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[發明專利]多晶硅鑄錠設備的漏硅檢測結構無效

專利信息
申請號: 200910032629.3 申請日: 2009-06-30
公開(公告)號: CN101586914A 公開(公告)日: 2009-11-25
發明(設計)人: 施海明;陸景剛;張錦根;鄂林 申請(專利權)人: 鎮江環太硅科技有限公司
主分類號: F27B14/20 分類號: F27B14/20;C01B33/021
代理公司: 鎮江京科專利商標代理有限公司 代理人: 夏哲華
地址: 212216江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 多晶 鑄錠 設備 檢測 結構
【權利要求書】:

1、一種多晶硅鑄錠設備的漏硅檢測結構,其特征是:它包括有坩堝(1)、位于坩堝外側的護板(2)、位于坩堝下方并與護板下端連接的石墨底板(3)、位于石墨底板下方的塞條組合(4)、位于塞條組合下方的底板組合(5)、位于底板組合下方的隔熱板(6)及位于隔熱板下方的檢測絲(7),其特征是:所述石墨底板(3)、塞條組合(4)及底板組合(5)的邊緣設置有上、下貫通的溢流孔(8)。

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