[發明專利]硅片級別的頻率測試方法

有效

• 申請號: 200910057945.6
• 申請日: 2009-09-24
• 公開（公告）號: CN102033160A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 繆小波;謝晉春;?？Ｖ?/a>;辛吉升
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G01R23/02
• 分類號: G01R23/02;G11C29/00
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀鐵

技術領域

本發明涉及一種硅片級別的頻率測試方法。

背景技術

在現有半導體領域的測試中，有一些測試儀是專門針對存儲器進行測試的，由于存儲器產品不需要進行頻率測試，故這些設備不具備頻率的硬件模塊，也就無法進行頻率測試。如要利用此類機器進行如要利用此類機器進行頻率測試，則需要對機器進行硬件改造，追加頻率測試模塊；或者直接購買新的包含頻率測試功能的新型測試儀。以上兩點都會造成測試成本的大幅度增加。

但是現在許多產品均需要進行頻率測試，所以現有的存儲器測試機臺無法滿足其測試需求，所以可在此平臺上測試的芯片越來越少，測試儀利用率明顯降低。如果進行硬件的改造，追加頻率測試模塊；或者直接購買新的包含頻率測試功能的新型測試儀會造成測試成本的大幅度增加。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種半導體硅片級別的頻率測試方法，它能在存儲器測試儀上利用其自身帶有的失效內存地址進行頻率測試，擴展了存儲器測試儀的測試功能、提高其利用率，降低測試成本。

為解決上述技術問題，本發明提供了一種半導體硅片級別的頻率測試方法，是在存儲器測試儀上利用其自身帶有的失效地址內存資源進行頻率測試，至少包括以下步驟：第一步，選擇掃描頻率，對待測波形進行掃描，掃描得到相應的采樣模擬信號，所述掃描頻率是根據所述待測波形頻率預估值進行選取，一般選取為所述待測波形頻率預估值10倍的頻率，也能選擇10倍以上的頻率，所述掃描頻率越高，頻率測試的精度也越高；第二步，選擇掃描參考電壓，將所述采樣模擬信號轉化為數字信號，所述掃描參考電壓是根據所述采樣模擬信號的輸出電壓的最大值和最小值進行設定，一般設定為所述輸出電壓的最大值和最小值中間值，用所述采樣模擬信號輸出值和所述掃描參考電壓進行比較，當所述采樣模擬信號輸出值大于所述掃描參考電壓時，得到所述數字信號的值為1，當所述采樣模擬信號輸出值小于所述掃描參考電壓時，得到所述數字信號的值為0；第三步，利用所述失效地址資源對所述數字信號進行存儲；第四步，對所存儲的所述數字信號進行處理，將所述數字信號連續出現的1值合并為一個1，將所述數字信號連續出現的0值合并為一個0，將合并得到的所述一個1和一個0合并為一個周期，根據上述處理計算出所述數字信號合并后的周期數，根據所述掃描頻率計算出所述數字信號的掃描時間，用所述周期數除以所述掃描時間即得到所述待測波形的頻率值。

本發明所述半導體硅片級別的頻率測試方法的有益效果為：它能在存儲器測試儀上利用其自身帶有的失效內存地址進行頻率測試，擴展了存儲器測試儀的測試功能，實現了存儲器測試儀向片上系統測試儀的功能轉化，提升了測試儀的利用價值，有效降低了測試成本。

具體實施方式

本發明所述半導體硅片級別的頻率測試方法是在存儲器測試儀上利用其自身帶有的失效地址內存資源進行頻率測試。所述存儲器測試儀本身不含有頻率測試的硬件模塊，主要是對存儲器產品進行測試的。所述失效地址內存是存儲器測試儀本身帶有的一個內存模塊，其具有可記錄功能以及大容量的特性。所述存儲器測試儀包含有一個中央處理器，所述中央處理器可以進行數據處理。

所述頻率測試方法至少包括以下步驟：

第一步，選擇掃描頻率，對待測波形進行掃描，掃描得到相應的采樣模擬信號，所述掃描頻率是根據所述待測波形頻率預估值進行選取，一般選取為所述待測波形頻率預估值10倍的頻率，也能選擇10倍以上的頻率，所述掃描頻率越高，頻率測試的精度也越高；

第二步，選擇掃描參考電壓，將所述采樣模擬信號轉化為數字信號，所述掃描參考電壓是根據所述采樣模擬信號的輸出電壓的最大值和最小值進行設定，一般設定為所述輸出電壓的最大值和最小值中間值，用所述采樣模擬信號輸出值和所述掃描參考電壓進行比較，當所述采樣模擬信號輸出值大于所述掃描參考電壓時，得到所述數字信號的值為1，當所述采樣模擬信號輸出值小于所述掃描參考電壓時，得到所述數字信號的值為0；

第三步，利用所述失效地址資源對所述數字信號進行存儲；

第四步，對所存儲的所述數字信號進行處理，將所述數字信號連續出現的1值合并為一個1，將所述數字信號連續出現的0值合并為一個0，將合并得到的所述一個1和一個0合并為一個周期，根據上述處理計算出所述數字信號合并后的周期數，根據所述掃描頻率計算出所述數字信號的掃描時間，用所述周期數除以所述掃描時間即得到所述待測波形的頻率值。

以上通過具體實施例對本發明進行了詳細的說明，但這些并非構成對本發明的限制。在不脫離本發明原理的情況下，本領域的技術人員還可做出許多變形和改進，這些也應視為本發明的保護范圍。