[發(fā)明專利]基于粘附的雙穩(wěn)態(tài)加速度感應(yīng)微開關(guān)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910021398.6
• 申請日: 2009-03-05
• 公開（公告）號: CN101504896A
• 公開（公告）日: 2009-08-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田文超;楊銀堂
• 申請（專利權(quán)）人: 西安電子科技大學(xué)
• 主分類號: H01H35/14
• 分類號: H01H35/14;H01H59/00;B81B7/02
• 代理公司: 陜西電子工業(yè)專利中心
• 代理人: 王品華;黎漢華

1.一種基于粘附的雙穩(wěn)態(tài)加速度感應(yīng)微開關(guān)，包括感應(yīng)質(zhì)量塊(34)、支撐梁(35)和框架(32)，支撐梁的兩端固定在框架上，其特征在于框架(32)的上、下面分別固定有上頂蓋(31)和下底蓋(33)，感應(yīng)質(zhì)量塊(34)與上頂蓋(31)之間的距離h為0.1μm≤h≤1μm，感應(yīng)質(zhì)量塊(34)的下部沉積有金膜形成動極板(36)，下底蓋(33)內(nèi)側(cè)沉積有金膜形成定極板(38)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙穩(wěn)態(tài)加速度感應(yīng)微開關(guān)，其特征在于動極板(36)上設(shè)有兩個(gè)觸點(diǎn)(37)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙穩(wěn)態(tài)加速度感應(yīng)微開關(guān)，其特征在于觸點(diǎn)(37)采用半球形狀結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙穩(wěn)態(tài)加速度感應(yīng)微開關(guān)，其特征在于支撐梁(35)采用兩端固結(jié)直梁結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙穩(wěn)態(tài)加速度感應(yīng)微開關(guān)，其特征在于“開”狀態(tài)時(shí)，感應(yīng)質(zhì)量塊(34)與上頂蓋(31)緊貼。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙穩(wěn)態(tài)加速度感應(yīng)微開關(guān)，其特征在于“關(guān)”狀態(tài)時(shí)，感應(yīng)質(zhì)量塊(34)與下底蓋(33)緊貼。