[發(fā)明專利]光刻膠涂布裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910090520.5
• 申請日: 2009-08-19
• 公開（公告）號: CN101995773A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 焦宇;張學(xué)智;宋瑞濤;王輝;蘇九端;王江;劉杰
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

1.一種光刻膠涂布裝置，包括光刻膠涂布裝置本體，其特征在于，所述光刻膠涂布裝置本體的噴嘴的外部罩設(shè)有用于將所述噴嘴與基板上的雜質(zhì)隔離開的保護(hù)模塊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠涂布裝置，其特征在于，所述噴嘴包括沿所述噴嘴運動方向相對設(shè)置的第一表面，所述保護(hù)模塊包括兩個第一保護(hù)單元，所述兩個第一保護(hù)單元通過固定裝置固定在所述第一表面上，并形成狹縫。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻膠涂布裝置，其特征在于，所述固定裝置為螺釘，所述第一保護(hù)單元上設(shè)有矩形通孔，所述螺釘穿過所述矩形通孔將所述第一保護(hù)單元可調(diào)地固定在所述第一表面上，以形成可調(diào)節(jié)大小的狹縫。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻膠涂布裝置，其特征在于，所述噴嘴還包括沿與所述噴嘴運動方向相垂直的方向相對設(shè)置的端面，所述保護(hù)模塊還包括兩個第二保護(hù)單元，所述兩個第二保護(hù)單元上設(shè)有矩形通孔，螺釘穿過所述第二保護(hù)單元上的矩形通孔將所述第二保護(hù)單元可調(diào)地固定在所述端面上，并與所述兩個第一保護(hù)單元對合，形成可調(diào)節(jié)大小的狹縫。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠涂布裝置，其特征在于，所述保護(hù)模塊為一體結(jié)構(gòu)，且所述保護(hù)模塊沿豎直穿過噴嘴的直線方向呈鏡面對稱結(jié)構(gòu)，所述保護(hù)模塊與所述基板正對的端部為平面結(jié)構(gòu)，且所述端部上設(shè)有至少一排孔隙或縫隙。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光刻膠涂布裝置，其特征在于，所述噴嘴包括沿所述噴嘴運動方向相對設(shè)置的第一表面，所述保護(hù)模塊包括罩設(shè)在所述噴嘴的第一表面外部的第一部件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光刻膠涂布裝置，其特征在于，所述噴嘴還包括與所述第一表面連接的第二表面，所述保護(hù)模塊還包括罩設(shè)在所述第二表面外部的第二部件，且所述第二部件與所述第一部件連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光刻膠涂布裝置，其特征在于，所述噴嘴還包括與所述第二表面連接的第三表面，所述保護(hù)模塊還包括罩設(shè)在所述第三表面外部的第三部件，且所述第三部件與所述第二部件連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠涂布裝置，其特征在于，所述噴嘴包括沿所述噴嘴運動方向相對設(shè)置的第一表面，所述保護(hù)模塊為一體結(jié)構(gòu)，所述保護(hù)模塊設(shè)置在所述第一表面中沿移動方向靠前的一側(cè)的表面上，且所述保護(hù)模塊與所述基板之間的距離小于等于所述噴嘴與所述基板之間的距離。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠涂布裝置，其特征在于，所述噴嘴包括沿所述噴嘴運動方向相對設(shè)置的第一表面，所述保護(hù)模塊為一體結(jié)構(gòu)，所述保護(hù)模塊設(shè)置在所述第一表面上，且所述保護(hù)模塊與所述基板之間的距離小于等于所述噴嘴與所述基板之間的距離。

11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任一權(quán)利要求所述的光刻膠涂布裝置，其特征在于，所述保護(hù)模塊采用碳素鋼材料。