[發明專利]一種晶圓運輸車

有效

• 申請號: 200910007732.2
• 申請日: 2009-02-17
• 公開（公告）號: CN101480964A
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 李雨庭
• 申請（專利權）人: 上海杰浪國際貿易有限公司
• 主分類號: B62B3/02
• 分類號: B62B3/02;B66F9/06
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 鄭 瑋

技術領域

本發明涉及晶圓運輸裝置，特別涉及一種具有活動擱板的晶圓運輸車。

背景技術

隨著晶圓尺寸從8寸增加到12寸，用于放置晶圓的前開式晶盒(FOUP) 及其零配件的尺寸也越來越大，使得晶盒的重量不斷增加，一個載滿晶圓的 FOUP的重量約為9.8Kg。如果這些物料都是自動作業的話，那么這種尺寸及重 量的增加可能不會引起任何重大的人體生物工程風險。但是，全自動化作業是 不能完全實現的，因此不可避免地還是存在人工搬運的情況，例如芯片測量、 將晶盒搬運到人工貨架等環節。隨著越來越多的芯片制造商往亞洲轉移，而多 數作業人員為女性，FOUP的尺寸及重量問題變得更為明顯。

從人體生物工程學的角度而言，搬運重物時最理想的搬運高度應當在人的 腰部上下。而隨著現行潔凈室的運行成本及工作效率的提高，將運送FOUP的 推車的擱架高度設在作業人員腰部這樣一個單一高度是不實際的，這樣會大大 影響運輸效率。通常，采用具有多層固定式擱架的手推車來進行搬運，每層放 置兩個前開式晶盒，那么必然至少會有一層擱架的高度是不符合人體生物工程 學要求的。作業人員需要重復由低到高或由高到低放置前開式晶盒的動作，如 果不能遵從正確的舉放技巧的話，會導致作業人員背部及腰部的持續性慢性疼 痛，從而嚴重影響員工的身心健康。

因此，如何提供一種符合人體生物工程學原理的晶圓運輸車已成為業界亟 待解決的技術問題。

發明內容

本發明所解決的技術問題在于提供一種新的晶圓運輸車，該運輸車的多層 擱架均能調到符合人體工程學原理的高度，從而避免作業人員因晶盒放置位置 過高或過低而導致搬運時出現的人體損傷。

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種晶圓運輸車，包括底座、車身、 兩層擱板和升降驅動裝置，所述擱板用于承載存放晶圓的晶盒，所述下擱板在 升降驅動裝置的驅動下可向上升起，具體地，所述上擱板由兩塊擋板鉸接至一 軸桿而組成，所述軸桿固定在車身的支架上，兩塊擋板可繞軸桿轉動，并具有 一展開狀態和一收攏狀態；所述的升降驅動裝置包括兩組滑輪，該兩組滑輪固 定在車身上，且每組滑輪上均跨設有拉繩，所述拉繩的一端固定在下擱板上， 通過拉動拉繩的另一端可升起下擱板。

進一步地，所述下擱板的底部還設有活動金屬柱，所述拉繩的一端連接至 活動金屬柱，通過拉動拉繩的另一端升起活動金屬柱而托起下擱板。

進一步地，所述擋板底部開有兩道滑槽，滑槽內設有滑動件，且每個滑動 件與相應的活動金屬柱之間通過一滑輪繩相連，所述擋板的底部與車身支架之 間還通過阻尼彈簧連接。

本發明的另一方案是提供一種晶圓運輸車，包括底座、車身、兩層擱板和 升降驅動裝置，所述擱板用于承載存放晶圓的晶盒，所述下擱板在升降驅動裝 置的驅動下可向上升起，具體地，所述晶圓運輸車設有一側車身，其上設有導 軌，所述上擱板的一端通過一擱板支柱與下擱板固定連接，所述上、下擱板的 另一端通過滑輪或滑塊可沿車身上的導軌滑動；所述的升降驅動裝置包括動力 剪及其驅動固定部件，該動力剪的一端通過驅動固定部件安裝在運輸車底座上， 另一端與下擱板相連，通過改變動力剪的張開角度可實現下擱板的上升與下降。

進一步地，所述的驅動固定部件包括螺桿、傳動滑塊、連接器和直流馬達， 所述螺桿通過螺桿固定座固定至運輸車底座，所述動力剪的一端連接至傳動滑 塊，所述傳動滑塊通過連接器連接至直流馬達，所述傳動滑塊在直流馬達的驅 動下沿螺桿滑動，以改變動力剪的張開角度。

進一步地，所述的上、下擱板上還分別設有擱籬，用于將晶盒圍在晶盒放 置區域內，避免晶盒從擱板上摔落。