[發明專利]一種晶圓運輸車

有效

• 申請號: 200910007732.2
• 申請日: 2009-02-17
• 公開（公告）號: CN101480964A
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 李雨庭
• 申請（專利權）人: 上海杰浪國際貿易有限公司
• 主分類號: B62B3/02
• 分類號: B62B3/02;B66F9/06
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 鄭 瑋

1.一種晶圓運輸車，包括底座、車身、兩層擱板和升降驅動裝置，所述擱 板用于承載存放晶圓的晶盒，其特征在于：所述下擱板在升降驅動裝置的驅動 下能夠向上升起；其中，所述晶圓運輸車設有一側車身，其上設有導軌，所述 上擱板由一框架、設置于框架上的前、后滑板及中央固定架構成，前、后滑板 與中央固定架之間為中空，且前、后滑板能夠沿框架導軌同時朝向或者遠離中 央固定架滑動；所述運輸車的前端還設有一擱板支架，上擱板固定在擱板支架 上，下擱板的一端能夠沿擱板支架滑動；所述的升降驅動裝置包括動力剪及其 驅動固定部件，以及滑板驅動部件，該動力剪的一端通過驅動固定部件安裝在 運輸車底座上，另一端與下擱板相連，通過改變動力剪的張開角度實現下擱板 的升降，當下擱板上升時，由滑板驅動部件驅動前、后滑板向遠離中央固定架 的方向移動，當下擱板下降時，由滑板驅動部件驅動前、后滑板向靠近中央固 定架的方向移動。

2.如權利要求1所述的晶圓運輸車，其特征在于：所述的驅動固定部件包 括螺桿、傳動滑塊、連接器和直流馬達，所述螺桿通過螺桿固定座固定至運輸 車底座，所述動力剪的一端連接至傳動滑塊，所述傳動滑塊通過連接器連接至 直流馬達，所述傳動滑塊在直流馬達的驅動下沿螺桿滑動，以改變動力剪的張 開角度。

3.如權利要求1所述的晶圓運輸車，其特征在于：所述的滑板驅動部件包 括拉繩滑輪、滑板拉繩及拉力彈簧，該拉繩滑輪設置在中央固定架下方，滑輪 上跨設有滑板拉繩，拉繩的一端固定在下擱板上，另一端分出兩股，分別連接 在前、后滑板上，所述拉力彈簧分別設置在前滑板與擱板支架之間，以及后滑 板與車身之間。

4.如權利要求1所述的晶圓運輸車，其特征在于：中央固定架到擱板支架 的距離等于中央固定架到車身的距離，且該距離大于一個晶盒底盤的寬度。

5.如權利要求1所述的晶圓運輸車，其特征在于：初始狀態下，上、下擱 板之間留有大于一個晶盒高度的距離，上擱板的前、后滑板到中央固定架的距 離都等于晶盒底盤的寬度，從而前滑板與中央固定架一起支撐一個晶盒，中央 固定架與后滑板一起支撐一個晶盒。

6.如權利要求1所述的晶圓運輸車，其特征在于：所述的動力剪及其驅動 固定部件采用馬達驅動裝置來替換，該馬達驅動裝置包括直流馬達、支桿、鋼 絲繩、支桿滑輪、支架滑輪、馬達轉輪和支架，其中，直流馬達和支架固定在 運輸車底座上，直流馬達用于驅動馬達轉輪按順時針或者逆時針方向轉動，支 桿的兩端分別固定至下擱板和支桿滑輪，支架滑輪固定在支架上；當直流馬達 帶動馬達轉輪作順時針轉動時，鋼絲繩被拉緊，支桿滑輪在拉力的作用下逐漸 上升，并將與其相連的支桿頂起，進而帶動下擱板往上運動；當直流馬達帶動 馬達轉輪作逆時針轉動時，鋼絲繩被放松，支桿及下擱板在重力的作用下逐漸 下降。