[發(fā)明專利]多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元下載裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910045036.0 | 申請(qǐng)日: | 2009-01-08 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101477959A | 公開(公告)日: | 2009-07-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王美齡 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海交通大學(xué) |
| 主分類號(hào): | H01L21/673 | 分類號(hào): | H01L21/673;H01L21/677;B65D81/02;B65D85/90 |
| 代理公司: | 上海交達(dá)專利事務(wù)所 | 代理人: | 王錫麟;王桂忠 |
| 地址: | 200240*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 規(guī)格 芯片 供應(yīng) 單元 下載 裝置 | ||
1.一種多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元承載裝置,其特征在于包括:芯片盒回收部件、接近開關(guān)、工作臺(tái)、回收芯片盒氣缸、鋁型材支架、芯片盒放置部件、取芯片盒氣缸、電磁閥組件、傳動(dòng)部件、轉(zhuǎn)盤、芯片盒,其中:傳動(dòng)部件、取芯片盒氣缸、回收芯片盒氣缸、電磁閥組件、接近開關(guān)、鋁型材支架設(shè)在工作臺(tái)上,芯片盒回收部件與芯片盒放置部件設(shè)在鋁型材支架上,帶有芯片的芯片盒設(shè)在芯片盒放置部件內(nèi),用完芯片的芯片盒設(shè)在芯片盒回收部件內(nèi),取芯片盒氣缸與回收芯片盒氣缸均設(shè)在轉(zhuǎn)盤上,且取芯片盒氣缸與回收芯片盒氣缸成90度布置,在轉(zhuǎn)盤正面并與取芯片盒氣缸同一軸線處是芯片盒放置部件,同樣在回收芯片盒氣缸處是芯片盒回收部件,在工作臺(tái)的中心表面設(shè)置傳動(dòng)部件,而傳動(dòng)部件的齒輪軸則設(shè)在圓盤中心,電磁閥組件設(shè)在工作臺(tái)內(nèi)的空隙位置,接近開關(guān)設(shè)在工作臺(tái)的表面且對(duì)準(zhǔn)取芯片盒放置部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元承載裝置,其特征是,所述轉(zhuǎn)盤包括:氣管接頭、轉(zhuǎn)盤板、吸盤、圓盤,在圓盤表面設(shè)有四等分的槽,每個(gè)槽內(nèi)設(shè)有兩個(gè)吸盤,對(duì)應(yīng)吸盤位置設(shè)有氣管接頭,轉(zhuǎn)盤板設(shè)在圓盤底面,它為接近開關(guān)信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元承載裝置,其特征是,所述取芯片盒氣缸與回收芯片盒氣缸均設(shè)在轉(zhuǎn)盤中的圓盤四等分槽底面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元承載裝置,其特征是,所述轉(zhuǎn)動(dòng)部件包括:齒輪軸、端蓋、軸、軸承、推力軸承、小齒輪、步進(jìn)電機(jī),其中軸與步進(jìn)電機(jī)設(shè)在工作臺(tái)上,推力軸承設(shè)在軸的底部而軸承則設(shè)在軸的頂部,齒輪軸的內(nèi)側(cè)與推力軸承、軸承的外側(cè)相接觸,同時(shí)齒輪軸的齒輪部分要與小齒輪相嚙合,端蓋設(shè)在軸承頂端,小齒輪則設(shè)在步進(jìn)電機(jī)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元承載裝置,其特征是,所述芯片盒包括:盒、底板、定位板、固定螺栓,盒與定位板設(shè)在底板上,固定螺栓將盒固定,底板下表面有凸臺(tái),底板上表面有兩個(gè)凹槽,且第一凹槽尺寸與下表面凸臺(tái)相同,深度大于凸臺(tái)深度并留有5至8毫米的間隙,第二凹槽尺寸小于第一凹槽尺寸并滿足最大盒尺寸,槽深大于盒的厚度,底板外型尺寸應(yīng)與芯片盒放置部件中的本體內(nèi)腔一致,底板上設(shè)置螺孔,定位板為直角形狀,長(zhǎng)度小于最大盒的長(zhǎng)度,定位板上設(shè)有兩個(gè)孔,用于與底板固定,以底板第二槽的直角邊為基準(zhǔn),盒的直角邊靠著基準(zhǔn),定位板直角邊靠著盒另一直角邊,用固定螺栓將定位板與底板固定,以底板第一凹槽為基準(zhǔn)將底板與底板疊放,疊放后底板與底板之間的間隙為芯片盒放置部件中滑塊的工作空間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元承載裝置,其特征是,所述芯片盒放置部件包括:氣缸、支架、擋板、滑塊、芯片盒放置本體,其中滑塊設(shè)在氣缸上,氣缸設(shè)在支架上,支架設(shè)在芯片盒放置本體側(cè)面,擋板設(shè)在芯片盒放置本體的前面,滑塊底部為梯形,而芯片盒放置本體為U字型,在芯片盒放置本體兩側(cè)底部設(shè)有梯形槽并與滑塊配合。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元承載裝置,其特征是,所述芯片盒回收部件與芯片盒放置部件結(jié)構(gòu)相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元承載裝置,其特征是,所述回收芯片盒氣缸包括:帶導(dǎo)向三位氣缸、回收芯片盒氣缸板、銷、墊板,其中回收芯片盒氣缸板設(shè)在帶導(dǎo)向三位氣缸上,銷設(shè)在回收芯片盒氣缸板上,氣缸設(shè)在墊板上,墊板設(shè)在工作臺(tái)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元承載裝置,其特征是,所述取芯片盒氣缸與回收芯片盒氣缸結(jié)構(gòu)相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多規(guī)格芯片盒供應(yīng)單元承載裝置,其特征是,所述工作臺(tái)包括:臺(tái)面、門板、臺(tái)支架、側(cè)板,其中臺(tái)面、門板、側(cè)板設(shè)在臺(tái)支架上,臺(tái)支架用膨脹螺栓設(shè)在地面上。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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