[發(fā)明專利]ITO膜的加工方法及電子設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910105852.6 | 申請日： | 2009-03-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101569958A | 公開（公告）日： | 2009-11-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 高云峰;翟學(xué)濤;高子豐;雷群 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族數(shù)控科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B23K26/00 | 分類號(hào)： | B23K26/00 |
| 代理公司： | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人： | 曾旻輝 |
| 地址： | 518000廣東省深圳市南山區(qū)高*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | ito 加工 方法 電子設(shè)備 | ||
1.一種ITO膜的加工方法，其特征在于，包括以下步驟：
將附有ITO膜的基底放置在加工臺(tái)面上，所述ITO膜朝向所述臺(tái)面并在ITO 膜與所述臺(tái)面之間設(shè)置間隙；
所述間隙的高度為4-6mm；
從所述基底所在的一側(cè)發(fā)射激光對所述ITO膜進(jìn)行加工；
在所述間隙處吸塵，在臺(tái)面上開設(shè)通孔，使通孔與間隙相通并在通孔處抽 風(fēng)達(dá)到吸塵的效果；
所述激光的波長為100-400nm，激光的脈沖頻率為120-150KHz，激光的脈 沖寬度為3us，激光的功率為1.5-2.0W，激光的開關(guān)延時(shí)為20-80us，激光的切 割速度為180-250mm/s。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜的加工方法，其特征在于，所述激光的波 長為355nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜的加工方法，其特征在于，所述激光的脈 沖頻率為150KHz。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜的加工方法，其特征在于，所述激光的功 率為1.5W。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜的加工方法，其特征在于，所述激光的開 關(guān)延時(shí)50us。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜的加工方法，其特征在于，所述激光的切 割速度為200mm/s。
7.一種包含采用權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的ITO膜的加工方法制備 的透明電極的電子設(shè)備。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族數(shù)控科技有限公司，未經(jīng)深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族數(shù)控科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
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