[發明專利]精確位置調節裝置及具有該裝置的半導體在線檢測系統

在審

• 申請號: 200910042110.3
• 申請日: 2009-08-25
• 公開（公告）號: CN101651114A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 楊明生;劉惠森;范繼良;張永紅;王曼媛;王勇
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/00;H01L21/66
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術領域

本發明涉及一種半導體工藝過程中的精確位置調節裝置，尤其涉及一種在 薄膜半導體生產線上真空室內的精確位置調節裝置及具有該裝置的半導體在線 檢測系統。

背景技術

近年來薄膜半導體市場蓬勃發展，使薄膜半導體應用領域逐漸深入，其趨 勢朝向大面積擴展，如采用玻璃基板的薄膜太陽能電池器件以發展為1100mm× 1400mm尺寸為普遍尺寸，再有有機發光顯示器件(OLED)面板也由傳統手機 屏到大面積的電視、便攜電腦顯示屏的應用擴展，其尺寸也達到了370mm× 470mm以上，諸如此類的薄膜半導體產品都需要經過許多不同的鍍膜制程或其 集成，如化學氣象沉積(CVD)、物理氣象沉積(PVD)、磁控濺射沉積、蒸發 沉積等。在薄膜半導體等半導體的制作過程中，須經歷數十甚至上百道工序， 各種工藝的因素常常是環環相扣，也就是說，前一個工藝步驟所產生的缺陷常 常在下一個或是之后的工藝中也產生相對應的缺陷，以至于造成最后產品成品 率上的問題。如非晶硅薄膜太陽能電池的P-I-N層的沉積、有機發光顯示器件 (OLED)的有機發光層(EL)、電子注入/傳輸層(EIL/ETL)、空穴注入/傳輸 層(HIL/HTL)沉積。為了確保產品性能合格、穩定可靠，并有高的成品率，根 據各種產品的生產情況，對所有工藝步驟都要有嚴格的具體要求。因而，在生產 過程中必須建立相應的系統和精確的監控措施，使能實時地對已產生的缺陷做 出分析，找出缺陷發生的原因，并加以排除，成為品保技術的核心能力之一。 一般傳統的此類器件的檢測方法大都為離線檢測，即各種制程結束后的成品檢 測。然隨著半導體尺寸的逐漸擴展、各種制程的一體化系統集成的推廣，往往 不能及時發現鍍膜的質量或各環節制程的缺陷存在，如第一鍍膜制程環節出現 問題而不能及時發現及排除，其以后的鍍膜制程都屬無用功，這樣將會浪費大 量原材料和能源，同時不利于故障排查。薄膜半導體工藝許多需要在真空環境 下進行，例如鍍膜工藝，現有的基片承載檢測平臺設計復雜，難于制造，其采 用單獨的大型鏈輪或大型帶輪配合工作臺，加工和裝配比較復雜，不方便維修 和更換，且不易實現微小角度的調節。

因此，有必要提供一種改進的精確位置調節裝置及具有該裝置的半導體在 線檢測系統來解決上述問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種精確位置調節裝置，所述精確位置調節裝置加工 裝配簡單，維修更換方便，能精準的實現微小角度的調節。

本發明的另一目的在于提供一種半導體在線檢測系統，所述半導體在線檢 測系統具有精確位置調節裝置，能精準的實現微小角度的調節，能實時檢測分 析產品質量，有利于排除故障，節省原材料和能源。

為實現上述目的，本發明提供了一種精確位置調節裝置，包括安裝座、工 作臺、傳動機構以及驅動機構，所述驅動機構驅動所述傳動機構，所述傳動機 構帶動所述工作臺在所述安裝座上轉動，所述傳動機構包括傳動軸、傳動帶、 驅動輪、以及固定有多個傳動輪的安裝板，所述傳動軸的一端與所述工作臺固 定連接，所述傳動軸的另一端固定地穿過所述安裝板并與所述安裝座樞接，所 述驅動輪安裝在所述驅動機構上，多個所述傳動輪以所述傳動軸為中心對稱的 分布，所述驅動輪與所述傳動輪位于同一平面上，所述傳動帶繞設于所述傳動 輪與所述驅動輪上并形成一閉合回路，所述工作臺的旋轉半徑大于所述驅動輪 的旋轉半徑，所述驅動機構驅動所述傳動帶轉動，所述傳動帶同步的帶動所述 工作臺旋轉。所述精確位置調節裝置加工裝配簡單，維修更換方便，所述工作 臺與驅動輪具有同步的線速度，使所述工作臺具有相對所述驅動機構很小的角 速度，從而使工作臺能夠平穩、精確、小角度地運轉。

作為本發明的一實施例，多個所述傳動輪以所述傳動軸為中心對稱的分布 形成長方形，所述安裝板呈長方形，所述傳動輪固定在呈長方形的安裝板的邊 角處。所述驅動機構驅動驅動輪轉動，所述驅動輪通過傳動帶帶動安裝在呈長 方形的安裝板的四邊角上的傳動輪轉動，從而使所述工作臺與所述驅動輪在具 有相同線速度的同時具有比所述驅動輪較小的角速度。