[發明專利]晶圓在線檢測方法及系統

有效

• 申請號: 200910049991.1
• 申請日: 2009-04-24
• 公開（公告）號: CN101872714A
• 公開（公告）日: 2010-10-27
• 發明（設計）人: 楊健;孫強;陳思安;呂秋玲
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種晶圓在線檢測方法，包括：

獲得單位時間內到達檢測站點的晶圓產品類型及各自的數量；

根據獲得的所述類型及數量，確定單位時間內進入檢測站點檢測的各類晶圓產品數目；

檢測站點檢測進入自身的各類晶圓產品。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲得單位時間內到達檢測站點的晶圓產品類型及各自的數量，具體包括：

從派工單獲得到達檢測站點的晶圓產品類型；

對于各類晶圓產品，分別執行下述操作，直至計算出全部種類晶圓產品到達檢測站點的數目：

確定出該類晶圓產品在檢測站點前需經過的處理站點；

加總各處理站點處理的在制該類晶圓產品需耗費的時間及在制該類晶圓產品在處理站點前等待處理的時間；

用在制晶圓產品總數除以所述加總得到的時間，得到單位時間內到達檢測站點的該類晶圓產品數目。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，還包括確定在制該類晶圓產品在處理站點前等待處理時間的步驟。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述確定在制該類晶圓產品在處理站點前等待處理時間的步驟具體包括：

確定該處理站點處理晶圓產品的排序方式；

根據確定的排序方式，確定到達該處理站點的在制該類晶圓產品需等待處理的時間。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述排序方式為：按照晶圓產品優先級高低排序，優先處理優先級高的晶圓產品。

6.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述排序方式為：按照等待時間長短排序，優先處理等待處理時間較長的晶圓產品。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，根據所述類型及數量，通過確定出各類晶圓產品的取樣率來間接確定所述進入檢測站點檢測的各類晶圓產品數目。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括在檢測站點檢測晶圓產品前，檢測檢測站點檢測能力的步驟。

9.根據權利要求1或8所述的方法，其特征在于，還包括在檢測站點檢測晶圓產品前，調整檢測站點檢測能力的步驟。

10.一種晶圓在線檢測系統，包括：

晶圓類型數量獲得單元，用于獲得單位時間內到達檢測站點的晶圓產品類型及各自的數量；

檢測數目確定單元，用于根據晶圓類型數量獲得單元獲得的所述類型及數量，確定單位時間內進入檢測站點檢測的各類晶圓產品數目。

11.根據權利要求10所述的系統，其特征在于，所述晶圓類型數量獲得單元具體包括：

用于從派工單獲得到達檢測站點的晶圓產品類型的子單元；

用于確定出該類晶圓產品在檢測站點前需經過的處理站點的子單元；

用于加總各處理站點處理在制該類晶圓產品需耗費的時間及在制該類晶圓產品在處理站點前等待處理的時間的子單元；

用于用在制晶圓產品總數除以所述加總得到的時間，得到單位時間內到達檢測站點的該類晶圓產品數目的子單元。

12.根據權利要求11所述的系統，其特征在于，還包括用于確定所述該類在制晶圓產品在處理站點前等待處理時間的子單元。

13.根據權利要求12所述的系統，其特征在于，所述用于確定在制該類晶圓產品在處理站點前等待處理時間的子單元具體包括：

用于確定該處理站點處理晶圓產品的排序方式的子單元；

用于根據確定的排序方式，確定到達該處理站點的在制該類晶圓產品需等待處理的時間的子單元。

14.根據權利要求13所述的系統，其特征在于，所述排序方式為：按照晶圓產品優先級高低排序，優先處理優先級高的晶圓產品。

15.根據權利要求13所述的系統，其特征在于，所述排序方式為：按照等待時間長短排序，優先處理等待處理時間較長的晶圓產品。

16.根據權利要求10所述的系統，其特征在于，所述檢測數目確定單元根據所述類型及數量，通過確定出各類晶圓產品的取樣率來間接確定所述進入檢測站點檢測的各類晶圓產品數目。

17.根據權利要求10所述的系統，其特征在于，還包括用于在檢測站點檢測晶圓產品前，檢測檢測站點檢測能力的單元。

18.根據權利要求10或17所述的系統，其特征在于，還包括用于在檢測站點檢測晶圓產品前，調整檢測站點檢測能力的單元。