[發明專利]接觸力測量基板及接觸力測量方法

有效

• 申請號: 200910092941.1
• 申請日: 2009-09-11
• 公開（公告）號: CN102023065A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 李麗;彭志龍;王威
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16;G02F1/13
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

1.一種接觸力測量基板，其特征在于包括：壓電晶體和基板；所述壓電晶體設置在所述基板的表面；所述壓電晶體的一端為檢測電壓輸入端，另一端為檢測電壓輸出端。

2.根據權利要求1所述的接觸力測量基板，其特征在于，所述壓電晶體的數量至少為一個，形狀為Zigzag型，所述壓電晶體均勻分布在所述基板的表面。

3.根據權利要求1所述的接觸力測量基板，其特征在于，所述壓電晶體的數量為多個，多個壓電晶體平行設置在所述基板的表面，所述多個壓電晶體均勻分布在所述基板的表面。

4.根據權利要求1或2或3所述的接觸力測量基板，其特征在于，所述壓電晶體包括上層傳力元件、下層傳力元件、位于所述上層傳力元件和所述下層傳力元件之間的壓電材料，所述下層傳力元件與所述基板接觸。

5.根據權利要求4所述的接觸力測量基板，其特征在于，所述壓電晶體還包括電極，所述壓電材料為兩層，所述電極位于所述兩層壓電材料之間。

6.根據權利要求4所述的接觸力測量基板，其特征在于，所述壓電材料為石英或有機壓電材料。

7.根據權利要求4所述的接觸力測量基板，其特征在于，所述上層傳力元件和下層傳力元件為耐磨耐腐蝕的金屬材料。

8.根據權利要求4所述的接觸力測量基板，其特征在于，上層傳力元件和下層傳力元件的厚度范圍可以為0.05至0.5mm。

9.根據權利要求5所述的接觸力測量基板，其特征在于，所述兩層壓電材料的厚度范圍為0.4至1mm。

10.根據權利要求1或2或3所述的接觸力測量基板，其特征在于，檢測電壓的輸入值范圍為10至50V。

11.根據權利要求1所述的接觸力測量基板，其特征在于，所述壓電晶體的檢測電壓輸入端連接有前置放大器，用以對輸入的檢測電壓進行放大處理。

12.根據權利要求11所述的接觸力測量基板，其特征在于，所述前置放大器為電荷放大器或電壓放大器。

13.一種接觸力測量方法，其特征在于包括：

通過檢測電壓輸入端向壓電晶體輸入檢測電壓；

當接觸力測量基板受到接觸力時，通過檢測電壓輸出端輸出檢測電壓；

對輸出的檢測電壓進行處理，得到所述接觸力的大小。

14.根據權利要求13所述的接觸力測量方法，其特征在于，所述對輸出的檢測電壓進行處理，得到所述接觸力的大小具體為：

通過數字電路和溫度補償電路對輸出的檢測電壓進行優化處理，得到所述接觸力的大小。

15.根據權利要求13或14所述的接觸力測量方法，其特征在于，所述接觸力的大小包括多個位置處接觸力的大小，在所述得到接觸力的大小之后還包括：根據其他位置處接觸力的大小，對一位置處接觸力的大小進行校正。

16.根據權利要求13或14所述的接觸力測量方法，其特征在于，所述接觸力的大小包括多個位置處接觸力的大小，在所述得到接觸力的大小之后還包括：

通過比較所述多個位置處接觸力的大小，查找接觸力異常的位置；

根據所述接觸力異常的位置，檢測施壓設備。