[發明專利]全自動大型平板PECVD氮化硅覆膜制備系統

無效

• 申請號: 200910011028.4
• 申請日: 2009-04-03
• 公開（公告）號: CN101851748A
• 公開（公告）日: 2010-10-06
• 發明（設計）人: 趙科新;趙崇凌;李士軍;洪克超;段鑫陽;張振厚;張冬;張健;徐寶利;鐘福強;奚建平;高振國;崔秀偉
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: C23C16/34
• 分類號: C23C16/34;C23C16/54;C23C16/44;H01L21/205;H01L31/18
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富;周秀梅

1.一種全自動大型平板PECVD氮化硅覆膜制備系統，其特征在于：包括自動傳輸裝載臺(1)、預熱室(2)、PECVD室(3)、冷卻室(4)及自動傳輸卸載臺(5)，其中預熱室(2)、PECVD室(3)及冷卻室(4)依次安裝在臺架上，自動傳輸裝載臺(1)與預熱室(2)相連，自動傳輸卸載臺(5)與冷卻室(4)相連；預熱室(2)、PECVD室(3)及冷卻室(4)分別通過氣體管路(7)連接有真空抽氣系統(6)。

2.按權利要求1所述的全自動大型平板PECVD氮化硅覆膜制備系統，其特征在于：所述預熱室(2)可為多個，串聯連接于自動傳輸裝載臺(1)與PECVD室(3)之間。

3.按權利要求1所述的全自動大型平板PECVD氮化硅覆膜制備系統，其特征在于：所述冷卻室(4)可為多個，串聯連接PECVD室(3)與自動傳輸卸載臺(5)之間。

4.按權利要求1所述的全自動大型平板PECVD氮化硅覆膜制備系統，其特征在于：所述PECVD室(3)可為多個，串聯連接于預熱室(2)與冷卻室(4)之間。

5.按權利要求1所述的全自動大型平板PECVD氮化硅覆膜制備系統，其特征在于：所述預熱室(2)、PECVD室(3)及冷卻室(4)分別通過螺栓安裝在各自的臺架上，各臺架之間通過螺栓連接，自動傳輸裝載臺(1)與承載預熱室(2)的臺架通過螺栓相連接，自動傳輸卸載臺(5)與承載冷卻室(4)的臺架通過螺栓相連接。

6.按權利要求1所述的全自動大型平板PECVD氮化硅覆膜制備系統，其特征在于：在自動傳輸裝載臺(1)及自動傳輸卸載臺(5)上加設有機械手。