[發明專利]用二元蒸發源制備工模具硬質涂層的方法

無效

• 申請號: 200910059221.5
• 申請日: 2009-05-08
• 公開（公告）號: CN101570849A
• 公開（公告）日: 2009-11-04
• 發明（設計）人: 趙海波;梁紅櫻;王輝;馮浩
• 申請（專利權）人: 四川大學
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/06;C23C14/14
• 代理公司: 成都科海專利事務有限責任公司
• 代理人: 唐麗蓉

1.一種用二元蒸發源制備工模具硬質涂層的方法，該方法是先直接將待制備的常 規工模具進行清洗干燥后，置于鍍膜室內依次抽真空、加熱和等離子清洗，然后按以 下順序鍍膜后冷卻：

1)鍍制過渡層Ti+TiN在氬氣保護下，用電子束加熱，以Ti作為蒸發源進行鍍 制，然后再通入氮氣與Ti一起繼續鍍制；

2)鍍制抗沖擊耐磨層Ti-Zr-N在氬氣保護下，用電子束加熱Ti蒸發源，用磁 控濺射法濺射Zr，同時通入氮氣進行鍍制；

3)鍍制抗氧化層ZrN在氬氣保護下，用磁控濺射法濺射Zr，同時通入氮氣進行 鍍制，

其中鍍制過渡層Ti+TiN的具體工藝條件為：在1.2～1.5×10^-1Pa氬氣保護下，用 電子束加熱，以Ti作為蒸發源，在功率7.5～10KW，基體負偏壓100～500V，鍍制5～ 10min；通入0.2～0.5×10^-1Pa氮氣，繼續與Ti蒸發源一起在功率7.5～10KW，基體負 偏壓100～300V，鍍制5～10min，

鍍制抗沖擊耐磨層Ti-Zr-N的具體工藝條件為：在1.2～1.5×10^-1Pa氬氣保護下， 用電子束加熱Ti蒸發源，功率7.5～10KW，用磁控濺射法濺射Zr，功率1～2KW，同 時通入0.2～0.5×10^-1Pa氮氣，在基體負偏壓100～300V鍍制30～50min，

鍍制抗氧化層ZrN的具體工藝條件為：在1.2～1.5×10^-1Pa氬氣保護下，用磁控 濺射法濺射Zr，功率1～3KW，同時通入0.2～0.7×10^-1Pa氮氣，在基體負偏壓70～100V 鍍制10～30min。

2.根據權利要求1所述的用二元蒸發源制備工模具硬質涂層的方法，該方法對工 模具鍍膜后的冷卻時間為60～120min。