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[發明專利]芯片測試板及芯片測試系統有效

專利信息
申請號: 200910055379.5 申請日: 2009-07-24
公開(公告)號: CN101963647A 公開(公告)日: 2011-02-02
發明(設計)人: 丁育林;張啟華;謝君強;孫陽陽 申請(專利權)人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
主分類號: G01R31/28 分類號: G01R31/28
代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李時云
地址: 20120*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 芯片 測試 系統
【權利要求書】:

1.一種芯片測試板,包括電路板,所述電路板上具有若干均勻排列的插孔陣列,其特征在于:在插孔陣列上設置有基座,所述基座包括至少由第一、二、三、四側壁依次連接而成的框架、推進機構以及在對應所述插孔兩側分別設置的彈性元件,所述彈性元件用以擠壓插入所述插孔的針腳,使所述插孔與針腳電性連接。

2.如權利要求1所述的芯片測試板,其特征在于:所述彈性元件呈圓弧片狀,其拱起方向朝向所述插孔,兩側的彈性元件一端分別固定在第二、四側壁內壁上,另一端分別連接對應所述推進機構。

3.如權利要求1所述的芯片測試板,其特征在于:在所述第一側壁靠近兩端位置上分別設置有螺紋孔。

4.如權利要求3所述的芯片測試板,其特征在于:所述推進機構包括把手和推桿,所述推桿一端與所述把手連接,另一端穿過對應所述螺紋孔與對應所述彈性元件的另一端連接。

5.如權利要求1所述的芯片測試板,其特征在于:所述第一側壁與第三側壁平行,所述第一、三側壁內側分別設有導軌。

6.如權利要求5所述的芯片測試板,其特征在于:所述基座上還設置有二個擋板,所述擋板的兩端分別連接在第一、三側壁的導軌上,并在所述導軌上滑動。

7.如權利要求6所述的芯片測試板,其特征在于:所述擋板在對應插孔的位置上設置有相應數量的凹側壁。

8.如權利要求1所述的芯片測試板,其特征在于:所述基座與所述電路板通過可拆卸方式連接。

9.如權利要求8所述的芯片測試板,其特征在于:所述基座與所述芯片測試板通過螺紋連接方式連接。

10.一種芯片測試系統,包括信號產生單元、處理單元、顯示單元,其特征在于:所述芯片測試系統還包括如權利要求1所述的芯片測試板以及位于芯片測試板上的待測芯片,其中,

所述信號產生單元產生激勵信號給所述芯片運行;

所述處理單元用于對芯片運行狀態進行監測或者分析,并將監測的狀態或者分析的結果傳送給所述顯示單元;

所述顯示單元用于顯示芯片運行的狀態或結果。

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