[發(fā)明專利]掃描蒸鍍制膜的方法及設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910087009.X
• 申請日: 2009-06-22
• 公開（公告）號: CN101619441A
• 公開（公告）日: 2010-01-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馮煥培;黎志欣;王軍
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京運通科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 閆立德

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于一種掃描蒸鍍制膜的設(shè)備。

背景技術(shù)

薄膜光伏電池，包括CIGS光伏電池可替代單晶硅材料用作太陽能發(fā)電，晶 體硅材料作為光伏發(fā)電材料價格昂貴，制作難度大，成本高，難以推廣使用。 最新的科學(xué)顯示可以用在玻璃或其他材料的基板上用電子槍蒸鍍方法鍍數(shù)層金 屬和非金屬薄膜來替代晶體硅材料用作太陽能發(fā)電，這種新材料價格低廉，利 于推廣使用。用電子槍蒸鍍方法鍍數(shù)層金屬薄膜在基板上，要求薄膜必須厚度 均勻，但目前的設(shè)備難以達到這樣的要求。傳統(tǒng)的電子槍蒸鍍設(shè)備包括一個真 空腔體，真空腔體內(nèi)下端固定設(shè)置若干個電子槍，待鍍的基板置于電子槍上端， 完成電子槍蒸鍍制膜。這種傳統(tǒng)的設(shè)備不能保證基板上薄膜厚度的均勻，往往 造成靠近電子槍的基板上薄膜厚，反之，則薄。而薄膜厚度的不均勻使玻璃基 板光電轉(zhuǎn)換率大幅下降，質(zhì)量一致性差，難以在市場上推廣使用。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是設(shè)計一種掃描蒸鍍制膜的設(shè)備，該設(shè)備使電子槍在移動 狀態(tài)下進行噴鍍，鍍膜均勻，簡便可行，其設(shè)備具有鍍膜均勻，速度快，價格低， 質(zhì)量好，可大幅度提高基板光電轉(zhuǎn)換率，大幅延長其使用壽命的優(yōu)點。

為此，本發(fā)明設(shè)置使工作狀態(tài)下的電子槍擺動的裝置，使電子槍在移動狀態(tài) 下進行噴鍍。

實現(xiàn)本發(fā)明的設(shè)備是電子槍位于擺動裝置上，電子槍在移動狀態(tài)下進行噴 鍍。

所述的擺動裝置是：掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位 于真空腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架 下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺 盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺盤輪，擺盤上端設(shè)有 電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶和傳 動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于掃描 支架內(nèi)，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電 機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉(zhuǎn)動。

所述的擺動裝置還可是：掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上 端位于真空腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描 支架下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)； 傳動裝置，由傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶所構(gòu)成，傳動掃 描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉(zhuǎn)動。

所述的擺動裝置還可是：掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空 腔體內(nèi)其上設(shè)有擺盤，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過密封波 紋管軸接，掃描支架另一端位于真空腔體外并與直線導(dǎo)軌滑配，位于真空腔體 外的掃描支架側(cè)端與滾珠絲桿螺接；擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內(nèi)的掃 描支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺 盤輪，擺盤上端設(shè)有電子槍。

所述的擺動裝置還可是：掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空 腔體內(nèi)其上設(shè)有擺盤，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過密封波 紋管軸接，掃描支架另一端位于真空腔體外并與直線導(dǎo)軌滑配，位于真空腔體 外的掃描支架側(cè)端與滾珠絲桿螺接；擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內(nèi)的掃 描支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設(shè)有擺 盤輪，擺盤上端設(shè)有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、電機輪、 傳送帶、傳送輪、受傳送輪帶動的滾珠絲桿和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送 帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動擺盤的電機通過 傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過電機輪、傳送帶、傳送 輪和受傳送輪帶動的滾珠絲桿帶動掃描支架左右移動。上述結(jié)構(gòu)設(shè)計達到了本 發(fā)明的目的。

本發(fā)明的優(yōu)點是使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，鍍膜均勻，簡便可行。該 設(shè)備使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，價格低，質(zhì)量 好，可大幅度提高基板光電轉(zhuǎn)換率，并大幅延長其使用壽命。利于在市場上推 廣使用。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖

圖2是圖1的A-A剖面局部結(jié)構(gòu)示意圖

圖3是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖

圖4是圖3的A-A剖面局部結(jié)構(gòu)示意圖

圖5是本發(fā)明的使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖

圖6是本發(fā)明的另一實施例結(jié)構(gòu)示意圖

具體實施方案