[發(fā)明專利]陣列基板及其制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910091488.2
• 申請日: 2009-08-21
• 公開（公告）號(hào): CN101995712A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳宇鵬;鄭堯燮
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/1362
• 分類號(hào): G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/82
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶顯示器測試技術(shù)，尤其涉及一種具備測試電路結(jié)構(gòu)的陣列基板及其制造方法。

背景技術(shù)

隨著薄膜晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liquid?CrystalDisplay，以下簡稱：TFT-LCD)制造技術(shù)的不斷完善以及成本的不斷降低，TFT-LCD已經(jīng)被廣泛應(yīng)用。液晶面板是TFT-LCD中的主要顯示部件，通常由彩膜基板和陣列基板對盒形成。

陣列基板的典型結(jié)構(gòu)是包括橫縱交叉的多條數(shù)據(jù)線和柵掃描線，圍設(shè)形成矩陣形式排列的像素單元。在各像素單元中形成有TFT開關(guān)，通過TFT開關(guān)導(dǎo)通數(shù)據(jù)線與像素電極。為保證液晶面板的正常顯示，在進(jìn)行陣列基板的制造過程中就需要對數(shù)據(jù)線和柵掃描線進(jìn)行短路和斷路測試，在形成陣列基板之后還要進(jìn)行像素電極是否能正常接收信號(hào)的測試。

為實(shí)現(xiàn)陣列基板的上述測試功能，需要在陣列基板上形成測試電路結(jié)構(gòu)。現(xiàn)有具有測試電路的陣列基板制造方法包括如下流程：首先，在襯底基板1上采用構(gòu)圖工藝形成包括柵掃描線3、柵電極14和柵聯(lián)結(jié)線6的圖案，如圖1所示(為清楚起見，本文中附圖僅示出陣列基板上部分像素單元的局部結(jié)構(gòu))，柵聯(lián)結(jié)線6與各柵掃描線3的一端均相連；而后，對各柵掃描線3進(jìn)行短路和斷路的不良檢測(Gate?OS?test)；在形成柵掃描線3和柵聯(lián)結(jié)線6的襯底基板1上沉積形成柵絕緣層；然后采用構(gòu)圖工藝形成有源層15、數(shù)據(jù)線2、源電極16、漏電極17以及數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線5的圖案，如圖2所示(為使結(jié)構(gòu)清楚，本文附圖中將絕緣材料的膜層透明化顯示)，該數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線5與各數(shù)據(jù)線2的一端均相連；而后，對各數(shù)據(jù)線2進(jìn)行短路和斷路的不良檢測(S/D?OS?test)；在形成有源層15、數(shù)據(jù)線2、源電極16、漏電極17和數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線5的襯底基板1上形成鈍化層，并在鈍化層上形成鈍化層過孔22；采用構(gòu)圖工藝形成像素電極4，如圖3A所示，像素電極4通過鈍化層過孔22與漏電極17連接，圖3B為圖3A圓圈中的放大結(jié)構(gòu)示意圖；最后，進(jìn)行陣列基板的最終不良檢測(Array?final?test)，柵聯(lián)結(jié)線6和數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線5是僅在最終不良檢測中發(fā)揮作用的臨時(shí)電路，需要在最終整體線路檢測時(shí)分別連接?xùn)艗呙杈€3和數(shù)據(jù)線2，在陣列基板進(jìn)行對盒前將會(huì)被去除。其中，柵掃描線3、數(shù)據(jù)線2、像素電極4、柵聯(lián)結(jié)線6和數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線5均為導(dǎo)電材料制成。

上述過程中所進(jìn)行的柵掃描線3不良檢測與數(shù)據(jù)線2不良檢測的方式類似，下面以柵掃描線3不良檢測為例進(jìn)行說明。如圖4所示，在形成柵掃描線3和柵聯(lián)結(jié)線6之后，利用一測試設(shè)備移動(dòng)軸18進(jìn)行測試，移動(dòng)軸18上設(shè)置有第一信號(hào)接收器19、第二信號(hào)接收器20和信號(hào)發(fā)射器21，位置關(guān)系是使信號(hào)發(fā)射器21與一條柵掃描線3的一端搭接，第一信號(hào)接收器19與該條柵掃描線3的另一端搭接，第二信號(hào)接收器20與該條柵掃描線3相鄰的另一條柵掃描線3的一端搭接。兩個(gè)信號(hào)接收器位于移動(dòng)軸18的同一端。在測試過程中，由信號(hào)發(fā)射器21輸出信號(hào)，當(dāng)?shù)谝恍盘?hào)接收器19接收的信號(hào)低于設(shè)定值時(shí)則證明該條柵掃描線3斷路，當(dāng)?shù)诙盘?hào)接收器20接收的信號(hào)高于設(shè)定值時(shí)則證明相鄰的這兩條柵掃描線3短路。隨著移動(dòng)軸18沿陣列基板表面的移動(dòng)，即可以完成對所有柵掃描線3的測試。

但是，在進(jìn)行本發(fā)明的研究過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)上述測試過程存在如下問題：當(dāng)兩條柵掃描線3之間發(fā)生短路時(shí)，如圖4所示，由于各柵掃描線3的一端已經(jīng)被柵聯(lián)結(jié)線6所連接，所以信號(hào)發(fā)射器21發(fā)射的測試信號(hào)不僅可以通過短路位置到達(dá)第二信號(hào)接收器20，也可以通過柵聯(lián)結(jié)線6到達(dá)，因此對第二信號(hào)接收器20的接收造成干擾，導(dǎo)致測試信號(hào)的信噪比降低，影響了短路不良的檢出率和設(shè)備測試速度。數(shù)據(jù)線2的不良測試存在相同的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種陣列基板及其制造方法，以改進(jìn)陣列基板制造過程中不良測試的效果。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種陣列基板，包括襯底基板；所述襯底基板上形成有橫縱交叉的多條數(shù)據(jù)線和柵掃描線，圍設(shè)形成矩陣形式排列的像素單元；所述像素單元中形成有TFT開關(guān)和像素電極，其中，還包括：

數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線，與所述數(shù)據(jù)線、柵掃描線或像素電極同層形成，且彼此相互間隔，所述數(shù)據(jù)聯(lián)結(jié)線與各所述數(shù)據(jù)線通過第一絕緣層中的數(shù)據(jù)過孔相連；和/或

柵聯(lián)結(jié)線，與所述數(shù)據(jù)線、柵掃描線或像素電極同層形成，且彼此相互間隔，所述柵聯(lián)結(jié)線與各所述柵掃描線通過第二絕緣層中的柵過孔相連。