[發(fā)明專利]陣列基板及其制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910091488.2 | 申請日: | 2009-08-21 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101995712A | 公開(公告)日: | 2011-03-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳宇鵬;鄭堯燮 | 申請(專利權(quán))人: | 北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | G02F1/1362 | 分類號(hào): | G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/82 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人: | 劉芳 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 陣列 及其 制造 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及液晶顯示器測試技術(shù),尤其涉及一種具備測試電路結(jié)構(gòu)的陣列基板及其制造方法。
背景技術(shù)
隨著薄膜晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liquid?CrystalDisplay,以下簡稱:TFT-LCD)制造技術(shù)的不斷完善以及成本的不斷降低,TFT-LCD已經(jīng)被廣泛應(yīng)用。液晶面板是TFT-LCD中的主要顯示部件,通常由彩膜基板和陣列基板對盒形成。
陣列基板的典型結(jié)構(gòu)是包括橫縱交叉的多條數(shù)據(jù)線和柵掃描線,圍設(shè)形成矩陣形式排列的像素單元。在各像素單元中形成有TFT開關(guān),通過TFT開關(guān)導(dǎo)通數(shù)據(jù)線與像素電極。為保證液晶面板的正常顯示,在進(jìn)行陣列基板的制造過程中就需要對數(shù)據(jù)線和柵掃描線進(jìn)行短路和斷路測試,在形成陣列基板之后還要進(jìn)行像素電極是否能正常接收信號(hào)的測試。
為實(shí)現(xiàn)陣列基板的上述測試功能,需要在陣列基板上形成測試電路結(jié)構(gòu)。現(xiàn)有具有測試電路的陣列基板制造方法包括如下流程:首先,在襯底基板1上采用構(gòu)圖工藝形成包括柵掃描線3、柵電極14和柵聯(lián)結(jié)線6的圖案,如圖1所示(為清楚起見,本文中附圖僅示出陣列基板上部分像素單元的局部結(jié)構(gòu)),柵聯(lián)結(jié)線6與各柵掃描線3的一端均相連;而后,對各柵掃描線3進(jìn)行短路和斷路的不良檢測(Gate?OS?test);在形成柵掃描線3和柵聯(lián)結(jié)線6的襯底基板1上沉積形成柵絕緣層;然后采用構(gòu)圖工藝形成有源層15、數(shù)據(jù)線2、源電極16、漏電極17以及數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線5的圖案,如圖2所示(為使結(jié)構(gòu)清楚,本文附圖中將絕緣材料的膜層透明化顯示),該數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線5與各數(shù)據(jù)線2的一端均相連;而后,對各數(shù)據(jù)線2進(jìn)行短路和斷路的不良檢測(S/D?OS?test);在形成有源層15、數(shù)據(jù)線2、源電極16、漏電極17和數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線5的襯底基板1上形成鈍化層,并在鈍化層上形成鈍化層過孔22;采用構(gòu)圖工藝形成像素電極4,如圖3A所示,像素電極4通過鈍化層過孔22與漏電極17連接,圖3B為圖3A圓圈中的放大結(jié)構(gòu)示意圖;最后,進(jìn)行陣列基板的最終不良檢測(Array?final?test),柵聯(lián)結(jié)線6和數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線5是僅在最終不良檢測中發(fā)揮作用的臨時(shí)電路,需要在最終整體線路檢測時(shí)分別連接?xùn)艗呙杈€3和數(shù)據(jù)線2,在陣列基板進(jìn)行對盒前將會(huì)被去除。其中,柵掃描線3、數(shù)據(jù)線2、像素電極4、柵聯(lián)結(jié)線6和數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線5均為導(dǎo)電材料制成。
上述過程中所進(jìn)行的柵掃描線3不良檢測與數(shù)據(jù)線2不良檢測的方式類似,下面以柵掃描線3不良檢測為例進(jìn)行說明。如圖4所示,在形成柵掃描線3和柵聯(lián)結(jié)線6之后,利用一測試設(shè)備移動(dòng)軸18進(jìn)行測試,移動(dòng)軸18上設(shè)置有第一信號(hào)接收器19、第二信號(hào)接收器20和信號(hào)發(fā)射器21,位置關(guān)系是使信號(hào)發(fā)射器21與一條柵掃描線3的一端搭接,第一信號(hào)接收器19與該條柵掃描線3的另一端搭接,第二信號(hào)接收器20與該條柵掃描線3相鄰的另一條柵掃描線3的一端搭接。兩個(gè)信號(hào)接收器位于移動(dòng)軸18的同一端。在測試過程中,由信號(hào)發(fā)射器21輸出信號(hào),當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)接收器19接收的信號(hào)低于設(shè)定值時(shí)則證明該條柵掃描線3斷路,當(dāng)?shù)诙盘?hào)接收器20接收的信號(hào)高于設(shè)定值時(shí)則證明相鄰的這兩條柵掃描線3短路。隨著移動(dòng)軸18沿陣列基板表面的移動(dòng),即可以完成對所有柵掃描線3的測試。
但是,在進(jìn)行本發(fā)明的研究過程中,發(fā)明人發(fā)現(xiàn)上述測試過程存在如下問題:當(dāng)兩條柵掃描線3之間發(fā)生短路時(shí),如圖4所示,由于各柵掃描線3的一端已經(jīng)被柵聯(lián)結(jié)線6所連接,所以信號(hào)發(fā)射器21發(fā)射的測試信號(hào)不僅可以通過短路位置到達(dá)第二信號(hào)接收器20,也可以通過柵聯(lián)結(jié)線6到達(dá),因此對第二信號(hào)接收器20的接收造成干擾,導(dǎo)致測試信號(hào)的信噪比降低,影響了短路不良的檢出率和設(shè)備測試速度。數(shù)據(jù)線2的不良測試存在相同的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種陣列基板及其制造方法,以改進(jìn)陣列基板制造過程中不良測試的效果。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了一種陣列基板,包括襯底基板;所述襯底基板上形成有橫縱交叉的多條數(shù)據(jù)線和柵掃描線,圍設(shè)形成矩陣形式排列的像素單元;所述像素單元中形成有TFT開關(guān)和像素電極,其中,還包括:
數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線,與所述數(shù)據(jù)線、柵掃描線或像素電極同層形成,且彼此相互間隔,所述數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線與各所述數(shù)據(jù)線通過第一絕緣層中的數(shù)據(jù)過孔相連;和/或
柵聯(lián)結(jié)線,與所述數(shù)據(jù)線、柵掃描線或像素電極同層形成,且彼此相互間隔,所述柵聯(lián)結(jié)線與各所述柵掃描線通過第二絕緣層中的柵過孔相連。
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G02F1-00 控制來自獨(dú)立光源的光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置,例如,轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制;非線性光學(xué)
G02F1-01 .對強(qiáng)度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制,即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
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