[發明專利]接觸力測量基板及接觸力測量方法

有效

• 申請號: 200910092941.1
• 申請日: 2009-09-11
• 公開（公告）號: CN102023065A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 李麗;彭志龍;王威
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16;G02F1/13
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

技術領域

本發明涉及基板的傳送或清洗技術，尤其涉及一種接觸力測量基板及接觸力測量方法，屬于液晶顯示器制造領域。

背景技術

在薄膜晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor-Liquid?Crystal?Display，簡稱：TFT-LCD)或半導體器件的生產制造過程中，需要對設置有TFT-LCD或半導體器件相關圖案的基板進行傳送或清洗，故生產線上有很多傳送設備或清洗設備。這些設備會直接接觸TFT-LCD或半導體器件的相關圖案，當接觸力較大時，會對基板的特性產生影響。

以在TFT-LCD生產工藝中，對陣列基板的毛刷清洗過程為例，清洗時在基板的上下兩側均設置有毛刷，在毛刷清洗過程中，如果毛刷的壓入量過多，毛刷會對陣列基板產生較大的接觸力，進而對陣列基板的特性產生顯著的影響，致使更多的N+殘留等不良的發生，甚至壓碎基板。但是，在實際生產過程中，毛刷壓入量是通過手動來調節的，所以現有技術不能準確控制毛刷的壓入量而使得毛刷對陣列基板的特性產生影響。

同理，現有技術不能準確控制傳送設備或清洗設備對基板產生的接觸力而使得傳送設備或清洗設備對圖案的特性產生影響。

發明內容

本發明的目的在于提供一種接觸力測量基板及接觸力測量方法，利用該接觸力測量基板能夠準確控制傳送設備或清洗設備對基板產生的接觸力。

本發明提供了一種接觸力測量基板，包括：壓電晶體和基板；所述壓電晶體設置在基板的表面；所述壓電晶體的一端為檢測電壓輸入端，另一端為檢測電壓輸出端。

本發明提供了一種接觸力測量方法，包括：

通過檢測電壓輸入端向壓電晶體輸入檢測電壓；

當接觸力測量基板受到接觸力時，通過檢測電壓輸出端輸出檢測電壓；

對輸出的檢測電壓進行處理，得到所述接觸力的大小。

本發明提供的接觸力測量基板及接觸力測量方法可以用于測量與傳送設備或清洗設備接觸時的接觸力，進而能準確控制傳送設備或清洗設備對基板產生的接觸力，減小或消除傳送設備或清洗設備對基板的特性產生的影響。

附圖說明

圖1為本發明接觸力測量基板實施例一的結構示意圖；

圖2為圖1中A-A向的剖面示意圖；

圖3為本發明接觸力測量基板實施例二的結構示意圖；

圖4為本發明接觸力測量方法一實施例的流程圖。

具體實施方式

下面通過附圖和實施例，對本發明的技術方案做進一步的詳細描述。

本發明提供了一種接觸力測量基板，該接觸力測量基板包括壓電晶體和基板。其中，壓電晶體設置在基板的表面。該壓電晶體的一端為檢測電壓輸入端，另一端為檢測電壓輸出端。該接觸力測量基板可以用于測量與傳送設備或清洗設備接觸時的接觸力，以便生產人員進行調整，進而能準確控制傳送設備或清洗設備對基板產生的接觸力，減小或消除傳送設備或清洗設備對基板的特性產生的影響。

圖1為本發明接觸力測量基板實施例一的結構示意圖。如圖1所示，本實施例具體包括壓電晶體11和基板12，壓電晶體11設置在基板12的表面。壓電晶體11的一端為檢測電壓輸入端13，壓電晶體11的另一端為檢測電壓輸出端14。本實施例中，壓電晶體11的形狀為Z型(具體可以為ZigZag型的任意形式)，該Z型的壓電晶體11均勻分布在基板12的表面，壓電晶體11大部分平行于基板長邊。實際生產中，也可以將壓電晶體11的大部分和基板短邊平行或者隨意設置，只要均勻分布在基板12上均可。當然也可以有數個Z型壓電晶體11，這樣的話就具備多個檢測電壓輸入端13和檢測電壓輸出端14。

圖2為圖1中A-A向的剖面示意圖。如圖2所示，壓電晶體11包括上層傳力元件15、下層傳力元件16及位于上層傳力元件15和下層傳力元件16之間的兩層壓電材料17，在兩層壓電材料17之間還設有電極18。壓電材料17為壓敏片材料，可以選用石英，也可以選用由高分子材料構成、壓電系數高和靈敏度高的有機壓電材料，下面以石英為例進行說明。上層傳力元件15和下層傳力元件16可以為耐磨耐腐蝕的金屬材料，如鋼等金屬材料。