[發明專利]一種精密激光對脆性基材的劃片方法及專用設備無效
| 申請號： | 200910032012.1 | 申請日： | 2009-06-16 |
| 公開（公告）號： | CN101653868A | 公開（公告）日： | 2010-02-24 |
| 發明（設計）人： | 王橋飛;熊焰明;高敬一 | 申請（專利權）人： | 江蘇伊施德創新科技有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/40 | 分類號： | B23K26/40;B23K26/04;B23K26/38 |
| 代理公司： | 無錫盛陽專利商標事務所（普通合伙） | 代理人： | 顧吉云 |
| 地址： | 214028江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 精密 激光 脆性 基材 劃片 方法 專用設備 | ||
【權利要求書】：
1、一種精密激光對脆性基材的劃片方法，其特征在于：一對激光頭中的一個激光光源通過可偏轉的折射偏轉鏡調節后，其平行光線通過聚焦鏡頭聚焦后射于工作臺，達到其激光光束的焦點在工作臺平面上縱橫軸的位置可調節，從而達到對所述一對激光頭所射出的激光束焦點在工作臺上的對位。
2、一種精密激光對脆性基材的專用設備，其包括X軸-Y軸移動工作臺、至少一對激光頭，所述激光頭包括發光源、聚焦鏡頭，其特征在于：所述一對激光頭的一側激光頭和其對應的聚焦鏡頭之間分別裝有在繞X軸偏轉的折射偏轉鏡、繞Y軸偏轉的折射偏轉鏡，所述聚焦鏡頭對準所述工作臺的置物臺。
3、根據權利要求2所述一種精密激光對脆性基材的專用設備，其特征在于：所述繞X軸偏轉的折射偏轉鏡的中心軸與X軸平行，所述繞Y軸偏轉的折射偏轉鏡的中心軸與Y軸平行。
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