[發明專利]多級機械傳輸模塊用腔體

無效

• 申請號: 200910040586.3
• 申請日: 2009-06-26
• 公開（公告）號: CN101642909A
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發明（設計）人: 楊明生;范繼良;郭遠倫;王曼媛;王勇
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: B25J19/00
• 分類號: B25J19/00
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術領域

本發明涉及一種多級機械傳輸模塊用腔體，尤其涉及一種用于為生產設備之間起傳遞產品或半產品的機械手的活動提供密封傳輸空間的集束傳輸設備。

背景技術

在半導體行業、電子工業及機械領域的加工集群設備中，產品與半成品之間的傳輸也是很重要的一部分。因為它關系到提高產品的質量及合格率的重要因素之一，也是降低企業生產成本重要因素之一。因此，在企業用地的成本日益增加的今天，企業越來越重視傳輸設備的空間利用率，減少企業對土地的使用量，以降低企業生產產品的成本，從而提高企業在市場中競爭力。但是，市場上的傳輸設備普遍存在以下的缺點：

目前，在傳輸系統中，傳輸設備一般都是單對單對的工作模式，都是通過一個工序對應一個傳輸設備進行產品的傳輸。與傳統的傳輸系統相對應，傳統的傳輸腔體一般都是一個傳輸腔體對應兩個生產設備，即在傳品傳輸時，只能通過傳輸腔體將從一個生產設備出來的產品通過傳輸設備在傳輸腔體內傳輸給另一個生產設備。因而，在產品流水線的生產過程中，為了能滿足產品的流水線生產要求，尤其是滿足生產工序種類繁多的半導體產品的生產要求，需要許多傳輸腔體和傳輸設備去負責完成各工序的生產設備之間的產品傳輸以實現流水線生產作業目的。這一方面由于半導體行業較多的工序步驟，需要大量的傳輸腔過渡腔和傳輸設備去執行產品和半產品的傳輸，增加了制造和使用傳輸腔體和傳輸設備的成本；另一方面使得傳輸設備占用了大量的土地資源，增加了土地的使用成本，從而增加了企業產品的生產成本以及降低企業在市場上競爭力。另，由于傳輸腔體是針對某一半導體產品的流水線作業要求而涉及制定的，當該半導體產品更新換代后，應用于該半導體產品上的大多數傳輸腔體不能適用新的半導體產品的傳輸要求，從而使得傳輸設備的兼容性差。

因此，急需要一種結構緊湊、內部空間利用率高、與多臺生產設備相連的、兼容性強的傳輸腔體。

發明內容

本發明的目的在于提供一種結構緊湊、內部空間利用率高、且能與多臺生產設備相連兼容性好、能有效縮小整個生產線的占地面積的用于為生產設備之間起傳遞產品或半產品的機械手的活動提供密封傳輸空間的集束傳輸設備。

為了實現上述目的，本發明的技術方案為：一種多級機械傳輸模塊用腔體，用于為生產設備之間起傳遞產品或半產品的機械手的活動提供密封空間，所述多級機械傳輸模塊用腔體包括腔體頂蓋、腔體主體、支撐環及多個側部法蘭，所述腔體主體呈中空結構，所述中空結構形成機械手活動腔，所述腔體主體上端開設有腔體開口，所述腔體主體下端開設有機械手伸入口，所述支撐環安裝于所述機械手伸入口內，所述機械手密封穿過所述支撐環并伸入所述機械手活動腔，所述腔體頂蓋樞接于所述腔體主體上且密封所述腔體開口，所述側部法蘭呈平板狀且具有連接通道，所述連接通道貫穿所述側部法蘭，所述側部法蘭安裝于所述腔體主體的側壁上，且所述連接通道與所述機械手活動腔連通。

較佳地，所述腔體主體包括上封頭、具有所述腔體開口的頂部法蘭、下封頭、具有所述機械手伸入口的底部法蘭及腔體側部，所述上封頭套設于所述腔體側部上端的內壁上，所述頂部法蘭套設于所述上封頭的內側；所述下封頭套設于所述腔體側部下端的內壁上，所述底部法蘭套設于所述下封頭的內側；所述側部法蘭安裝于所述腔體側部的側壁上。這樣，使得所述多級機械傳輸模塊用腔體密封性能更好。

較佳地，所述側部法蘭均勻分布于所述腔體主體的側壁上。其中，與所述側部法蘭相連的生產設備也以所述腔體為中心安裝在腔體四周，使得整個生產線上的設備結構緊湊、規律。

較佳地，所述側部法蘭上還具有連接導管，所述連接導管一端與所述側部法蘭的連接通道連通，另一端與所述腔體主體的側壁連接且與所述機械手活動腔連通。所述連接導管使得側部法蘭突出的安裝于所述腔體的側壁上，這樣使得側部法蘭方便的連接在生產設備上，并使成品和半成品方便的穿過所述側部法蘭的連接通道傳輸到生產設備上。

較佳地，所述側部法蘭上還設有閘門裝置，所述閘門裝置包括閘門、閘門驅動機構及傳感器，所述傳感器安裝于所述腔體主體上并與所述閘門驅動機構電連接，所述閘門安裝于所述側部法蘭的連接通道內，所述傳感器控制所述驅動機構對所述閘門進行開啟或關閉。工作時，所述側部法蘭與所述生產設備相連且所述連接通道與所述生產設備相連通，當被傳輸的產品或半產品需要傳輸到某一生產設備時，機械手將產品或半產品傳輸到相應的連接通道，所述傳感器感應到被傳輸產品或半產品，從而控制所述閘門驅動機構對所述閘門打開，產品或半產品穿過該連接通道到達與之相連的生產設備。