[發明專利]一種用于印刷型場發射顯示器的下基板及其制作方法

無效

• 申請號: 200910022663.2
• 申請日: 2009-05-22
• 公開（公告）號: CN101620969A
• 公開（公告）日: 2010-01-06
• 發明（設計）人: 李軍
• 申請（專利權）人: 彩虹集團公司
• 主分類號: H01J29/00
• 分類號: H01J29/00;H01J9/00
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司
• 代理人: 陸萬壽

1.一種用于印刷型場發射顯示器的下基板，包括玻璃基板(1)、印制在玻璃基板(1)上的柵極(2)、柵極(2)上的絕緣介質層(3)和下基板最上部的陰極(5)，其特征在于：所述下基板包括設置在絕緣介質層(3)和陰極(5)之間的SiO₂絕緣層(4)。

2.一種用于印刷型場發射顯示器的下基板制作方法，其特征在于，按照以下步驟：

(1)、制作柵極：用去污粉和去離子水分別超聲清洗玻璃基板(1)并用氣槍吹干，然后用精密絲網印刷機在玻璃基板(1)上印刷柵極(2)，玻璃基板(1)上的印刷柵極(2)在100℃干燥20min后燒結，燒結制度為370℃保溫20min，570℃保溫20min，升溫速率5℃/min，得到柵極(2)；

(2)、制作絕緣介質層：在柵極(2)上印刷絕緣介質層(3)，印刷好的絕緣介質層(3)在100℃干燥20min后燒結，燒結制度為370℃保溫20min，580℃保溫20min，升溫速率5℃/min，得到絕緣介質層(3)；

(3)、制作SiO₂絕緣層：利用磁控濺射法，用鎳合金片制作掩膜，在絕緣介質層(3)上濺射SiO₂膜，獲得帶SiO₂絕緣層(4)，SiO₂絕緣層(4)厚度為200nm；所述磁控濺射法采用SiO₂陶瓷靶作靶材，襯底溫度為400℃，工作氣體為Ar，背底真空度為4×10^-3Pa，工作氣壓為0.8Pa，濺射功率為350W，濺射時間為10min；

(4)、制作陰極：在SiO₂絕緣層(4)上印刷陰極(5)銀漿料，印刷好的陰極(5)銀漿料在100℃干燥20min后燒結，燒結制度為370℃保溫20min，570℃保溫20min，升溫速率5℃/min，得到陰極(5)；

(5)、制作陰極發射體：碳納米管、有機載體和金屬填料混合均勻配制成漿料，漿料中碳納米管的質量分數為8％-20％，金屬填料的質量分數為4％-10％，余量為有機載體；將漿料印刷在陰極(5)上并在120℃干燥20min后燒結，燒結制度為340℃保溫20min，450℃保溫20min，升溫速率5℃/min，得到陰極發射體(6)，完成下基板的制作。

3.根據權利要求2所述的一種用于印刷型場發射顯示器的下基板制作方法，其特征在于：所述有機載體由松油醇和乙基纖維素按照質量比9∶1的比例構成。

4.根據權利要求2所述的一種用于印刷型場發射顯示器的下基板制作方法，其特征在于：所述金屬填料為銀納米顆粒。