[發明專利]高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器

無效

• 申請號: 200910008648.2
• 申請日: 2009-02-10
• 公開（公告）號: CN101797395A
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發明（設計）人: 王守國;趙玲利;楊景華;張超前
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: A61L2/14
• 分類號: A61L2/14;A61L2/24;H05H1/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術領域】

本發明涉及一種新型的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，尤其是在真空室中的滅菌臺架與殼體共地，在滅菌臺架與殼體之間設有射頻電極，而在射頻電極與殼體之間是填充有絕緣介質材料的等離子體滅菌器。

【背景技術】

在醫療領域隨著各種高新醫療儀器和器材的日益廣泛應用，如何對這些器械進行低溫滅菌和高效消毒成為醫療領域的新難題。傳統高溫濕滅菌已不能適應快速、高效、無腐蝕、無變性的新要求。液態滅菌劑，如戊二醛類，由于其刺激性、毒性及腐蝕性，已無法實現對精密醫療器械，如口腔類器材的滅菌，只能用于一般的消毒。而常用的環氧乙烷滅菌耗時長，對器要求高，具毒性大。用簡單的氣體過氧化氫及液態過氧乙酸滅菌，其操作復雜，待滅菌材料，如葡聚酸，塑料和橡膠等常用的醫療器械材料的化學變性，以及對醫療人員的刺激，損傷，也是其無法避免的缺陷。

射頻真空低溫等離子體技術已廣泛的應用于：(1)薄膜材料的制備。(2)材料表面的改性。(3)表面濺射和表面刻蝕等。(4)材料表面的清洗以及材料表面的消毒和滅菌。

但是，通常的真空等離子體滅菌柜是把載物臺作為懸浮電極，等離子體是產生在射頻電極與真空室壁之間，實際擴散到載物臺一側的等離子體較少，因此等離子體的利用率較低。

【發明內容】

為了提高真空室內等離子體的實際利用率，本發明提供一種新型的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，包括一個殼體、真空室、射頻電源、進氣和抽氣系統，自動控制系統，其特征在于：在該滅菌器中包含一個真空室以及與其連接的射頻電源、進氣和抽氣系統，在該真空室的中間位置設有滅菌框架，被滅菌的物品是放置在該框架內，該框架與真空室殼體連接并接地，在該滅菌框架與殼體之間設有射頻電極，在該射頻電極與殼體之間是填充有絕緣介質材料，該射頻電極與射頻電源的輸出端連接，等離子體放電是產生在射頻電極和滅菌框架之間并擴散到滅菌框架內對物品進行消毒滅菌的裝置。

所述的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，其特征在于：在殼體中的真空室設有真空密閉門、抽氣口、進氣口、放氣閥口以及電極接口，真空室的形狀為圓筒形或為方形，在該真空室的中間位置放置滅菌框架，被滅菌的物品是放置在該框架內，該框架是由帶空的金屬薄板材料制成，該框架與殼體相連接并接地，在該滅菌框架與殼體之間設有射頻電極，在該射頻電極與殼體之間是填充有絕緣介質材料，該射頻電極與射頻電源的輸出端連接，等離子體放電是產生在射頻電極和滅菌框架之間并擴散到滅菌框架內。

本發明是一種新型的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，其優點是：1，在射頻電極與殼體之間填充有絕緣介質材料，避免了等離子體在兩者之間產生；2，等離子體放電是產生在射頻電極和滅菌框架之間，滅菌框架是采用網孔結構使等離子體更容易擴散到滅菌框架內。

【附圖說明】

圖(1)為本發明真空滅菌腔體結構剖視視示意圖；

圖(2)為本發明的殼體側視結構剖視圖；

圖(3)為本發明的正面結構示意圖。

首先，請參閱圖(1)、圖(2)和圖(3)，該高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，包括一個殼體100、真空室104、射頻電源106、進氣114系統，抽氣111系統，自動控制107系統，其特征在于：在真空室腔體104的中間位置設有滅菌框架105，該滅菌框架105是用網狀金屬材料制成，被滅菌的物品是放置在該框架105內，該框架105與殼體104連接并共地，在該滅菌框架105與真空腔體104之間設有射頻電極103，在該射頻電極103與真空腔體104之間是填充有絕緣介質材料102，該射頻電極103與射頻電源106的輸出端連接，真空殼體104與地連接，等離子體放電是產生在射頻電極103和滅菌框架105之間并擴散到滅菌框架105內對物品進行消毒滅菌。

如圖(2)和圖(3)所示，真空室腔體104是安裝在殼體100的上部位置，真空室腔體104的底面安裝有真空抽氣接口120，射頻電極連接口119，進氣口115和出氣口116。在真空室腔體104正面設有帶玻璃觀察窗121的開啟門118，門把手為122；在真空室腔體104的一側安裝觸摸屏107以及PLC控制系統，由PLC控制的打印機109。在殼體100中部安裝一個射頻電源106和一個射頻電源的匹配器113，以及超聲霧化罐114，其罐內的液面高度可以由一個透明玻璃管108顯示；在殼體100下部安裝一個機械泵111，機械泵電磁閥112。