[發明專利]氣體輸運沉積裝置無效
| 申請號： | 200910019686.8 | 申請日： | 2009-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN101504959A | 公開（公告）日： | 2009-08-12 |
| 發明（設計）人： | 王步峰;李青海;王景義 | 申請（專利權）人： | 山東潤峰集團有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 濟南圣達專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 張 勇 |
| 地址： | 277600山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 輸運 沉積 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種氣體輸運沉積裝置，其特征是，它包括一個封閉的石墨管式加熱器，石墨管式加熱器兩端分別與氣體運輸左通道和氣體運輸右通道連通。
2.一種氣體輸運沉積裝置，其特征是，它包括一個封閉的石墨管式加熱器，石墨管式加熱器兩端中僅有一個與氣體運輸通道連通，另一端封閉。
3.如權利要求1所述的氣體輸運沉積裝置，其特征是，所述石墨管式加熱器內設有氣體導流裝置。
4.如權利要求3所述的氣體輸運沉積裝置，其特征是，所述氣體導流裝置為設置在石墨管式加熱器內壁的交錯布置的一組氣體導流板。
5.如權利要求3所述的氣體輸運沉積裝置，其特征是，所述氣體導流裝置為一組同心異徑的弧狀半閉環式氣體導流板。
6.如權利要求2所述的氣體輸運沉積裝置，其特征是，所述氣體運輸通道伸入石墨管式加熱器內部，同時在該部分氣體運輸通道設有儲料槽。
7.如權利要求1或2或6所述的氣體輸運沉積裝置，其特征是，所述氣體運輸通道為石英管。
8.如權利要求1或2或3或4或5或6所述的氣體輸運沉積裝置，其特征是，所述石墨管式加熱器為直徑小而管體狹長的線性加熱器。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
