[發(fā)明專利]ITO膜的加工方法及電子設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910105852.6
• 申請日: 2009-03-06
• 公開（公告）號: CN101569958A
• 公開（公告）日: 2009-11-04
• 發(fā)明（設計）人: 高云峰;翟學濤;高子豐;雷群
• 申請（專利權）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族數控科技有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司
• 代理人: 曾旻輝

【技術領域】

本發(fā)明涉及透明導電膜的加工工藝領域，尤其是ITO膜的加工方法及采用 該ITO膜的加工方法制成的電子設備。

【背景技術】

摻錫氧化銦(Indium?Tin?Oxide，簡稱ITO)材料是一種n型半導體材料， 由于具有高的導電率、高的可見光透過率、高的機械硬度和化學穩(wěn)定性，因此 它是液晶顯示器(LCD)、等離子顯示器(PDP)、電致發(fā)光顯示器(EL/OLED)、 觸摸屏(Touch?Panel)、太陽能電池以及其它電子儀表的透明電極最常用的材料。 根據不同的應用，ITO膜需要被加工成不同的形狀。

傳統(tǒng)的ITO膜的加工一般采用掩膜和化學藥品進行蝕刻的方法，在這個加 工過程中會存在有一些問題：

1)高投資成本；

2)需要較多的步驟進行加工，耗時不靈活；

3)由于需要使用化學藥品，會對環(huán)境造成污染。

因此對于傳統(tǒng)加工方法存在的一些弊端需要進行改良，采用全新的加工方 式進行加工。

【發(fā)明內容】

有鑒于此，有必要提供一種避免對環(huán)境造成污染的ITO膜的加工方法。

一種ITO膜的加工方法，包括以下步驟：將附有ITO膜的基底放置在加工 臺面上，所述ITO膜朝向所述臺面并在ITO膜與所述臺面之間設置間隙；所述 間隙的高度為4-6mm；從所述基底所在的一側發(fā)射激光對所述ITO膜進行加工； 在所述間隙處吸塵，在臺面上開設通孔，使通孔與間隙相通并在通孔處抽風達 到吸塵的效果；所述激光的波長為100-400nm，激光的脈沖頻率為120-150KHz， 激光的脈沖寬度為3us，激光的功率為1.5-2.0W，激光的開關延時為20-80us， 激光的切割速度為180-250mm/s。

優(yōu)選地，所述激光的波長為355nm。

優(yōu)選地，所述激光的脈沖頻率為150KHz。

優(yōu)選地，所述激光的脈沖寬度為3us。

優(yōu)選地，所述激光的功率為1.5W。

優(yōu)選地，所述激光的開關延時50us。

優(yōu)選地，所述激光的切割速度為200mm/s。

此外，還提供了一種包含采用上述ITO膜的加工方法制備的透明電極的電 子設備。

采用激光加工的方法，不需要使用化學藥品，可以避免對環(huán)境造成污染， 并且采用激光技術進行ITO膜加工便可以實現快速制造的目的。

【附圖說明】

圖1為激光加工ITO膜的示意圖。

【具體實施方式】

在以下實施方式中，采用激光加工的方法，不需要使用化學藥品，避免對 環(huán)境造成污染。

結合參閱圖1，一種ITO膜的加工方法，包括以下步驟：將附有ITO膜10 的基底20放置在加工臺面30上，ITO膜10朝向臺面30并在ITO膜10與臺面 30之間設置間隙40；從基底20所在的一側發(fā)射激光50對ITO膜10進行加工。

基底20可以是玻璃、聚對苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene?terephthalate， 簡稱PET)等。

在ITO膜10與臺面30之間設置間隙40，例如通過治具將基底20墊起來使 臺面30和ITO膜10之間保持一定的距離，便于在激光加工的過程中在間隙處 吸塵。比如在臺面30上開設通孔，使通孔與間隙相通并在通孔處抽風達到吸塵 的效果，從而避免ITO膜10臟污。本實施方式中，間隙的高度為4-6mm。

ITO膜10朝向臺面30，從基底20所在的一側發(fā)射激光50對ITO膜10進 行加工，這樣設置的目的可以避免激光50傷到玻璃基底20。經過測試當ITO膜 10背向臺面30放置加工時，由于激光50會穿過ITO膜10并且透過玻璃基底 20與激光機臺面30進行作用，產生的熱量會傷到玻璃基底20。當ITO膜10朝 向臺面30放置加工時，由于激光50會透過玻璃基底20而不會與玻璃基底20 發(fā)生作用，這樣便不會傷到玻璃基底20，激光50可以直接作用到ITO膜10上， 即便少量激光50透過玻璃基底20與ITO膜10后與激光機臺面30進行作用時， 由于ITO膜10與臺面30保持一定的距離，便于熱量與煙塵擴散，不會污損ITO 膜10。并且通過吸塵，無需清洗ITO膜10的表面，提高生產效率。