[發明專利]冷心放肩微量提拉法生長大尺寸藍寶石單晶的快速退火方法

有效

• 申請號: 200910072376.2
• 申請日: 2009-06-26
• 公開（公告）號: CN101580965A
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發明（設計）人: 左洪波;楊鑫宏;宋波;王玉平;王天成
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工大奧瑞德光電技術有限公司
• 主分類號: C30B33/02
• 分類號: C30B33/02;C30B29/20;C30B15/20
• 代理公司: 哈爾濱市哈科專利事務所有限責任公司
• 代理人: 劉 婭

1.一種冷心放肩微量提拉法生長大尺寸藍寶石單晶的退火工藝方法，其特征在于：采用冷心放肩微量提拉法生長藍寶石單晶，生長完畢后，保持晶體生長爐內真空度，此時壓力為10^-4Pa，不關電源，減小加熱電壓，使晶體生長爐內溫度以20-25℃/h的速率下降，待爐內溫度降至1700℃后，恒溫4-8小時；繼續減小加熱電壓，使晶體生長爐內溫度以15-20℃/h的速率下降，待晶體生長爐內溫度降至1100℃后，恒溫2-4小時；繼續減小加熱電壓，使晶體生長爐內溫度以10-15℃/h的速率下降；待晶體生長爐內溫度降至600℃后，繼續減小加熱電壓，使晶體生長爐內溫度以15-20℃/h的速率下降；降至400℃后，繼續減小加熱電壓，使晶體生長爐內溫度以25-30℃/h的速率下降；待晶體生長爐內溫度降至300℃后，繼續減小加熱電壓，使晶體生長爐內溫度以30-35℃/h的速率下降；待加熱電壓降至零后，通入惰性氣體1-3次進行快速冷卻，使晶體生長爐內溫度降至80℃，壓力增至10⁴Pa，退火處理能夠降低大直徑、高膨脹系數晶體的晶格空位、晶格畸變、位錯的缺陷密度，并防止開裂。

2.根據權利要求1所述的冷心放肩微量提拉法生長大尺寸藍寶石單晶的退火工藝方法，其特征在于所述的通入的惰性氣體為高純氬氣，分成1-3次進行，最終使晶體生長爐內溫度降至80℃。