[發(fā)明專利]一種基片處理設(shè)備及其頂針升降裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910088744.2
• 申請日: 2009-07-10
• 公開（公告）號: CN101944498A
• 公開（公告）日: 2011-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 管長樂
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/677;H01L21/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波;逯長明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，特別涉及一種頂針升降裝置。本發(fā)明還涉及一種包括上述頂針升降裝置的基片處理設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著我國經(jīng)濟建設(shè)的快速發(fā)展，市場對于半導(dǎo)體元件的需求量日益增大，由此便帶動了半導(dǎo)體加工行業(yè)的迅猛發(fā)展。

目前，用于加工半導(dǎo)體的工藝腔的內(nèi)部一般具有靜電卡盤，該靜電卡盤用于支撐被加工的晶體等半導(dǎo)體元件，且其下部設(shè)有升降裝置，該升降裝置上插有用于支撐晶體的頂針，頂針的數(shù)量一般為四個。加工晶體時，傳輸平臺將晶體傳入工藝腔內(nèi)，并使晶體高于靜電卡盤的上表面一定距離；此時，位于上位的升降裝置通過頂針把機械手上的晶體托起，機械手隨后退出工藝腔；升降裝置向下移動，把晶體平穩(wěn)地放到靜電卡盤上表面后開始加工；加工完成后，升降裝置向上移動，將晶體托起到一定高度，機械手重新伸入工藝腔內(nèi)把晶體取走。

請參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種頂針升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

在該現(xiàn)有技術(shù)中，頂針11固定連接于其底部的固定座12上，該固定座12通過螺釘181固定連接于波紋管組件13上，該波紋管組件13包括波紋管的內(nèi)部軸以及法蘭，其內(nèi)部軸能夠相對于法蘭沿豎直方向運動；波紋管組件13通過螺釘182與氣缸支架14固定連接，氣缸支架14與氣缸17通過分別與二者固定連接的氣缸固定板16連接，氣缸支架14與氣缸固定板16之間旋有第一調(diào)節(jié)螺釘183，氣缸17與氣缸固定板16之間旋有第二調(diào)節(jié)螺釘184，用以調(diào)節(jié)氣缸17、氣缸支架14以及氣缸固定板16之間的水平度，進而調(diào)節(jié)固定座12的水平。氣缸17的輸出軸與波紋管的內(nèi)部軸之間通過升降柱15連接，從而帶動內(nèi)部軸在豎直方向上運動，進而帶動頂針11升降。

在機械手送片和取片時，被加工晶體的水平是由頂針升降裝置決定的，如果頂針11上端面的水平度相差較大，則會出現(xiàn)掉片的現(xiàn)象。要保持頂針11上端面的水平，則氣缸17、氣缸固定板16、氣缸支架14、波紋管組件13以及固定座12之間均須相對平行。但是，由于各零件加工誤差的積累以及安裝時的誤差，使得無法保證上述部件的相對水平。

因此，在加工開始之前，需要通過調(diào)節(jié)頂針升降裝置的水平，從而保持證針頂11上端組成的平面水平。上述現(xiàn)有技術(shù)需要反復(fù)調(diào)節(jié)第一調(diào)節(jié)螺釘183和第二調(diào)節(jié)螺釘184，通過調(diào)整升降柱15的豎直程度來間接保證頂針11端面的水平。而第一調(diào)節(jié)螺釘183和第二調(diào)節(jié)螺釘184的調(diào)節(jié)范圍較小，如果超出其調(diào)節(jié)范圍，便不能實現(xiàn)水平調(diào)節(jié)，這樣就使得各零件的加工和裝配的精度要求提高，增加了加工和裝配的難度；并且，更換裝置中的某一零件后，需要對整個裝置重新調(diào)平，增加了平均維護時間；另外，該裝置處于反應(yīng)腔的下部，外面具有金屬盒體，調(diào)平時要將整個裝置拆下，費時費力。

因此，如何增加頂針升降裝置的調(diào)平范圍，從而減低對零件加工和裝配精度的要求，并簡化調(diào)平過程，進而減少平均維護時間就成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟須解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種頂針升降裝置，其具有較大的調(diào)平范圍，從而能夠降低對零件加工和裝配精度的要求，且其調(diào)平過程較為方便，能夠減小平均維護時間。本發(fā)明的另一目的是提供一種包括上述頂針升降裝置的基片處理設(shè)備。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種頂針升降裝置，用于基片處理設(shè)備，包括支撐頂針的固定座，定位桿沿豎直方向穿過所述固定座的中部，且兩者之間具有適當(dāng)?shù)膹较蜷g隙；所述定位桿的末端與波紋管組件的頂部固定連接；所述固定座具有至少兩個在其周向上均勻分布且具有內(nèi)螺紋的通孔，各所述通孔中均設(shè)置調(diào)節(jié)螺釘；所述調(diào)節(jié)螺釘通過外螺紋與所述通孔的內(nèi)螺紋相配合，且其下端支撐于所述波紋管組件的上表面。

優(yōu)選地，所述定位桿具體為定位螺釘，其末端可拆裝地安裝于所述波紋管組件的頂部的中心位置。

優(yōu)選地，所述通孔的數(shù)目為三個。

優(yōu)選地，所述通孔包括光孔以及與所述光孔同軸的螺紋孔，所述光孔位于所述螺紋孔的上方，并能夠容納所述調(diào)節(jié)螺釘?shù)穆菝?；所述調(diào)節(jié)螺釘通過外螺紋與所述螺紋孔相配合。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)螺釘?shù)哪┒诉€設(shè)置有鎖緊螺母。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)螺釘與所述鎖緊螺母的材料均為絕緣材料。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)螺釘與所述鎖緊螺母的材料均為高純陶瓷。

優(yōu)選地，所述定位螺釘為不銹鋼真空螺釘。

本發(fā)明還提供一種基片處理設(shè)備，包括上述任一項所述的頂針升降裝置。