[發(fā)明專(zhuān)利]掃描蒸鍍制膜的方法及設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910087009.X
• 申請(qǐng)日: 2009-06-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101619441A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-01-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮煥培;黎志欣;王軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京京運(yùn)通科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/30
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/30
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 閆立德

1.一種掃描蒸鍍制膜的設(shè)備，其特征在于：

設(shè)置使工作狀態(tài)下的電子槍擺動(dòng)的裝置，使電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍；

設(shè)備主要由多個(gè)電子槍、機(jī)架和真空腔體所組成，電子槍位于擺動(dòng)裝置上， 電子槍在移動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行噴鍍；

所述的擺動(dòng)裝置是：掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位 于真空腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過(guò)磁流體密封裝置軸接，掃描支架 下端連接大帶輪；擺盤(pán)，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺 盤(pán)與掃描支架通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤(pán)下端設(shè)有擺盤(pán)輪，擺盤(pán)上端設(shè)有 電子槍?zhuān)粋鲃?dòng)裝置，包括傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)、減速器、傳送輪、傳送帶和傳 動(dòng)擺盤(pán)的電機(jī)、傳送輪和傳送帶，傳動(dòng)擺盤(pán)的電機(jī)、傳送輪和傳送帶位于掃描 支架內(nèi)，傳動(dòng)擺盤(pán)的電機(jī)通過(guò)傳送輪和傳送帶帶動(dòng)擺盤(pán)輪，傳動(dòng)掃描支架的電 機(jī)通過(guò)減速器、傳送輪和傳送帶帶動(dòng)掃描支架轉(zhuǎn)動(dòng)；

或所述的擺動(dòng)裝置是：掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端 位于真空腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過(guò)磁流體密封裝置軸接，掃描支 架下端連接大帶輪；擺盤(pán)，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)； 傳動(dòng)裝置，由傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)、減速器、傳送輪、傳送帶所構(gòu)成，傳動(dòng)掃 描支架的電機(jī)通過(guò)減速器、傳送輪和傳送帶帶動(dòng)掃描支架轉(zhuǎn)動(dòng)；

或所述的擺動(dòng)裝置是：掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端 位于真空腔體內(nèi)；擺盤(pán)，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺 盤(pán)與掃描支架通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤(pán)下端設(shè)有擺盤(pán)輪，擺盤(pán)上端設(shè)有 電子槍?zhuān)粋鲃?dòng)裝置，由傳動(dòng)擺盤(pán)的電機(jī)、傳送輪和傳送帶所構(gòu)成，傳動(dòng)擺盤(pán)的 電機(jī)、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動(dòng)擺盤(pán)的電機(jī)通過(guò)傳送輪和傳送帶 帶動(dòng)擺盤(pán)輪；

或所述的擺動(dòng)裝置是：掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空腔 體內(nèi)其上設(shè)有擺盤(pán)，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過(guò)密封波紋 管軸接，掃描支架另一端位于真空腔體外并與直線導(dǎo)軌滑配，位于真空腔體外 的掃描支架側(cè)端與滾珠絲桿螺接；擺盤(pán)，呈中空T字形，位于真空腔體內(nèi)的掃描 支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤(pán)與掃描支架通過(guò)磁流體密封裝置軸接，擺盤(pán)下端設(shè)有擺盤(pán) 輪，擺盤(pán)上端設(shè)有電子槍?zhuān)粋鲃?dòng)裝置，包括傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)、電機(jī)輪、傳 送帶、傳送輪、受傳送輪帶動(dòng)的滾珠絲桿和傳動(dòng)擺盤(pán)的電機(jī)、傳送輪和傳送帶， 傳動(dòng)擺盤(pán)的電機(jī)、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動(dòng)擺盤(pán)的電機(jī)通過(guò)傳送 輪和傳送帶帶動(dòng)擺盤(pán)輪，傳動(dòng)掃描支架的電機(jī)通過(guò)電機(jī)輪、傳送帶、傳送輪和 受傳送輪帶動(dòng)的滾珠絲桿帶動(dòng)掃描支架左右移動(dòng)。

2.按權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于：所述的電子槍的數(shù)量為數(shù)個(gè)，電 子槍位于擺盤(pán)上端。

3.按權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于：所述的位于擺盤(pán)上的電子槍呈十 字分布。