[發(fā)明專利]一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910018970.3
• 申請(qǐng)日: 2009-09-22
• 公開（公告）號(hào): CN101660135A
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 畢研文;宋小斌;王乃用;劉俊林;江衍勤;羅衍濤;張強(qiáng);孟國(guó)強(qiáng);李常興;蘇衍憲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 菏澤天宇科技開發(fā)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/34
• 代理公司: 濟(jì)南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 張貴賓

1.一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于：包括真空泵(1)和通過抽氣管(10)與真空泵連接的若干組可以單獨(dú)開閉抽真空的預(yù)抽真空罐(2)，預(yù)抽真空罐通過分抽空閥(4)連接抽氣管、通過充氣閥(3)設(shè)有進(jìn)氣管(11)，每個(gè)預(yù)抽真空罐內(nèi)都裝有用于安裝柔性帶材卷的芯軸，每個(gè)預(yù)抽真空罐上還安裝有真空計(jì)(5)；真空泵安裝有主抽空閥(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于：每個(gè)預(yù)抽真空罐(2)內(nèi)的芯軸上都帶有分散孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于：真空泵(1)與預(yù)抽真空罐(2)之間連接有緩沖罐(7)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于：進(jìn)氣管的進(jìn)氣端設(shè)有空氣濾清器(8)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于：緩沖罐(7)與預(yù)抽真空罐(2)之間安裝有真空傳感器(9)。