[發明專利]透明導電薄膜用濕法蝕刻液及其制造方法

無效

• 申請號: 200910026139.2
• 申請日: 2009-04-01
• 公開（公告）號: CN101519593A
• 公開（公告）日: 2009-09-02
• 發明（設計）人: 趙佳;黃巍;顧奇
• 申請（專利權）人: 蘇州瑞晶化學有限公司;蘇州蘇電微電子信息化學品研發中心有限公司
• 主分類號: C09K13/00
• 分類號: C09K13/00
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司
• 代理人: 陳忠輝

技術領域

本發明涉及一種濕法蝕刻液，尤其涉及一種用于蝕刻在液晶顯示器等中作為象素電極的透明導電膜的蝕刻液及其制造方法。

背景技術

由氧化銦錫制備的透明導電膜已經廣泛地用于電子設備領域，并隨著個人筆記本電腦、袖珍電視、信息便攜終端等的進一步升級，對液晶顯示器(LCD)甚至OLED顯示器的需求繼續上升。在平面顯示器領域中，這種透明導電膜如ITO薄膜用作顯示器的象素電極。其制作方法如下：在透明導電膜上均勻涂布上一層光致抗蝕劑，配合適當的掩膜板經曝光、顯影后，再經蝕刻刻出線條，最后將余下的光致抗蝕劑去除。

在液晶顯示器(LCD)領域發展初期，多晶ITO被廣泛應用于該領域，適用的蝕刻劑有：鹽酸/三氯化鐵水溶液、碘酸水溶液、磷酸水溶液、鹽酸/硝酸水溶液等。上述蝕刻液的不足之處：強酸性溶液腐蝕性強、危險性大，會導致鋁等金屬層的腐蝕，圖形加工精度低等。目前，隨著大尺寸、高精度和大型面板、鋁制配線等的應用，越來越多的生產者開始采用無定形ITO層，對蝕刻液有了新的要求。

因此，生產出一種理想的用于無定形ITO層的蝕刻液，將是值得研究的具有重大經濟意義的技術課題。

發明內容

本發明的目的是克服現有技術存在的不足，提供一種透明導電薄膜(ITO)用濕法蝕刻液及其制造方法。

本發明的目的通過以下技術方案來實現：

透明導電薄膜用濕法蝕刻液，其組分具有如下的重量百分比：草酸(乙二酸)0.1％～11％，表面活性劑0.001wt％～10wt％，去離子水79～99.899wt％。

進一步地，上述的透明導電薄膜用濕法蝕刻液，草酸1.5％～4wt％，表面活性劑0.01wt％～5wt％。

更進一步地，上述的透明導電薄膜用濕法蝕刻液，所述表面活性劑為烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性劑、脂肪醇聚氧乙烯醚系列表面活性劑、脂肪酸聚氧乙烯酯系列表面活性劑中的一種或幾種的混合物。

更進一步地，上述的透明導電薄膜用濕法蝕刻液，所述烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性劑是辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚；所述脂肪醇聚氧乙烯醚系列表面活性劑是十二烷基醇聚氧乙烯醚；所述脂肪酸聚氧乙烯酯系列表面活性劑是硬脂酸聚氧乙烯5酯、硬脂酸聚氧乙烯10酯。

再進一步地，透明導電薄膜用濕法蝕刻液的制造方法，特點是：先將去離子水加入分散鍋中，攪拌下加入草酸、表面活性劑，攪拌10～60分鐘，使其完全溶解均勻，過濾，出料。

本發明技術方案突出的實質性特點和顯著的進步主要體現在：

本發明運用獨特的科學配方對草酸(乙二酸)、表面活性劑進行了科學的配制，采用聚氧乙烯醚系列表面活性劑，能大大降低蝕刻液的表面張力，保證蝕刻后線條平整，同時還縮短了工藝時間，提高了工效，蝕刻后不會留有殘渣。另外，濕法蝕刻液蝕刻透明導電薄膜(ITO)時，其工藝操作很方便，易于控制，無易揮發物質，不污染環境，危險性小，可重復性佳，可廣泛用于透明導電薄膜的蝕刻。

附圖說明

下面結合附圖對本發明技術方案作進一步說明：

圖1是玻璃基板的橫截面圖，在玻璃基板上形成一層無定形的ITO膜，將光致抗蝕劑涂布在ITO膜上后曝光、顯影。

圖2是圖1中的基板被實施例1中所述的蝕刻液蝕刻后，再用光致抗蝕劑剝離液去除光致抗蝕劑后的狀態。

圖3是圖1中的基板被比較例1中所述的蝕刻液蝕刻后，再用光致抗蝕劑剝離液去除光致抗蝕劑后的狀態。

其中，a代表玻璃基板，b代表無定形ITO膜，c代表光致抗蝕劑，d代表蝕刻后的殘渣。

具體實施方式

透明導電薄膜用濕法蝕刻液，由草酸(乙二酸)、表面活性劑和去離子水組成，其含量：草酸(乙二酸)0.1wt％～11wt％，表面活性劑0.001wt％～10wt％，其余為去離子水。表面活性劑為烷基酚聚氧乙烯醚(APEO)系列表面活性劑，具體是辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚等；脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO)系列表面活性劑，具體是十二烷基醇聚氧乙烯醚等；脂肪酸聚氧乙烯酯(AE)系列表面活性劑，具體是硬脂酸聚氧乙烯5酯、硬脂酸聚氧乙烯10酯等，可以是其中的一種或幾種的混合物。

理想的配方優選：草酸(乙二酸)0.5wt％～6wt％，表面活性劑0.01wt％～5wt％，其余為去離子水。

制備透明導電薄膜用濕法蝕刻液的工藝過程是：先將去離子水加入分散鍋中，攪拌下加入草酸、表面活性劑，一般先溶解草酸再加表面活性劑，攪拌10～60分鐘，使其完全溶解均勻，過濾，出料。