[發(fā)明專利]透明導(dǎo)電薄膜用濕法蝕刻液及其制造方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910026139.2 | 申請(qǐng)日： | 2009-04-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101519593A | 公開（公告）日： | 2009-09-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙佳;黃巍;顧奇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 蘇州瑞晶化學(xué)有限公司;蘇州蘇電微電子信息化學(xué)品研發(fā)中心有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C09K13/00 | 分類號(hào)： | C09K13/00 |
| 代理公司： | 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 陳忠輝 |
| 地址： | 215128江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 透明 導(dǎo)電 薄膜 濕法 蝕刻 及其 制造 方法 | ||
1.透明導(dǎo)電薄膜用濕法蝕刻液，其特征在于其組分具有如下的重量百分比：草酸0.1％～11％，表面活性劑0.001wt％～10wt％，去離子水79～99.899wt％。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電薄膜用濕法蝕刻液，其特征在于：草酸1.5％～4wt％，表面活性劑0.01wt％～5wt％。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電薄膜用濕法蝕刻液，其特征在于：所述表面活性劑為烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性劑、脂肪醇聚氧乙烯醚系列表面活性劑、脂肪酸聚氧乙烯酯系列表面活性劑中的一種或幾種的混合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電薄膜用濕法蝕刻液，其特征在于：所述烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性劑是辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚；所述脂肪醇聚氧乙烯醚系列表面活性劑是十二烷基醇聚氧乙烯醚；所述脂肪酸聚氧乙烯酯系列表面活性劑是硬脂酸聚氧乙烯5酯、硬脂酸聚氧乙烯10酯。
5.權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電薄膜用濕法蝕刻液的制造方法，其特征在于：先將去離子水加入分散鍋中，攪拌下加入草酸、表面活性劑，攪拌10～60分鐘，使其完全溶解均勻，過(guò)濾，出料。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于蘇州瑞晶化學(xué)有限公司;蘇州蘇電微電子信息化學(xué)品研發(fā)中心有限公司，未經(jīng)蘇州瑞晶化學(xué)有限公司;蘇州蘇電微電子信息化學(xué)品研發(fā)中心有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
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