[發明專利]芯片測試板及芯片測試系統有效
| 申請號: | 200910055379.5 | 申請日: | 2009-07-24 |
| 公開(公告)號: | CN101963647A | 公開(公告)日: | 2011-02-02 |
| 發明(設計)人: | 丁育林;張啟華;謝君強;孫陽陽 | 申請(專利權)人: | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號: | G01R31/28 | 分類號: | G01R31/28 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李時云 |
| 地址: | 20120*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 芯片 測試 系統 | ||
1.一種芯片測試板,包括電路板,所述電路板上具有若干均勻排列的插孔陣列,其特征在于:在插孔陣列上設置有基座,所述基座包括至少由第一、二、三、四側壁依次連接而成的框架、推進機構以及在對應所述插孔兩側分別設置的彈性元件,所述彈性元件用以擠壓插入所述插孔的針腳,使所述插孔與針腳電性連接。
2.如權利要求1所述的芯片測試板,其特征在于:所述彈性元件呈圓弧片狀,其拱起方向朝向所述插孔,兩側的彈性元件一端分別固定在第二、四側壁內壁上,另一端分別連接對應所述推進機構。
3.如權利要求1所述的芯片測試板,其特征在于:在所述第一側壁靠近兩端位置上分別設置有螺紋孔。
4.如權利要求3所述的芯片測試板,其特征在于:所述推進機構包括把手和推桿,所述推桿一端與所述把手連接,另一端穿過對應所述螺紋孔與對應所述彈性元件的另一端連接。
5.如權利要求1所述的芯片測試板,其特征在于:所述第一側壁與第三側壁平行,所述第一、三側壁內側分別設有導軌。
6.如權利要求5所述的芯片測試板,其特征在于:所述基座上還設置有二個擋板,所述擋板的兩端分別連接在第一、三側壁的導軌上,并在所述導軌上滑動。
7.如權利要求6所述的芯片測試板,其特征在于:所述擋板在對應插孔的位置上設置有相應數量的凹側壁。
8.如權利要求1所述的芯片測試板,其特征在于:所述基座與所述電路板通過可拆卸方式連接。
9.如權利要求8所述的芯片測試板,其特征在于:所述基座與所述芯片測試板通過螺紋連接方式連接。
10.一種芯片測試系統,包括信號產生單元、處理單元、顯示單元,其特征在于:所述芯片測試系統還包括如權利要求1所述的芯片測試板以及位于芯片測試板上的待測芯片,其中,
所述信號產生單元產生激勵信號給所述芯片運行;
所述處理單元用于對芯片運行狀態進行監測或者分析,并將監測的狀態或者分析的結果傳送給所述顯示單元;
所述顯示單元用于顯示芯片運行的狀態或結果。
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