[發明專利]硫化鋅/硒化鋅復合紅外透過材料的制備方法及模具

有效

• 申請號: 200910092537.4
• 申請日: 2009-09-17
• 公開（公告）號: CN101649449A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 錢纁;崔洪梅;滕祥紅;肖紅濤;田鴻昌;張旭;許寧;于波
• 申請（專利權）人: 北京中材人工晶體研究院有限公司
• 主分類號: C23C16/02
• 分類號: C23C16/02;C23C16/30;C30B25/18;C30B29/48;G02B1/10
• 代理公司: 北京諾孚爾知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 魏永金

1.一種硫化鋅/硒化鋅復合紅外透過材料的制備方法，在具有真空加熱體系的化學氣相沉積爐中采用化學氣相沉積法，在ZnSe基底上沉積ZnS，其特征是以直接在沉積爐中分別加熱升華產生Zn、S的蒸氣，在沉積腔中進行氣相反應而沉積ZnS，其制備步驟如下：

A)將要被沉積上ZnS的ZnSe基底先進行拋光、熱處理、等離子清洗的表面處理；

B)馬上將處理后的ZnSe基底放入生長模具上，該生長模具是由塊體石墨加工成的圓柱形石墨模具，該模具沿軸向的一端加工成與所述基底形狀尺寸相符的凹穴；該模具的另一端到ZnSe基底處的中心部位設有一圓形孔洞，該圓形孔洞半徑與所述石墨模具的半徑比為1∶3；然后將生長模具放入沉積腔上半部的確定位置上；

C)然后啟動沉積爐各系統，進行ZnS的化學氣相沉積，其沉積工藝條件是：沉積腔的溫度560-700℃，壓力控制在300-720Pa，沉積期間通入載流氣體，沉積時間至少50h，而后停止Zn、S的加熱升華，當Zn、S所在的坩堝溫度降至各自之升華溫度以下時，停止載流氣體的通入；并且將沉積腔溫度升高20℃，保溫12h，然后作退火處理，即以緩慢的降溫使沉積腔的溫度降至室溫。

2.根據權利要求1所述硫化鋅/硒化鋅復合紅外透過材料的制備方法，其特征在于：步驟C)所述沉積期間鋅坩堝溫度為500℃，硫坩堝溫度控制在300℃，在Zn、S加熱升華時，載流氣體開始輸入，所使用的載流氣體是氫氣和氬氣，鋅坩堝中通入的氬氣的流量∶硫坩堝中通入氬氣的流量∶氫氣的流量體積比為3∶2∶2。

3.根據權利要求1所述硫化鋅/硒化鋅復合紅外透過材料的制備方法，其特征在于：步驟A)所述ZnSe基底進行表面預處理的具體步驟是：先將拋光好的ZnSe基底，放入酒精中超聲處理15min，藥棉擦干；然后放入馬弗爐中，在200℃下保溫12h；取出后進行等離子清洗。