[發明專利]集束傳輸設備

無效

• 申請號: 200910040593.3
• 申請日: 2009-06-26
• 公開（公告）號: CN101648382A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 楊明生;范繼良;郭遠倫;王曼媛;王勇
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: B25J19/00
• 分類號: B25J19/00
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術領域

本發明涉及一種用于提供傳輸空間的傳輸設備，尤其涉及一種用于為生產設備之間起傳遞產品或半產品的機械手的活動提供密封傳輸空間的集束傳輸設備。

背景技術

隨著經濟的不斷發展、科技的不斷進步及可利用的土地資源的日益減少，人們越來越重視資源節約及其利用效率，以減少對人類生存的環保破壞，使得人類與自然和諧發展以滿足中國新型的工業化道路要求。

其中，在半導體行業、電子行業及機械行業等的加工集群設備中，產品成品與半成品之間的傳輸也是很重要的一部分。因為它關系到提高產品的質量、效率及合格率的重要因素之一，也是降低企業生產成本重要因素之一。因此，在企業用地的成本日益增加的今天，企業越來越重視傳輸設備的空間利用效率，減少企業對土地的使用量以降低企業生產產品的成本，從而提高企業在市場中競爭力。但是，市場上的傳輸設備普遍存在以下的缺點：

目前，在傳輸系統中，傳輸設備一般都是單對單對的工作模式，即是產品在某一個工序時卻需要用一個傳輸設備去執行產品的傳輸任務。但是，在產品流水線的生產過程中，為了能滿足產品的流水線生產要求，尤其是滿足生產工序種類繁多的半導體產品的生產要求，卻需要許多傳輸設備去負責各工序間的產品傳輸以實現流水線生產作業目的。一方面使得半導體產品在流水線作業生產過程中需求大量的傳輸設備去執行半導體產品的傳輸任務，增加了制造和使用傳輸設備的成本；另一方面使得傳輸設備占用了大量的土地資源，增加了土地的使用成本，從而增加了企業產品的生產成本以及降低企業在市場上競爭力。同時，由于傳輸設備是針對某一半導體產品的流水線作業要求而設計制造的，當該半導體產品更新換代后，應用于該半導體產品上的大多數傳輸設備均不能適用新的半導體產品的傳輸要求，從而使得傳輸設備的兼容性差。

因此，急需要一種結構緊湊、兼容性好及能有效縮小占地面積的用于為生產設備之間起傳遞產品或半產品的機械手的活動提供密封傳輸空間的集束傳輸設備。

發明內容

本發明的目的在于提供一種結構緊湊、兼容性好及能有效縮小占地面積的用于為生產設備之間起傳遞產品或半產品的機械手的活動提供密封傳輸空間的集束傳輸設備。

為實現上述目的，本發明的技術方案為：提供一種集束傳輸設備，其中，所述集束傳輸設備包括底座、腔體、機械手、機械手驅動機構、控制系統、驅動軸、多個側面法蘭及與所述側面法蘭相互對應的傳感器、閘門及閘門驅動機構，所述腔體呈中空結構，所述中空結構形成機械手活動腔，所述腔體設置于所述底座之上，所述驅動軸的一端密封穿過所述腔體的底部且延伸入所述機械手活動腔內并與所述機械手連接，所述驅動軸的另一端與所述機械手驅動機構連接，所述機械手驅動機構與所述控制系統電連接，所述側面法蘭具有傳輸通道，所述側面法蘭設置于所述腔體的側壁上且所述傳輸通道與所述機械手活動腔連通，所述閘門安裝于所述側面法蘭的傳輸通道內并與所述閘門驅動機構連接，所述閘門驅動機構安裝于所述腔體上且與所述傳感器電連接，所述傳感器與所述控制系統電連接，所述傳感器控制所述閘門驅動機構對所述閘門進行開啟或關閉。

較佳地，所述集束傳輸設備還包括腔體頂蓋及頂蓋驅動機構，所述腔體的頂部開設有腔體開口，所述腔體頂蓋樞接于所述腔體上且與所述頂蓋驅動機構連接，所述頂蓋驅動機構安裝于所述腔體上，所述頂蓋驅動機構控制所述腔體頂蓋對所述腔體開口進行密封關閉或打開。通過所述腔體開口，方便于腔體內部件的裝拆及便于腔體的維護；通過腔體頂蓋及頂蓋驅動機構，使得腔體頂蓋對腔體開口進行打開或關閉極易且密封性能優異。具體地，所述集束傳輸設備還包括上密封部件，所述上密封部件包括上封頭及上部法蘭，所述上封頭的一端連接于所述腔體的腔體開口的開口處，另一端與所述上部法蘭連接，所述上部法蘭均勻分布有密封連接孔，所述腔體頂蓋具有與所述密封連接孔對應的密封銷柱。通過由上封頭及上部法蘭組成的上密封部件，使得集束傳輸設備內傳輸的產品的處于真空的環境下工作，防止污染物質對集束傳輸設備內的傳輸產品污染，提高產品的加工質量；通過腔體頂蓋的密封銷柱和上部法蘭的密封連接孔，使得腔體頂蓋與上部法蘭密封更可靠，固定更方便。具體地，所述腔體頂蓋開設有呈透明狀的觀察窗。通過所述透明狀的觀察窗，方便操作人員對集束傳輸設備實時監控及維護。