固件固定在夾持系統(2)的第二基座(162)兩端。
8.根據權利要求7所述的自動送料夾持裝置,其特征在于:所述的動力裝置包括主馬達(172)和次馬達(171),該主馬達(172)設置于送料系統(1)的基座(161)上;該次馬達(171)設置于夾持系統(2)的第二基座(162)上,其與次轉動軸(152)的一端剛性連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





