[發(fā)明專(zhuān)利]高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910008648.2
• 申請(qǐng)日: 2009-02-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101797395A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王守國(guó);趙玲利;楊景華;張超前
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類(lèi)號(hào): A61L2/14
• 分類(lèi)號(hào): A61L2/14;A61L2/24;H05H1/46
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種新型的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，包括一個(gè)殼體、真空室、射頻電源、進(jìn)氣和抽氣系統(tǒng)，自動(dòng)控制系統(tǒng)，其特征在于：在該滅菌器中包含一個(gè)真空室以及與其連接的射頻電源、進(jìn)氣和抽氣系統(tǒng)，在該真空室的中間位置設(shè)有滅菌框架，被滅菌的物品是放置在該框架內(nèi)，該框架與真空室殼體連接并接地，在該滅菌框架與殼體之間設(shè)有射頻電極，在該射頻電極與殼體之間是填充有絕緣介質(zhì)材料，該射頻電極與射頻電源的輸出端連接，等離子體放電是產(chǎn)生在射頻電極和滅菌框架之間并擴(kuò)散到滅菌框架內(nèi)對(duì)物品進(jìn)行消毒滅菌的裝置。

2.如權(quán)利要求1所述的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，包括一個(gè)殼體、真空室、射頻電源、進(jìn)氣和抽氣系統(tǒng)，自動(dòng)控制系統(tǒng)，其特征在于：在殼體中的真空室，設(shè)有真空密閉門(mén)、抽氣口、進(jìn)氣口、放氣閥口以及電極接口，真空室的形狀為圓筒形或?yàn)榉叫危谠撜婵帐业闹虚g位置放置滅菌框架，被滅菌的物品是放置在該框架內(nèi)。

3.如權(quán)利要求1和2所述的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，包括一個(gè)殼體、真空室、射頻電源、進(jìn)氣和抽氣系統(tǒng)，自動(dòng)控制系統(tǒng)，其特征在于：該真空室中間位置的滅菌框架是由帶多空的金屬薄板材料制成，該框架與真空室殼體相連接并接地，在該滅菌框架與殼體之間設(shè)有射頻電極，在該射頻電極與殼體之間是填充有絕緣介質(zhì)材料，該射頻電極與射頻電源的輸出端連接，等離子體放電是產(chǎn)生在射頻電極和滅菌框架之間并擴(kuò)散到滅菌框架內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，包括一個(gè)殼體、真空室、射頻電源、進(jìn)氣和抽氣系統(tǒng)，自動(dòng)控制系統(tǒng)，其特征在于：在同一個(gè)殼體內(nèi)還包括一個(gè)真空室腔體、射頻電源、進(jìn)氣和抽氣系統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)。

5.如權(quán)利要求1和4所述的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，包括一個(gè)殼體、真空室、射頻電源、進(jìn)氣和抽氣系統(tǒng)，自動(dòng)控制系統(tǒng)，其特征在于：該殼體內(nèi)的射頻電源選用頻率為13.56MHz或27.12MHz的電源，射頻電源的匹配器采用自動(dòng)匹配。

6.如權(quán)利要求1和4所述的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，包括一個(gè)殼體、真空室、射頻電源、進(jìn)氣和抽氣系統(tǒng)，其特征在于：該殼體內(nèi)的進(jìn)氣系統(tǒng)是包括一個(gè)液體超聲霧化裝置、一個(gè)控制氣體導(dǎo)管的電磁閥，氣體導(dǎo)管與真空腔體進(jìn)氣口貫通；該殼體內(nèi)的抽氣系統(tǒng)包括機(jī)械真空泵和與真空腔體連接的抽氣管道。

7.如權(quán)利要求1和4所述的高效射頻電容耦合真空等離子體滅菌器，包括一個(gè)殼體、真空室、射頻電源、進(jìn)氣和抽氣系統(tǒng)，其特征在于：該殼體內(nèi)及殼體面板上設(shè)有PLC控制系統(tǒng)來(lái)控制進(jìn)氣電磁閥開(kāi)關(guān)、放氣電磁閥開(kāi)關(guān)、機(jī)械泵抽氣開(kāi)關(guān)、打印機(jī)開(kāi)關(guān)以及電源開(kāi)關(guān)。