[發明專利]一種柔性帶材真空濺射預抽空處理設備

有效

• 申請號: 200910018970.3
• 申請日: 2009-09-22
• 公開（公告）號: CN101660135A
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發明（設計）人: 畢研文;宋小斌;王乃用;劉俊林;江衍勤;羅衍濤;張強;孟國強;李常興;蘇衍憲
• 申請（專利權）人: 菏澤天宇科技開發有限責任公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/34
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所
• 代理人: 張貴賓

(一)技術領域

本發明涉及一種能夠成功地將柔性帶材內部的空氣和揮發性氣體抽出來的設備，具體涉及一種柔性帶材真空濺射預抽真空處理設備。

(二)背景技術

一般的真空濺射設備由于沒有經過預抽真空設備(或裝置)進行預抽真空處理，對于柔性帶材內的空氣和揮發性氣體都不能提前抽出來。在真空濺射主體設備進行一次性抽真空，時間長、能耗高，且濺射到基體上的靶材微粒附著力小，成品浸潤性差，易造成后道工序出現質量問題。

(三)發明內容

本發明為了彌補現有技術的不足，提供了一種柔性帶材真空濺射預抽空處理設備，克服原有在真空濺射主體設備進行一次性抽真空的不足之處，將柔性帶材內部的空氣和揮發性氣體抽出來，提高真空濺射的抽真空速度，降低設備能耗，提高靶材微粒附著力，改善成品浸潤性，實現提高真空濺射產品質量之目的。

本發明是通過如下技術方案實現的：

本發明的柔性帶材真空濺射預抽空處理設備，其特殊之處在于：包括真空泵和通過抽氣管與真空泵連接的若干組可以單獨開閉抽真空的預抽真空罐，預抽真空罐通過分抽空閥連接抽氣管、通過充氣閥設有進氣管，每個預抽真空罐內都裝有用于安裝柔性帶材卷的芯軸，每個預抽真空罐上還安裝有真空計；真空泵安裝有主抽空閥。

本發明的柔性帶材真空濺射預抽空處理設備，每個預抽真空罐內的芯軸上都帶有分散孔。

本發明的柔性帶材真空濺射預抽空處理設備，真空泵與預抽真空罐之間連接有緩沖罐。

本發明的柔性帶材真空濺射預抽空處理設備，進氣管的進氣端設有空氣濾清器。

本發明的柔性帶材真空濺射預抽空處理設備，緩沖罐與預抽真空罐之間安裝有真空傳感器。利用真空計實現自動控制真空度。

本發明的有益效果是，可以成功地將柔性帶材內部的空氣和揮發性氣體抽出來，這樣不僅可以提高真空濺射的抽空速度，降低設備能耗，提高靶材微粒附著力，改善成品浸潤性，而且可以提高真空濺射的產品質量。

(四)附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。圖2為電路示意圖。

圖中，1真空泵，2預抽真空罐，3充氣閥，4分抽空閥，5真空計，6主抽空閥，7緩沖罐，8空氣濾清器，9真空傳感器，10抽氣管，11進氣管。

(五)具體實施方式

附圖為本發明的一種具體實施例。

本發明的柔性帶材真空濺射預抽空處理設備，包括真空泵1和通過抽氣管10與真空泵連接的若干組可以單獨開閉抽真空的預抽真空罐2，預抽真空罐通過分抽空閥4連接抽氣管、通過充氣閥3設有進氣管11，每個預抽真空罐內都裝有用于安裝柔性帶材卷的芯軸，每個預抽真空罐上還安裝有真空計5；真空泵安裝有主抽空閥6。每個預抽真空罐內的芯軸上都帶有分散孔。真空泵與預抽真空罐之間連接有緩沖罐。進氣管的進氣端設有空氣濾清器8。緩沖罐7與預抽真空罐2之間安裝有真空傳感器9。利用真空計實現自動控制真空度。

本發明的柔性帶材真空濺射預抽空處理設備，通過雙位開關控制充氣閥3、分抽空閥4。利用每個預抽真空罐2內裝有帶分散孔的芯軸提高抽真空速度和均勻性。各個預抽真空罐2可以單獨開閉取放卷及預抽真空。該設備利用真空計5實現自動控制真空度，真空范圍1×10^-1～500Pa連續可調。緩沖罐7有效避免某一預抽真空罐開閉時設備真空度波動過大。

預抽真空工作原理：滑閥真空泵工作，將預抽真空罐內的空氣揮發性氣體經芯軸分散孔、分抽空閥4、抽氣管10、緩沖罐7、主抽空閥6到滑閥真空泵1，然后排到大氣中。

該實施例的預抽工藝(以生產泡沫鎳的基體——泡綿為例)如下所示：打開預抽罐→放置柔性帶材卷→關閉預抽罐→設置真空度→抽空→充氣→開罐取卷。

1.打開預抽空罐

觀察罐體真空表是否處于真空狀態，若罐內是真空狀態，將雙位開關從抽空位置撥到充氣位置，這時抽空閥關閉，充氣閥打開，空氣進入罐內，真空解除即可開門。

2.放置柔性帶材卷

將預抽真空關擦拭干凈，然后把柔性帶材卷(例如：泡綿)裝在罐內心軸上。

3.關閉預抽空罐

關閉預抽空罐，緊固手輪，確保密封良好。

4.設置真空度

將最低真空度設置為500Pa，最高真空度設置為1×10^-1Pa，啟動滑閥真空泵。

5.抽空

將雙位開關從充氣位置撥到抽空位置，充氣閥關閉，這時抽空閥打開，預抽罐進入抽空狀態。柔性帶材卷的材質和長短不同，真空度和保持時間也不相同。以泡綿為例，其保持時間應為12～24小時。

6.充氣