[發(fā)明專利]部件安裝設(shè)備、振動控制設(shè)備以及振動控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910006779.7
• 申請日: 2009-02-27
• 公開（公告）號: CN101522016A
• 公開（公告）日: 2009-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 木村明
• 申請（專利權(quán)）人: 索尼株式會社
• 主分類號: H05K13/04
• 分類號: H05K13/04;G05D3/12
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 彭久云

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于將部件安裝在基板及類似物上的部件安裝設(shè)備，以及振動控制設(shè)備及其振動控制方法。?

背景技術(shù)

過去，用于將電子部件安裝在基板上的安裝設(shè)備包括用于保持電子部件的水平移動頭。該移動頭連接有例如在真空下吸附電子部件的噴嘴。噴嘴的垂直移動可使噴嘴接近基板并且在那里分離，從而將電子部件安裝在基板上(例如，見日本專利申請?zhí)崆肮_No.2005-150638([0032]段，圖1至3))。?

在日本專利申請?zhí)崆肮_No.2005-150638([0032]段，圖1至3)中描述的安裝設(shè)備中，由梁(15)、頭安裝梁(16)等構(gòu)成的并且可移動地支撐頭(17)的框架由于頭(17)的移動而振動。如果框架在頭(17)將電子部件安裝在基板(19)上時仍然振動，則相對于基板的安裝位置精度下降。對此，已經(jīng)制作了例如設(shè)計高剛度框架或者盡可能多地降低頭(17)的移動速度的裝置，以便不造成框架的振動。然而，在頭(17)的移動速度低時，難以提高安裝設(shè)備的產(chǎn)量。?

另外，還揭示有包括被獨立驅(qū)動的兩個頭的安裝設(shè)備(例如，見日本專利No.3494153([0033]段，圖1至4))。?

發(fā)明內(nèi)容

然而，當(dāng)通過使一個頭移動而另一個頭將電子部件安裝在基板上的兩個頭被單獨驅(qū)動時，框架產(chǎn)生振動。因此，為了解決這樣的問題，例如，提供了這樣的系統(tǒng)，其通過檢測支撐框架的基座部(2)等的振動并且給予基座部(2)與該振動方向相反的振動來控制振動(主動控制)。?

然而，在此設(shè)置的情況下，因為頭移動時框架振動，所以不能完全去除頭的振動。

考慮到上述情況，需要甚至在諸如框架的結(jié)構(gòu)振動時仍能高精度地定位?諸如頭的移動體的部件安裝設(shè)備，以及振動控制設(shè)備及其振動控制方法。?

根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供將部件安裝在基板上的部件安裝設(shè)備，包括：驅(qū)動單元、框架結(jié)構(gòu)、第一輸出裝置和補(bǔ)償裝置。驅(qū)動單元包括保持部件的頭和移動該頭的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。框架結(jié)構(gòu)裝備有驅(qū)動單元。第一輸出裝置檢測框架結(jié)構(gòu)的振動，并且輸出第一位移信息，該第一位移信息為由檢測到的振動引起的框架結(jié)構(gòu)的位移信息。補(bǔ)償裝置根據(jù)第一位移信息補(bǔ)償通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)移動的頭的位置。?

在本發(fā)明的實施例中，甚至在框架結(jié)構(gòu)振動時，頭的位置也根據(jù)框架結(jié)構(gòu)的振動引起的位移信息來補(bǔ)償。因此，保證了頭的絕對移動位置，并且可以使得頭相對于基板高精度地定位。?

部件安裝設(shè)備還包括基座部和第二輸出裝置。基座部支撐框架結(jié)構(gòu)。第二輸出裝置檢測基座部的振動，并且輸出第二位移信息，該第二位移信息為檢測到的振動引起的基座部的位移信息。此外，補(bǔ)償裝置根據(jù)第一位移信息和第二位移信息補(bǔ)償通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)移動的頭的位置。根據(jù)本發(fā)明的實施例，甚至在基座部振動時，也能保證頭的絕對移動位置。?

例如，補(bǔ)償裝置使驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動，從而頭的位移信息以第一位移信息的量來抵消。作為選擇，補(bǔ)償裝置使驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動，從而頭的位置信息以第一位移信息和第二位移信息的量來抵消。?

提供多個包括在驅(qū)動單元中的頭，驅(qū)動機(jī)構(gòu)獨立地移動該多個頭的每一個，并且補(bǔ)償裝置根據(jù)第一位移信息補(bǔ)償通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)移動的多個頭的每一個的位置。因為如上所述提供多個頭，所以甚至在第二頭移動并且引起框架本體振動而第一頭將部件安裝在基板上時，也能保證頭的絕對移動位置。?

第一輸出裝置包括加速度傳感器、發(fā)生裝置、判定裝置和重置裝置。加速度傳感器檢測框架結(jié)構(gòu)振動的加速度。發(fā)生裝置通過對加速度值進(jìn)行積分來產(chǎn)生第一位移信息。判定裝置判定加速度傳感器檢測的加速度值是否等于或者小于閾值。重置裝置在加速度值等于或者小于閾值時將第一位移信息重置為0。因此，在通過對檢測的加速度值進(jìn)行積分而產(chǎn)生第一位移信息時，可以抑制積分時累積錯誤的發(fā)生。?

根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供振動控制設(shè)備，用于控制由框架結(jié)構(gòu)的振動引起的移動體的振動，該框架結(jié)構(gòu)支撐該移動體和使該移動體移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該振動控制設(shè)備包括輸出裝置和補(bǔ)償裝置。輸出裝置檢測框架結(jié)構(gòu)的振?動，并且輸出檢測的振動引起的框架結(jié)構(gòu)的位移信息。補(bǔ)償裝置根據(jù)框架結(jié)構(gòu)的位移信息補(bǔ)償通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)移動的移動體的位置。?

根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供振動控制方法，包括：檢測框架結(jié)構(gòu)的振動，該框架結(jié)構(gòu)支撐該移動體和使該移動體移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)；輸出由檢測的振動引起的框架結(jié)構(gòu)的位移信息；以及根據(jù)框架結(jié)構(gòu)的位移信息補(bǔ)償通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)移動的移動體的位置。?